对准
- 半导体制造领域的晶圆预对准系统综述
环节中需要晶圆预对准系统对晶圆中心进行对准。伴随着新技术的应用，晶圆预对准系统从传统的机械式不断发展出基于视觉的晶圆预对准系统以及光电式晶圆预对准系统。1 机械式晶圆预对准系统机械式晶圆预对准结构主要依靠机械结构推挤晶圆的边缘，实现晶圆对准。图1为夹持式机械预对准系统[1]，通过夹持气缸两侧的输出端分别连接对中块，两侧的对中块上分别均布有多个柱塞弹簧对中组件，实现对中央吸盘上的晶圆进行对中操作。图1 夹持式机械预对准系统图2为一种依靠滚珠运动推动晶圆边缘对
科学与信息化 2023年1期2023-01-31
- 一种基于回溯过程的里程计辅助SINS 初始对准方法
驶过程中完成初始对准，因此行进间对准已经成为了一个备受关注的问题。通常使用的外部导航传感器包括全球定位系统（Global Positioning System,GPS）、里程计（Odometer,OD）等，它们用来为SINS 的行进间对准提供辅助信息。GPS 的信号易受干扰，同时在掩蔽环境中无法使用。而OD 可以独立自主地测量车辆路程增量，以此为观测信息完成SINS 陆上对准。因此，陆用定位定向系统中使用基于OD 辅助的SINS 行进间初始对准，增强了陆用
中国惯性技术学报 2022年6期2023-01-29
- NIKON NSR 步进重复光刻机对准原理及典型故障修复
辨率；而光刻机的对准系统，就决定了不同层曝光工艺的套准精度。不同厂家，不同型号的光刻机，对准系统的工作原理大致相近，最终都是实现掩模版与圆片之间特定标记的对准。本文以NIKON NSR 步进重复光刻机为参考，论述了对准系统工作原理，包括掩模版对准和圆片对准，并列举了常见的对准方面的设备故障及解决方法。1 对准流程NIKON NSR 步进重复光刻机采用的是分开对准的方式，先进行掩模版对准，后进行圆片对准（如图1 所示）。曝光工艺开始后，掩模版被传送至预对准模
电子工业专用设备 2022年1期2022-07-13
- 伪惯导建模的极区双速度模式惯性系对准算法
。然而,极区初始对准仍是一个亟待解决的问题。捷联惯性导航系统(strapdown inertial navigation system,SINS)初始对准通常分为两步完成:粗对准和精对准。粗对准是粗略获取载体的初始姿态矩阵,为接下来的精对准提供初始条件。高精度的粗对准可以为精对准提供一个更好的初始条件,保证精对准阶段的对准性能以及可靠性。基于矩阵分解的惯性系初始对准算法是一种常用的SINS粗对准算法,其在抑制外界干扰、对准快速性等方面的特别优势,国内外已经
系统工程与电子技术 2022年5期2022-05-07
- 基于多轴对准定位平台提升LDI机生产效率的探讨
提高了工作效率和对准精度[3][4]。LDI技术是一种不采用光刻掩膜版的光刻技术，将设计的图形通过LDI技术扫描到需要制备的曝光基板上，从而省去光掩膜版的制备，目前经过三十多年的技术积累，LDI经历了三次技术迭代更新，在印制电路板（PCB）行业正逐渐替代传统曝光机[5]。LDI机结合高精度对准定位平台和先进的图形处理系统[6]，将基板放置于工作吸盘上，移动工作吸盘到基板对位点位置，使用对准测量系统采集对位点图像信息，量测并计算基板位置关系，再利用软件算法系
印制电路信息 2022年12期2022-02-08
- 基于视觉技术的复杂空间装配中的精细对孔
孔之间需要在孔位对准后用螺丝固定，针对这一问题，设计实现了一种精细对孔方法。该方法从安装孔视频流中定时读取一帧图像，在对图像进行滤波去噪、边缘检测等操作后，采用最小二乘法检测安装孔圆心坐标信息，根据安装孔之间的圆心距判断安装孔是否对准。实验在0.062 5 mm的标定精度下，Hough圆变换和最小二乘法的圆心距检测结果分别是0.125 mm和0.06 mm。实验结果表明，在高精度的标定结果下，相比较Hough圆变换，最小二乘法能够更好地检测到安装孔的圆心坐
智能计算机与应用 2021年7期2021-12-07
- 自航式诱饵捷联惯性系统初始对准难点及方案
学平台必须准确地对准和跟踪导航坐标系，以避免导航控制参数产生误差。对于刚加电启动工作的诱饵捷联惯性系统，数学平台尚未确定，三轴指向随机，不一定在水平面内，没有确定方位，故捷联惯性系统在进入导航工作状态前，需进行初始对准，在较短时间内使数学平台调整到导航坐标系内，也就是要在一定精度内确定出从雷体坐标系到导航坐标系的初始变换矩阵[1]，完成初始初始对准。同装甲火控捷联系统一样，基于诱饵快速反应发射要求，其捷联惯性系统初始对准必须在较短时间内完成。同时，由于初始
科技与创新 2021年24期2021-11-27
- 基于捷联惯导系统的车载导弹动态快速对准技术
载惯导系统的初始对准占据了发射准备的大部分时间。惯导系统的初始对准是指在系统进入导航工作前必须确定惯导系统惯性测量单元(Inertial Measurement Unit，IMU)载体系和地理系的初始姿态矩阵[1-2]。惯导系统初始对准要求用尽可能少的耗时精确地给出载体系到导航系的初始姿态矩阵，为随后的姿态更新提供初始条件。因此，通过缩短惯导初始对准时间以快速完成导弹的发射准备对提高导弹武器系统的生存概率具有重要的意义[3-6]。动态快速对准是缩短惯导系统
导航与控制 2021年3期2021-09-04
- 一种船舶漂浮状态下捷联惯导快速自对准方法
用捷联系统的初始对准对船舶的机动性起着重要的作用。对于初始对准问题，不仅要求对准达到一定的精度，还要求其具有快速性。一般的初始对准的收敛主要是方位失准角的收敛，在粗对准阶段或者精对准阶段采用优化的算法加快方位失准角的收敛。传统的粗对准方案是利用重力和地球自转角速度在地理坐标系和载体坐标系下的投影不同推算出来的。文献[1]提出了新的粗对准算法——凝固对准法，即通过观测不同时刻重力加速度在不同坐标系中的积分矢量计算初始姿态矩阵。近年来以凝固对准法为基础，不断出
中国惯性技术学报 2021年1期2021-05-27
- PDMS微流控芯片光刻加工的套刻对准方法
刻成型的图像进行对准，以保证每一层图形有精确的相对位置，此为套刻［8-9］。套刻精度是光刻的重要技术指标，光刻机英文名称即为掩膜对准曝光机（Mask aligner）［10-11］。在广泛使用低端光刻机进行的微流控芯片套刻加工制作中，套刻精度对操作工艺的依赖性更大。受高分子材料PDMS（聚二甲基硅氧烷）有伸缩性［12］及设备、显影工序等因素［13-14］的影响，PDMS 微流控芯片套刻加工对准精度要求相对不高［7］，目前，系统的针对微流控芯片套刻对准工艺的
实验室研究与探索 2021年12期2021-03-01
- 基于DSP的捷联惯导系统组合初始对准算法设计∗
外惯性导航的初始对准关系到导航的精度和使用前的准备时间，初始对准误差会随着导航解算过程进行累积，制约着导航的精度［2～6］。基于此本文通过TMS320F28335 高速 DSP［7～8］完成导航系统初始对准工作，采用惯性系粗对准和卡尔曼精对准完成初始对准，通过设计软件程序设计等步骤流程验证算法的可行性。2 捷联惯导组合初始对准技术捷联惯性导航系统的初始对准是系统正常进入导航解算阶段的必要前提。初始对准分为粗对准和精对准两个阶段，对准过程中首先利用粗对准在短
舰船电子工程 2020年7期2020-09-28
- 基于正逆向解算的单轴旋转惯导参数辨识方法
果。而在惯导系统对准过程中，对准精度需要更长的对准时间来保证。为了缩短对准时间并提高对准精度，且能够辨识出z向旋转轴陀螺漂移，本文提出了一种适用于静基座条件下的参数快速辨识方法，该方法基于时间正逆向解算算法[3-4]，通过建立开路法航向角误差模型，增加航向角量测量，利用最小二乘算法实现了初始姿态的确立和z向陀螺漂移的估计。1 参数辨识对准算法1.1 惯性系坐标系定义1) 惯性坐标系(i系，OXiYiZi)。原点位于地心的惯性空间。2) 地球坐标系(e系，O
压电与声光 2020年4期2020-09-03
- 基于正逆向导航解算的捷联罗经动基座对准研究
言罗经系统典型的对准方法有解析对准和罗经法对准[1-4]。罗经法初始对准是利用罗经原理基于控制反馈的自主式对准方法[5]。罗经法对准不需要精确的数学模型和噪声模型，并且具有自主性强、精度高和航向误差不随时间积累等特点[6]。捷联罗经初始对准是基于罗经效应通过控制算法完成闭环调节的过程，对准算法的精确性和快速性是相互制约的。随着光纤陀螺、激光陀螺和加速度计等惯性器件的日益成熟完善，为捷联罗经初始对准研究增加了新的活力[7]，最终使精度得到了很大提高，而快速性
导航定位与授时 2020年3期2020-06-08
- 一种罗经方位对准的参数设置方法
为惯导系统的初始对准。在众多的初始对准方法中，罗经对准方法参数设置简单、易于实现、计算量较小，是捷联惯性导航系统初始对准技术的研究热点。近些年，有关罗经对准的相关研究较多，如文献[1]研究了旋转调制的罗经对准，通过旋转调制将陀螺常值漂移变换成正弦信号，再通过合理设置相关参数将其滤除，进而消除对对准精度的影响。文献[2]分析了随机游走对罗经方位对准的影响，并推导出了误差方差公式。文献[3]研究了姿态逆向解算的罗经对准。文献[4]研究了罗经方位对准的收敛时间，
沈阳理工大学学报 2020年6期2020-05-14
- 惯性系姿态确定的SINS晃动基座初始对准算法
)的晃动基座初始对准时，载体的位置几乎不会发生变化，而其角运动可以近似看作是低频周期的摇摆运动，从而使得惯性测量单元(Inertial Measurement Unit，IMU)中陀螺仪输出的信噪比很低，故采用传统解析粗对准算法将无法完成捷联惯导系统(Strapdown Inertial Navigation System，SINS)的初始对准过程[1-2]。由于其抗干扰能力较弱，传统解析粗对准方法通常仅适用于静基座初始对准。为了解决传统解析粗对准无法完成
导航定位与授时 2020年2期2020-03-19
- 杭州印象（一）
子空濛，我将镜头对准半锁湖山的云气，前景中景远景，看不到你在我的镜头里。我将镜头对准湖畔的小路，西湖的花径还是那样美丽，却没看见你迈出拐角的亭子。我将镜头对准曲院风荷的长椅，长椅对着空空风景与围篱，看不到你出现在镜头的任何位置。我将镜头对准长长的苏堤，柳浪依然婀娜荷叶连天碧，独不见你在堤上闻那荷香、听脆脆的莺啼。我将镜头对准高高的雷峰塔，塔影融在叠嶂屏峰静静的水面，却没看见你抡起撞钟的杵走进长长的扶梯。我将镜头对准灵隐寺，佛还在人已非，更不见你捻香向菩提。
杭州 2019年28期2019-09-10
- 晃动基座下正向-正向回溯初始对准方法
通常需要进行初始对准过程，以实现初始姿态角的获取。当前常用的初始对准过程可以分为“粗对准+精对准”模式以及非线性滤波的大方位失准角初始对准模型[5-8]。文献[9]提出了一种七阶正交容积卡尔曼滤波(Cubature quadrature kalman filter,CQKF)算法，实现了SINS大失准角初始对准。然而，采用非线性滤波方法进行大失准角条件下的初始对准时，会导致计算量大、滤波不稳定、收敛速度慢等问题，使得其在工程应用中受到限制[10]。因此，大
宇航学报 2019年8期2019-09-06
- 箭载SINS快速自对准技术
NS）逐渐采用自对准技术替代传统水平对准＋光瞄方案。运载火箭一般依托塔架竖立发射，初始自对准采用凝固惯性系粗对准［1］＋Kalman滤波精对准方案［2］。粗对准仅进行一次运算，为精对准提供初始姿态。在静基座条件下，惯导系统可观测性弱，Kalman滤波器方位通道收敛缓慢［3］。为满足火箭快速发射的背景需求，需要提升自对准快速性。文献［4］提出了一种利用逆向导航技术进行旋转自对准的方法，这种方法在粗对准和精对准阶段均使用了所有测试数据，在有限的对准时间内最大程
导航与控制 2019年6期2019-02-10
- 机载导弹大安装偏差下的快速二次传递对准方法
1]。动基座传递对准技术作为空射导弹发射前诸元装定的基础，对准精度很大程度上决定了武器系统最终的命中精度。导弹装载在机腹下与机载主惯导之间存在安装偏差，通常假设为小角度（小于 3°）建立线性传递对准模型；然而，在紧急快速响应情况下，由于导弹安装完成后未进行粗校准，弹载子惯导与机载主惯导之间会出现大安装偏差情况[2-3]，在传递对准时直接用主惯导的速度、姿态、位置等导航信息对子惯导进行初始化这一过程引入了大失准角问题，在这种大安装偏差情况下传统的线性传递对准
中国惯性技术学报 2018年5期2018-12-20
- NSR2205I14型光刻机对准方式分析
001）0 引言对准系统是光刻机的核心部件之一，拥有更精密的对准，才能保证更精准的套刻精度。NSR2205I14设备在对准时主要分2步，首先光刻板对准，即光刻板上的对准记号通过CCD（Charge Coupled Device，电荷耦合器件）图像传感器与曝光台上的基准记号对准，然后是晶圆对准，即对准系统与曝光台上的基准记号对准后，通过晶圆上的对准记号与晶圆对准。而晶圆对准时可以使用2套不同的对准系统做对准，这2套对准系统结构不同，原理不同，优缺点各异。1
设备管理与维修 2018年11期2018-12-07
- 静基座捷联罗经初始对准方法
2）0 引言初始对准是捷联惯性导航系统进行导航的前提，捷联惯导系统的初始对准主要是提供捷联惯导的导航解算所需要的初始姿态矩阵[1]。初始对准的结果直接影响惯性导航系统的导航精度。所以，对捷联惯性导航系统进行初始对准是十分必要的。进行初始对准的方法很多，如多位置对准法和罗经对准法、卡尔曼滤波最优估计对准方法、传递对准法等[2]。其中，罗经法初始对准是平台惯导系统(PINS)的经典对准方法[3]，罗经对准法可分为水平调平和方位对准两个步骤，方位对准在水平调平的
现代导航 2018年5期2018-12-06
- 行进间粗对准误差分析方法
1)0 引言初始对准是确定惯性导航系统初始的姿态、位置、速度等导航参数。按照对准过程，分为粗对准和精对准两个阶段。为提高初始对准过程中载体的机动性，要求惯性导航系统能够在载体行驶时完成粗对准过程。针对上述问题，文献[1]运用惯性空间为参考标准，分三步建立粗对准姿态矩阵。文献[2—6]主要是利用里程计作为辅助测量手段，通过信息融合的方法解算姿态矩阵。文献[7—8]将姿态矩阵的求解转化为wahba问题，通过最优解的方法，解算姿态矩阵。上述方法对于粗对准姿态矩阵
探测与控制学报 2018年5期2018-11-02
- 严格逆向过程的捷联惯导快速回溯对准
4）0 引言初始对准是惯导系统的核心技术之一，惯导系统的初始对准过程一般分为粗对准和精对准两个阶段。常用静态粗对准方法是解析粗对准，常用的精对准方法有参数辨识法［1］、Kalman滤波法［2⁃3］、 罗经法［4］等， 本文研究了一种新型的参数辨识初始对准方法。快速性是惯导系统初始对准的重要指标之一，为了进一步提升对准过程的快速性，一些学者在惯导系统初始对准中引入了回溯对准的概念［4⁃7］。文献［4］、 文献［5］分别在捷联惯导和惯性/里程计组合导航系统的自
导航与控制 2018年5期2018-10-15
- 晃动基座捷联惯导系统初始对准迭代方法
4］， 其中初始对准是惯性导航系统中的关键技术之一［5⁃6］。 在进行导航工作前，惯性导航系统必须首先进行初始对准。初始对准的精度直接影响导航精度［7⁃8］， 初始对准时间直接关系到系统快速反应能力，这两项结果是衡量初始对准效果优劣的主要指标［9⁃10］。捷联惯性导航系统初始对准的原理是：根据相应的敏感器件数据，通过算法实现姿态与方位角的解算［11⁃13］。捷联惯导初始对准的常用算法是根据加速度计对重力加速度的测量值和陀螺对地球旋转角速度的测量值计算出基座
导航与控制 2018年5期2018-10-15
- NSR2205I14型光刻机对准方式分析
001）0 引言对准系统是光刻机的核心部件之一，拥有更精密的对准，才能保证更精准的套刻精度。NSR2205I14设备在对准时主要分2步，首先光刻板对准，即光刻板上的对准记号通过CCD（Charge Coupled Device，电荷耦合器件）图像传感器与曝光台上的基准记号对准，然后是晶圆对准，即对准系统与曝光台上的基准记号对准后，通过晶圆上的对准记号与晶圆对准。而晶圆对准时可以使用2套不同的对准系统做对准，这2套对准系统结构不同，原理不同，优缺点各异。1
设备管理与维修 2018年6期2018-06-09
- 基于降维CKF和平滑的SINS/OD动基座对准
NS/OD动基座对准黄湘远, 汤霞清, 武萌(装甲兵工程学院控制工程系, 北京 100072)为了提高捷联惯导(strapdowninertialnavigationsystem,SINS)/里程计(odometer,OD)动基座对准精度,使对准过程中具备一定精度的位置导航能力,提出了一种动基座非线性对准方法。首先对非线性系统进行简化并应用降维容积卡尔曼滤波(reduceddimensioncubatureKalmanfilter,RD-CKF)进行非线性
系统工程与电子技术 2016年9期2016-09-07
- 机载无线激光通信对准-捕获-跟踪系统及动态飞行试验研究
机载无线激光通信对准-捕获-跟踪系统及动态飞行试验研究李小明1，2，张立中1，孟立新1，宋延嵩1，姜会林1 （1.空间光电技术国家地方联合工程研究中心，吉林长春130022；2.长春理工大学光电工程学院，吉林长春130022）摘要：机载无线激光通信具有通信速率高、抗干扰能力强、保密性好、布置灵活等优点，在天地一体化高速信息网络、军用保密通信、电磁干扰环境下可靠通信等应用中有着广阔前景。为解决机载环境下激光通信光轴对准难题，通过对无线激光通信系统特点和Y-1
兵工学报 2016年6期2016-07-29
- 折断的直尺也能量长度
。他把刻度“2”对准线段的左端，此时线段的右端正好对准刻度“9”。他算了算，告诉老师：“线段长9-2=7（厘米）。”小喜鹊的直尺也不小心折断了，只剩下开头的4厘米长。她先用刻度“0”对准线段的左端，并在刻度“4”对准的线段处做一个记号，然后再把直尺的刻度“0”对准记号，线段的右端正好对准刻度“3”。小喜鹊告诉老师：“线段长4+3=7（厘米）。”大象老师高兴地说：“小刺猬和小喜鹊量的都正确。”
读写算·小学低年级 2016年7期2016-05-14
- 基于CKF和R-T-S平滑的车载SINS/OD动基座对准方案*
NS/OD动基座对准方案*黄湘远，汤霞清，武 萌(装甲兵工程学院控制工程系，北京 100072)为提高车载捷联惯导/里程计组合系统的动基座对准精度、速度和位置导航精度，提出了“容积卡尔曼滤波(CKF)非线性对准+非线性R-T-S平滑+再次Kalman滤波线性对准”的方案，即首先应用CKF进行非线性对准，对准结果方位对准精度一般、位置误差较大；接着利用R-T-S平滑获得初始时刻高精度对准结果，此时非线性误差模型退化为线性模型；最后再进行Kalman滤波线性对
汽车工程 2016年8期2016-04-12
- 抗扰动的捷联惯导系统回溯参数辨识对准法
系统回溯参数辨识对准法张朝飞1,2，罗建军1,2，侯永利3（1. 西北工业大学 航天学院，西安 710072；2. 航天飞行动力学技术重点实验室，西安 710072；3. 中国航天第十六研究所，西安 710100）针对捷联惯导系统参数辨识对准法航向角估计时间长且收敛速度受到计算初值影响大的问题，提出了将对准用的陀螺和加速度计采样数据存储后按时间进行正向和逆向排列，形成正向序列和逆向序列。由正向导航的解算公式推导出逆向导航的解算公式，利用公式的一致性提出了回
中国惯性技术学报 2015年6期2015-06-15
- Improved fast backtracking alignment approach for strapdown inertial navigation system
系统改进回溯快速对准方法何泓洋，许江宁，李京书，李 峰，查 峰 （海军工程大学 导航工程系，湖北 武汉 430033）快速性是捷联惯导系统初始对准的一项重要指标。回溯算法通过存储一段时间的陀螺仪和加速度计的数据，并反复加以利用的方式，有效缩短了对准的时间。为了进一步提高初始对准的快速性，设计了一种快速回溯对准方法（FBA）。优化对准方法被用于算法的粗对准阶段，为回溯罗经法精对准提供较为准确的初始姿态，进而提高罗经回路的收敛速度。分析了回溯算法的基本原理，设
中国惯性技术学报 2015年2期2015-06-05
- 基于罗德里格参数的线性最优估计自对准
的线性最优估计自对准梅春波1，秦永元1，杨鹏翔2(1. 西北工业大学 自动化学院，西安 710129；2. 西安现代控制技术研究所，西安710111)针对车载捷联惯导系统怠速条件下的初始对准问题，提出了一种基于罗德里格参数的线性最优估计自对准算法。利用姿态阵分解和凯莱变换，将任意姿态下的无初值初始对准问题简化为罗德里格参数的无约束线性最优估计问题。讨论了算法的有效性，推导了算法的对准误差公式，并设计了一种简洁的工程实现方案。利用车载捷联惯导系统进行了四位置
中国惯性技术学报 2015年3期2015-05-23
- Multi-position alignment with arbitrary rotation axis for SINS
导系统多位置初始对准方法谭彩铭，朱欣华，王 宇，苏 岩 （南京理工大学 机械工程学院，南京 210094）基于单轴旋转SINS的多位置对准方法通常要求旋转轴和方位轴重合，轴重合误差会影响多位置对准精度。针对这一问题，提出了一种可绕任意轴旋转的多位置初始对准方法，几何分析指出，该旋转轴可沿任意方向，不需要与方位轴重合，它只需绕某任意旋转轴转过两个已知角度即可解算出IMU的零偏，提高对准精度。仿真实验显示，提出的绕任意轴旋转的多位置对准方法相比单个位置下的解析
中国惯性技术学报 2015年3期2015-05-23
- 基于逆向导航的捷联自对准技术研究
100854初始对准技术是惯性导航的关键技术之一，其结果直接影响到导航系统的精度和准备时间。随着现代战争对武器自主性和快速性要求的提高，研究如何提高捷联惯导自对准精度并缩短对准时间具有重要意义［1］。目前，常规的自对准方法是按时间顺序正向一次性处理，数据处理完便丢弃，不必存储，其优点是存储量和计算量较小，但后一阶段不能使用前一阶段的数据，信息挖掘不充分，造成浪费。随着计算机技术的快速发展，若导航计算机的容量足够大且计算能力足够强，可对惯组数据进行存储，然后
航天控制 2015年5期2015-03-10
- 轴对准简介
天津）恰当的轴对准，比你在润滑以外做的每件事情都能增加轴承、密封和转子等部件的寿命。因为旋转设备 (例如泵、压缩机和粉碎机等)，对零件之间的对准是非常敏感的，即使是操作条件的微小变化，未对准可能引起这些关键元件变得过载和过早出现故障，特别是在高速运行的情况下。所有的轴即使是低速运转的，如果想让轴承延续其整个预期的寿命，也必须对准到允许的误差范围之内。恰当的对准是决定轴承、密封和联轴器寿命的关键因素。不幸的是，许多维护部门仍然认为对准仅仅是那些大的、高速轴
设备管理与维修 2015年11期2015-01-01
- 改进的单轴旋转SINS初始对准方法
］。该系统常用的对准方法有基于静基座的古典罗经法和卡尔曼滤波法［5-8］。由于在静基座下，捷联惯导系统对准的极限精度受器件误差的制约，考虑到系统本身具有转动控制机构，为多位置对准提供了条件。因此，本文针对单轴旋转捷联系统，在转台辅助下提高对准精度的对准方法进行了详细的分析。衡量初始对准效果的2个基本准则是:对准精度高，对准速度快［8］。在静基座下，无论是古典罗经对准法还是卡尔曼滤波对准法，由于某些器件误差的可观测性较差［9-10］，导致2种对准方法对准精度
哈尔滨工程大学学报 2014年8期2014-10-25
- 极点配置对SINS罗经对准性能影响
00）分析了罗经对准基本原理。基于常见的几种罗经极点配置方案及其对准性能与不足，将一个二阶振荡环节和一个临界阻尼环节相串联，把4个极点配置在同一个圆上，得到一种新的极点配置方案。该配置方法既保证了对准算法的快速跟踪性能，又兼顾对准精度。采用车载晃动对准数据和风扰条件下的车载导航数据，比较了不同极点配置的对准效果。试验说明，新的极点配置方案可以跟踪载体低频姿态角变化，在180 s内完成SINS对准过程；该方法能够克服大风扰动影响，提高SINS晃动基座对准精度
中国惯性技术学报 2014年6期2014-10-21
- Fast alignment algorithm of inertial fixed frame in quasi-static environment
导系统动基座初始对准及其其它相关问题研究[D]. 西安：西北工业大学，2008.[4] Wu Y, Pan X. Velocity/position integration formula (I): Application to in-flight coarse alignment[J]. IEEE Transactions on Aerospace Electronics System, 2013, 49: 1006-1023.[5] Han S, Wa
中国惯性技术学报 2014年4期2014-10-21
- 捷联惯导系统双位置快速抗干扰对准方法
双位置快速抗干扰对准方法刘永红1，刘明雍1，谢 波2（1.西北工业大学 航海学院，西安 710072；2.航天第十六研究所，西安 710100）经典捷联惯导系统双位置参数辨识精对准采用水平速度作为量测值，对部分参数辨识时间较长，且收敛速度受递推计算初值影响。提出了一种利用单位时间的水平比力作为量测值的双位置快速抗干扰对准方法，并忽略误差构成的高阶项，可以将三次曲线转换为线性模型进行估计，提高了初始对准的收敛速度。双位置对准试验结果表明，双位置快速抗干扰对准
中国惯性技术学报 2014年3期2014-07-20
- 投影光刻中非对称型相位光栅对准信号及对准误差计算模型
203)相位光栅对准的方法因较其他明场或暗场读准具备信噪比高、对准精度好等优点，因此被广泛用于半导体投影光刻机中。参考文献[1]详细描述了投影光刻机中相位光栅对准系统，给出了对称型矩形相位光栅的±1级衍射Fourier变换后的光强分布：图1为对称型相位光栅对准标记的形貌，式（1）中r为占空比，即相位光栅标记顶部与底部的宽度比；I0为入射光信号强度；R为对准标记光反射率；d为槽深。图1 对称型相位光栅对准标记的形貌透过参考光栅的±n级对准信号为：式（2）中，
电子工业专用设备 2012年5期2012-06-28