腔室_参考网

PC控制技术在ALD系统中的应用研究

(同时)通入反应腔室不同,ALD技术是将前驱体源以脉冲的形式交替通入反应腔室中并在基底表面发生吸附和反应生成薄膜[3]。表面化学反应的自限制性[4]和自饱和性是ALD技术的基础,决定了ALD薄膜具有表面均匀和薄膜厚度精确可控等特点,使其在微电子和其他纳米器件制造领域备受关注,成为集成电路工业中极其重要的主流薄膜制备技术[3,5]。近年来,国内外的半导体制造商都先后推出了不同类型的原子层沉积设备,其控制系统大多采用传统PLC控制系统[6](如图1所示)。传统

计算技术与自动化 2023年4期2023-12-27

数字PCR 芯片的荧光图像处理与分析*

利用网格对微反应腔室进行划分和定位，然后对每个腔室的荧光信号进行判断，统计阳性荧光点。由周淑芳等提出，先人为确定荧光图像中三个顶角微反应腔室的中心位置，利用最大化引力方程进行修正，基于投影法实现图像的网格划分和中心定位，根据定位实现图像拼接和阳性腔室识别［3］，对于信号较弱或者阴性腔室比例大的图像可能造成网格划分不准的情况，而且需要手动辅助操作。许静等提出通过计算提取的轮廓周长，并设置双阈值筛选出阳性腔室［4］，该方法对于腔室之间或者腔室与污点之间存在粘连

计算机与数字工程 2023年6期2023-09-29

反应堆顶盖腔室流场实验研究

经过堆芯后进入上腔室，上封头旁流[1]则通过堆芯吊篮上的喷嘴流水孔进入顶盖腔室（又称上封头腔室），对顶盖腔室及其内部构件进行冷却，之后流入上腔室，与堆芯出口的冷却主流汇合后流出反应堆压力容器。顶盖腔室内的水力参数测量是上封头结构力学分析和流致振动评价的基础，而水力学参数又取决于流场，因此，研究顶盖腔室内的流场对反应堆的结构设计具有重要的意义。国内外许多研究单位利用CFD 研究反应堆内的流场[2-5]，也有研究单位对反应堆开展了实验研究，但多是利用缩比的模型

科技创新与应用 2023年22期2023-08-07

电子鼻嗅出挥发性有机化合物

设计是一个垂直的腔室，看起来很像花洒喷头。当气体通过设备底部的小孔和周围均匀分布的传感器扩散时，会促进垂直流动。利用流体力学模拟，该团队优化了电子鼻室的体积、对称性、孔位置和传感器位置。他们增加了一个分流装置，以促进液体流动，缩短反应时间。研究人员制造了一个特氟龙室，并测量了电子鼻的传感性能。他们比较了两个腔室，一个有分流，另一个没有分流。带有分流装置的腔室在检测示例VOC方面性能提高了约1.3倍。这一使用分流装置来控制流体流动的策略是电子鼻技术发展的一个

家庭医学 2023年12期2023-07-13

基于Geant4的碳离子治疗三维电离室阵列仿真设计

置于模体中的电离腔室内产生的电离量进行转换。布拉格-格雷空腔理论示于图1。由图1可知，在碳离子束照射下，电离腔室的直径一般小于次级电子的最大射程，且电离腔室内的电离是由碳离子束在其室壁材料中产生的次级电子所致。当电离腔室的室壁材料与模体材料不等效时，会改变入射到电离腔室中的次级电子注量和能谱，从而产生测量误差。为简化三维电离室阵列的结构，并提高电离腔室测量剂量的准确性，本研究选择PMMA同时作为水等效模体材料和电离室室壁材料，以均匀分布于PMMA中的三维电

原子能科学技术 2023年2期2023-02-21

结构参数对贯通挡板袋型阻尼密封动力特性的影响*

挡板分隔迷宫密封腔室，阻止气流周向流动的新结构，即袋型阻尼密封。袋型阻尼密封由于结构简单，获得了广泛的应用。如图1所示[6]，典型的袋型阻尼密封由交替排列的基本腔室和二次腔室组成，基本腔室被周向的挡板分隔。为了获得正阻尼，基本腔室设计成发散型间隙，与之配合，二次腔室设计成收敛型间隙。文中所述贯穿挡板袋型阻尼密封，其二次腔室也被挡板贯穿，进一步削弱周向环流对其动力特性的影响，其结构如图 2所示[7]。针对该型密封结构参数对动力特性的影响，国内外学者做了大量工

润滑与密封 2023年1期2023-02-06

急冷增湿塔以及含硫废弃物处理系统

所述塔体包括冷却腔室、腔室入口以及腔室出口，所述腔室入口以及所述腔室出口分别开设在所述塔体的外壁并与所述冷却腔室连通，其中，所述腔室入口位于所述塔体的下部，所述腔室出口位于所述塔体的上部；所述喷淋机构设置在所述冷却腔室中，所述喷淋机构包括第一喷淋口和第二喷淋口，所述第一喷淋口配置为能够向下喷淋冷却液体，所述第二喷淋口配置为能够向上喷淋冷却液体，所述第一喷淋口和所述第二喷淋口相互背离设置。本实用新型的急冷增湿塔能够迅速、有效地对工艺气体进行降温，进而缩短含硫

能源化工 2022年1期2023-01-14

转化器以及含硫废弃物处理系统

体的内部具有转化腔室，所述转化器壳体开设有分别与所述转化腔室连通的转化气入口和转化气出口；所述触媒层组件包括至少2个触媒层，多个所述触媒层设置在所述转化腔室中并沿工艺气体的流动方向间隔布置；所述换热器的数量与所述触媒层的数量相适应，所述换热器至少部分位于所述转化腔室中并设置在相邻的2个所述触媒层之间。本发明的转化器具有使用成本较低、换热器放置稳定，结构简单紧凑，换热效率高的优点。

能源化工 2022年1期2023-01-14

仿莲式结构多腔液压缸的设计及仿真分析

过多个不同尺寸的腔室互相组合从而实现对液压缸输出力的调节，以匹配多足机器人不同运动状态时的负载。1 仿莲式多腔液压缸的设计原理1.1 基本思路莲进行呼吸作用时需要的空气来自于荷叶，若把一枝莲看作是一个多足机器人关节，荷叶就可以看作是驱动关节的液压缸。莲的结构如图1(a)所示，当藕需要进行呼吸作用时，通过荷梗传递指令至荷叶，控制荷叶表面气孔的开闭程度。图1(b)所示为多足机器人腿部驱动，此类机器人多采用液压缸驱动(相当于荷叶)，由电气控制系统和液压控制系统(

武汉科技大学学报 2022年6期2022-10-10

流延膜机负压风刀系统流场仿真及结构优化

主要包括第一负压腔室、第二负压腔室、承接板、阻风板、滤风板和吸风管。其中，阻风板、承接板和滤风板分别设置在第一负压腔室和第二负压腔室，用于均匀气流及承接凝聚物，使气流平稳，薄膜受力均匀，避免因薄膜受力不均而导致薄膜变形。第一负压腔室负责吸走主冷辊与薄膜之间的空气和烟雾，第二负压腔室进一步吸走主冷辊表面的气流层，同时起到清洁辊面的作用。在薄膜生产过程中，烟雾凝结、滴油现象主要发生在第一负压腔室，因此主要对负压风刀系统第一负压腔室的流场进行分析。负压风刀系统第

机床与液压 2022年8期2022-09-19

类椭圆型螺杆泵与常规采油螺杆泵举升性能对比

模型上，给定低压腔室压力，逐渐提高施加于高压腔室内的压力，即增大其压差。当密封带上的接触应力逐渐减小至与压差相等，则密封带上最易泄漏位置处于密封与泄漏的临界状态，此时的接触应力为临界接触应力［13］。2.1 确定密封带泄漏位置单头单螺杆泵的密封带连续循环，考虑到减少计算量和密封带的循环对称性，采用1/2导程单头单螺杆泵实体模型进行计算［14］。如图3（a）所示，标示区域是密封带上密封的薄弱环节，为最易发生泄漏位置；由于类椭圆型螺杆泵和双头短幅内摆线型螺杆泵

中国工程机械学报 2022年4期2022-09-14

Sudden cardiac death in a case of Crohn's disease with COVID-19: A case report

较大流速直接冲入腔室，从而产生流场扰动，且中心区域孔密度较高，边缘孔密度小，边缘流线较稀疏；The authors report no conflict of interest.FundingThis study received no extramural founding.Authors’ contributionsN.K.: Manuscript writing, proofreading, and final drafting; S.G.:Case

Journal of Acute Disease 2022年3期2022-07-02

新型叶顶汽封的数值计算与分析

间隙、有效齿数、腔室结构决定的。然而，在汽轮机实际设计中，汽封的间隙和齿数往往受到径向胀差和轴向胀差等约束条件而无法优化，尤其是大功率机组低压缸，因而，减小漏气量最有效的方法就是优化汽封腔室结构。例如，目前广泛运用于汽轮机叶顶、隔板的迷宫式汽封，其原理就是气流通过节流膨胀，在汽封腔室内形成漩涡，流体域被腔室结构所控制，通过腔室结构增强漩涡并使得汽封间隙及齿数相同的情况下漏气量大大降低。然而对于轴向胀差较大的汽轮机，例如大功率机组低压缸，离推力轴承距离较远，

东方汽轮机 2021年4期2022-01-18

转化器以及含硫废弃物处理系统

出口均与第一转化腔室连通以使工艺气体能够从第一转化气入口流至第一转化气出口；第二转化气入口和第二转化气出口均与第二转化腔室连通以使工艺气体能够从第二转化气入口流至第二转化气出口；第一触媒层和第二触媒层均设置在第一转化腔室中并沿工艺气体的流动方向间隔布置；第四触媒层设置在第二转化腔室中；第三触媒层设置在第一转化腔室或第二转化腔室中并沿工艺气体的流动方向与其他触媒层间隔布置。本实用新型的转化器具有占地面积小、热损失少，转化效率高的优点。

能源化工 2021年6期2021-12-30

穿孔共振腔消声器声学性能研究

递矩阵法来预测多腔室穿孔共振消声器的声学性能，并且通过遗传算法优化设计，在限制消声器空间尺寸条件下获得了最优结构外形。传递矩阵法可以快速计算消声器传递损失，但是计算频率上限和精度受制于共振腔室的截止频率，而有限元法则能更准确地预测穿孔共振腔消声器的声学性能。郑晗等[2]采用一维解析法和三维有限元法计算了穿孔管消声器的声学性能，结果表明，三维有限元法能在全频段内准确预测消声器的传递损失。徐贝贝等[3]采用三维有限元法预测和分析穿孔管消声器的声学性能，有限元计

噪声与振动控制 2021年6期2021-12-15

压电喷墨腔室键合工艺的研究

刷[10]。喷墨腔室作为储墨和供墨的结构，是喷墨打印头的核心部件之一，对墨水的压力波传导和墨滴的形成具有重要作用。为了实现高质量的喷射，制备符合喷墨要求的腔室具有重要意义。目前喷墨腔室的键合工艺方法主要有胶粘键合、硅硅高温键合、硅硅低温键合、热键合、干膜层压键合等。Shen等[11]结合微电铸和微注塑工艺制作喷墨打印头的开放腔室，再通过胶粘键合的方法将开放腔室与发热元件组合在一起，得到热气泡式喷墨打印头。这种工艺可以实现大批量生产，但是在胶粘过程中黏结剂容

机电工程技术 2021年10期2021-11-23

偏心距对类椭圆形采油螺杆泵举升性能的影响

触实现螺杆泵内部腔室间的密封。 如图1 所示，螺杆泵工作时，转子在定子内部连续运动，定转子接触点不断发生变化，介质在地下压力的作用下充满腔室，密封腔室在螺杆泵轴向上不断移动，当介质到达排出端后，密封腔室由大变小直至消失，反复重复此过程，介质便被举升至地面，此过程中螺杆泵的排量极为均匀稳定［3］。图1 螺杆泵介质举升过程示意图由类椭圆形采油螺杆泵定转子线型的成形原理可知［4］，偏心距为影响定转子线型的唯一参数。 选定3 寸油管（内径为76.2 mm）作为螺杆

化工机械 2021年4期2021-09-11

Aston半导体计量平台Atonarp公司

导体蚀刻和沉积、腔室清洁、腔室匹配和气体减排。Aston通过在流程完成时进行准确检测（包括腔室清洁）来优化生产，从而将所需的清洁时间缩短高达80%。Aston耐受腐蚀性气体和气化污染物冷凝液，比现有解决方案更稳健，采用独立双离子源（包括一个常规电子轰击离子源和一个无灯丝等离子体发生器），能够在半导体生产遇到的恶劣条件下可靠运行。这使得Aston能够以原位状态在苛刻环境中使用。与传统质量分析仪相比，使用Aston的维修间隔长达100倍。它包括自清洁功能，可消

传感器世界 2021年7期2021-09-10

瀑布沟机组上导轴承油槽密封盖板改造

密封齿，1个密封腔室。2层T型双层随动密封齿111、112设置于上导轴承油槽密封盖板靠轴颈侧。1个密封腔室，由2层T型双层随动密封齿间隔而成，形成的油雾被吸油雾机吸处流回油槽。2层T型双层随动密封齿，一旦单个或多个密封齿发生偏磨、卡阻不复位的现象，整个密封结构的完整性将遭破坏，一旦长久运行，将影响严重密封效果，密封可靠性差，密封失效后渗漏量大[1]。此外，单个密封腔室的吸处及回流管路易扩大渗漏范围。2 新型结构油槽盖板密封技术为解决上述技术问题，提高密封盖

水电与新能源 2021年7期2021-08-05

上悬窗条件下通风控制腔室火灾温度的实验研究

缓慢熄灭[1]。腔室火灾对人的危害主要表现在火焰、烟气与室内温度上，因此科学认识腔室火灾内部温度随火灾发展的演化规律，对于保障人们的生命财产安全具有重要的意义[2-12]。长久以来，国内外大量的学者针对腔室室内温度进行了研究。在国外McCaffrey等[2]最早提出了室内温度的预测公式，Foote等[3]通过实验研究了强制通风对于室内温度的影响。Deal和Beylert[4]开展了腔室火灾实验，基于腔室内的能量守恒定律，结合进出腔室的气体质量流率，得出了室

火灾科学 2021年1期2021-08-02

汽轮机高压抽口气动分析及结构改进设计

 抽汽缝隙和抽汽腔室内部以及连接管之间的流动参数在径向和周向分布不均匀。 这种不均匀分布会改变抽汽缝隙附近汽轮机级的流动状态， 并最终改变汽轮机抽汽缝隙附近级效率， 会造成汽轮机的安全隐患。 从提高机组的经济性和安全性等方面考虑， 对汽轮机抽汽系统的抽汽缝隙、 抽汽腔室和连接管内的流场进行研究是非常有必要的。 气流从主流流道通过抽汽缝隙进入抽汽腔室， 最后由连接管流出。 由于抽汽缝隙轴向宽度一般较小， 气流经过它的流动速度较大， 因此气流具有很大的动能， 

东方汽轮机 2021年2期2021-07-19

非周期耦合式连续管减阻器设计*

的非周期流体振动腔室，即附壁振动腔室和涡街振动腔室。附壁振动腔室设计中采用了仿生“蜗壳”设计方案，涡街振动腔室设计中采用了非均布、多列绕流柱体设计。周期机械振动模块产生的轴向振动与非周期流体振动模块产生的轴向振动发生耦合，提供减阻器减阻的主要动力；非周期流体振动模块中附壁振动腔室与涡街振动腔室各自激发的径向振动耦合，提供了减阻器减阻的辅助动力；减阻器轴向振动与径向振动的耦合效应，提高了减阻器综合减阻效果。1 非周期耦合式连续管减阻器方案“非周期耦合式连续管

机电工程技术 2021年4期2021-07-14

双塔吸附式空气干燥器工作原理及故障分析

）/B（右）干燥腔室、进气电磁阀、排放电磁阀、进气/出气模块、进气/排气气缸、再生孔板、预过滤器、除尘过滤器、精过滤器和集成管路等。设备上有压力传感器、温度传感器、压差开关与露点传感器，以便于检测干燥器的运行参数。1.2 干燥器的工作原理干燥器的工作流程分为干燥、再生和充压。双塔吸附式空气干燥器工作原理如图1 所示，A、B 两个腔室结构相同，每个腔室内装有吸附剂，两个腔室的工作模式通过电磁阀控制气缸的动作来切换。当A 腔室干燥空气时，B 腔室进行再生过程。

设备管理与维修 2021年7期2021-06-18

浅谈高背压式汽轮机轴封系统优化设计

前3和后1、后2腔室均为正压，向外漏汽，逐级降压。汽封加热器借助抽气机，在前后轴封最外部腔室（前4、后3）内形成微真空（约96kPa），空气由最外面一段轴封漏入此室，同时，内轴封漏出的蒸汽也漏入此室，以此形成密封。汽气混合物被引入汽封加热器中，蒸汽凝结成水疏出，而不凝气则由抽气机排向大气。1.2 高背机应用时产生的问题随着排汽压力增加，高背机轴封设计通常会在后轴封第一段增加轴封齿数的方式来减少排汽端的轴封漏汽量。但如轴封系统不合理调整，实际密封效果并不理想

中国设备工程 2021年9期2021-05-18

一种中空玄武岩纤维制造装置及制造方法

件，漏板本体具有腔室，腔室具有相对设置的开口和底壁，过滤网罩设于开口，过滤网具有通孔，且通孔与腔室连通，底壁设置有安装孔，针芯组件安装于安装孔。基于本发明提供的中空玄武岩纤维制造装置的制造方法能够实现中空玄武岩纤维的制造，并且成本控制较好。专利申请号：2021101482069专利公布号：CN112981563A申请人：北京航空航天大学发明人：杨中甲

高科技纤维与应用 2021年3期2021-04-04

化学反应自驱动滚动机器人设计与实验

内部分为6个反应腔室A～F，6个腔室呈周向均匀分布，每个腔室中均放置催化剂，相邻的2个腔室之间通过单向阀导通。在6个腔室中选择3个不相邻的腔室安装重力阀。重力阀是一种开闭情况随角度旋转而变化的阀门。当重力阀出口朝向与铅垂线相差角在一定角度以内时，阀门关闭，其他状态下阀门打开。向滚动机器人的腔室F注入反应液，由于单向阀会阻碍反应液向腔室E流动，此时反应液会向腔室A流动，逐渐填充腔室A和腔室B。在注入一定量反应液后，将滚动机器人置于水平面上，由于滚轮中心对称，

农业机械学报 2021年1期2021-02-01

某旋转机械闭式叶轮推力的计算

轮盖、轮盘侧汽封腔室中气流流动比较复杂，腔室中压力分布随腔室中漏气量、壁面粗糙度等变化而变化，因此轮盖、轮盘侧推力计算的准确性，是叶轮推力计算的重点。国内外对腔室中压力分布有广泛的研究，Russell Marechale等[1]通过试验及CFD的方法验证了汽封间隙改变对压缩机性能、腔室中压力分布、旋转因子的影响。Sun Zhigang等[2-3]研究了叶轮背部腔室对离心压缩机性能的影响；还研究了轮盘腔室对气体流场细节、推力、功率和效率的影响。王维民等[4]

中国重型装备 2021年1期2021-01-25

类椭圆型采油螺杆泵举升性能分析*

包含全部接触带和腔室。为避免遗漏被分割掉的接触带1的部分，采用导程的接触带结构(见图2)建立有限元模型，如图3所示。图2 导程接触带与腔室结构Fig.2 Structure of contact belt and chamber at lead图3 导程有限元模型Fig.3 Finite element model of lead螺杆泵转子材料采用合金钢，定子材料采用丁腈橡胶，橡胶材料的弹性模量远小于金属材料的弹性模量。因此，受到压力作用时，定子橡胶的

石油机械 2021年1期2021-01-13

半潜船艉轴密封装置设计与应用

靠近海水侧的密封腔室中加入压缩空气，一方面很好地感知船舶吃水带来的压力变化，另一方面能合理地调整各密封圈两侧的压力，使每道密封圈的压力差比较小，从而提高密封圈的寿命。平衡型空气密封系统采用压缩空气的好处是通过在唇型密封圈之间提供可控的“缓冲区”，将艉管中的润滑油与海水完全分离；空气没有污染，能很方便地控制压力以减小唇形密封圈两侧的压力差。半潜船的艉轴密封装置分为后密封和前密封。从船艉向船艏依次将每个唇形密封圈进行编号：1#～6#。这样6道密封圈就形成了7个

江苏船舶 2020年5期2020-12-07

一种低压启动装置及使用该装置的花洒

置，其包括：启动腔室：一端设置进水口、一端设置出水口，所述进水口与水源连通。活动部件：活动设置在所述启动腔室内，水流从所述进水口一端进入推动所述活动部件运动，当活动部件经过一定行程到达所述出水口位置进行泄压。传动部件：活动设置在所述启动腔室外，与所述活动部件相联动并驱动后端部件运动。水压驱动与水的直接喷射进行驱动有巨大的区别，水的直接喷射力依靠的是水流的喷射速度及喷射流量，当水压很低的时候，水流的流速及流量都很低。因此，依靠水流冲击力不够，不能驱动机构工作

湖北农机化 2020年16期2020-10-21

火源位置对腔室火流动特性影响的实验研究

26)0 引言在腔室火灾中，外部新鲜空气从腔室开口下部进入，气体产物或未燃尽燃料从开口上部溢出。这一开口流动过程是维持腔室火灾的基本过程。腔室火流动特征与腔室内温度分布及热量传递紧密耦合，共同决定了腔室火灾的蔓延特征。此外，开口流动特征决定了腔室通风状况，是建筑火灾安全设计中着重考虑的因素。对于充分发展的腔室火灾，开口质量流率显著影响了内部燃料的质量损失速率及热释放速率[1,2]。在实际腔室火灾中，室内温度在高度方向上往往呈现非均一分布，为理论表征带来了极

火灾科学 2020年2期2020-05-26

变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真

主要是等离子体在腔室里基片晶圆附近的分布。而反应离子刻蚀(reactive ion etching，RIE)机腔室结构和工艺参量又是影响等离子体的分布的主要因素，进而也是影响刻蚀均匀性重要因素[6-8]。为此，国内外一些学者针对腔室的结构和工艺参量做了一系列的研究[9-17]，对大口径反应离子刻蚀机腔室进行气流和温度的仿真分析计算是分析大口径腔室里等离子体分布的基础，进而是研究大口径刻蚀工艺的均匀性的基础，具有重要的学术价值和工程意义。本文中针对制作大口径

激光技术 2020年1期2020-01-16

汽轮机叶顶汽封间隙泄漏涡动特性研究*

位置变化以及汽封腔室内稳定耗散涡的涡动规律。1 计算模型与数值方法文中以某300MW汽轮机高压第二压力级为研究对象，计算的物理模型由级内相应的静叶、动叶和叶顶汽封区域构成，并延长静叶进口和动叶出口流域。如图1所示为动静叶与汽封。计算域为整圈汽封的0.02π弧度，其周向边界采用周期性完全匹配连接。动叶围带面设置为旋转壁面边界条件，进口给定总压、总温边界，出口给定静压边界，其他壁面为无滑移绝热边界。流动工质设定为高温高压的过热蒸汽。图1 汽轮机级的模型网格Fi

润滑与密封 2019年10期2019-10-23

CVD腔室结构对流场的影响分析

要的影响。CVD腔室是沉积反应进行的场所。反应气体从进入腔室进行沉积反应到最后从腔室排出，整个过程中流场分布所影响的不仅仅是沉积的均匀性，还有气体的扰动，流向，压力等变化所带来颗粒度问题。本文主要使用Solidworks Flow Simulation软件进行腔室流场仿真，分析CVD腔室结构变化对流场均匀性带来的影响及对应变化趋势。关键词：CVD 流场；均匀性；喷头；腔室半导体芯片的制造过程中需要在衬底上生长固体材料层。CVD（化学气相沉积（Chemica

科技风 2019年1期2019-10-14

航空发动机空气系统和热分析的耦合计算与试验验证

流量平衡残差修正腔室压力，利用能量平衡计算冷气温度。2.2 热分析计算流-热耦合计算时，热端部件的热分析采用有限元方法进行，其基本原理是将热分析对象离散成有限个单元，通过单元上的节点相互联结成一个组合体。同时，将连续分布的温度也离散为有限个温度值，根据能量守恒原理对一定边界和初始条件下的单元节点的热平衡方程进行求解，得到各个节点的温度值，进而求解出其他相关参数。热分析计算采用ANSYS热分析软件，边界条件为第三类边界条件，边界换热系数采用经验关系式计算，边

燃气涡轮试验与研究 2019年3期2019-07-12

PECVD RF系统原理和故障改善

match，反应腔室。RF Generator：射频发生器，频率13～14MHz可变。RF Match：射频匹配器，由Load电容和Tune电容并联构成，Load电容实现负载电阻匹配，Tune电容实现负载相位匹配，与反应室串联。Process chamber：反应腔室薄膜沉积的环境，plasma在上下极板中产生，可看成一个平行板电容器。1.2 RF系统匹配原理现假设RF Generator阻抗为ZS=RS+jXS，负载阻抗ZL=RL-jXL，其中R为电阻实

中国设备工程 2019年9期2019-06-03

压电传感器

强结构。基材具有腔室。压电层配置于基材上且包括位移区、多个感测区、多个缝隙、多个上电极及多个下电极。位移区位于腔室上方；多个感测区环绕连接于位移区的外缘且位于腔室上方；多个缝隙分别成形于多个感测区中任两相邻的感测区之间，各缝隙连通腔室；多个上电极分别配置于各感测区的顶面；多个下电极分别配置于各感测区的底面；加强结构配置于位移区的底部。

传感器世界 2019年3期2019-02-17

开口形式对回燃及腔室火灾过程的影响

[3]。因此研究腔室内回燃及火灾发展过程已成为灭火救援领域的热点研究课题。近些年，国内外学者利用试验、模拟方法对腔室火灾回燃及发展过程进行了大量研究。瑞典隆德大学的Gojkovic建立了全尺寸回燃腔室，开口因子为2.2 m×1.80 m，以天然气为燃料，研究发现可燃气体浓度是控制腔室回燃发生的重要因素[4]；新西兰坎特伯雷大学的Fleischmann建立了1/2缩尺寸回燃腔室模型，开口因子为1.1 m×0.4 m，以天然气和丙烷为燃料，研究发现可燃气浓度达

中国人民警察大学学报 2018年12期2019-01-17

早期溢流及漏失的新型及时高精度监测计量系统

过隔板分割为两个腔室（图2），分别为主腔室和副腔室，其上端分别安装主腔室液位计和副腔室液位计；主腔室有主腔室入口管、主腔室出口管和灌浆管；主腔室入口管与井口防溢管出浆口（或者旋转防喷器排浆口）连接，主腔室出口管与调节阀连接，灌浆管与灌浆泵的排出口连接，灌浆泵的吸入口与钻井液池连接；副腔室加工有副腔室出口管，副腔室出口管与截止阀A连接；主腔室和副腔室之间安装有连通管线，连通管线上安装有截止阀B；可选的泵冲传感器安装在钻井泵上，钻井泵出口连接可选的钻井泵出口流

天然气工业 2018年12期2019-01-17

连续式微波干燥机腔体内流场仿真分析与验证

产生水蒸气，避免腔室内水蒸气聚集[2]。干燥腔室作为干燥作业和气流流动主要场所，其结构影响内部风速分布均匀性，低风速处对流传质效果差，过量通风则带走料层热量，难以保证物料干燥品质，增加干燥机能耗，因此改善腔室内流场均匀性助于优化微波能量利用[3]。现有关于改善流场分布均匀性研究中，数值模拟与台架实验结合已成为有效结构优化手段。代建武等应用流体动力学软件Fluent，分析气流射流干燥机内流场分布规律[4]；谢永康等将气流分配室入口优化为喇叭形，通过增加分流圆

东北农业大学学报 2018年9期2018-10-19

输液点滴观察管液面高度控制装置的设计

，挡板将液面上方腔室分割为A、B两个独立腔室。打开输液管道上的开关，药液从出口流出，腔室A液面下降，形成负压，腔室B的药液随着挡块B下方通道流入腔室A补充腔室A的药液，使其稳定在正常高度，与此同时，腔室B的药液得到输液瓶补充，腔室B的压力稳定，腔室A、B液面高度几乎一致。输液瓶药液流尽后，腔室B的液体得不到补充，液面高度下降。当药液高度下降到挡块A的上端以下时，如图2所示，腔室A内的液面被分为左右两部分，因左边药液随着出口流出液面继续往下降，右边药液被挡板

现代制造技术与装备 2018年8期2018-09-25

全自动磁控溅射镀膜设备及工艺的研究

化程度不高、一个腔室有多个磁控靶造成靶之间污染等问题[2]。中国电子科技集团公司第四十八研究所成功研制出全自动磁控溅射镀膜设备。这种磁控溅射镀膜设备为单靶单腔，很好地解决了靶间污染问题，同时采用高真空机械手进行传送片，减少了工艺腔室真空破坏，大大提高工作效率。1 磁控溅射镀膜原理溅射镀膜是以镀膜材料为阴极，基片为阳极，利用磁场与电场交互作用，使电子在靶表面附近成螺旋状运行，从而增大电子撞击氩气产生离子的概率，有效地提高气体的离化率以增加溅射率的方法。电子在

电子工业专用设备 2018年1期2018-03-16

三菱M701F4燃机透平#2轮盘腔室温度高处理

现的透平#2轮盘腔室温度高事件经过、原因分析、处理情况及采取的措施进行了详细的论述，对同类型机组处理类似问题具有一定的参考作用。关键词： M701F4；#2轮盘腔室温度高；原因分析；处理引言燃气轮机发电作为清洁能源得到了越来越多的青睐，由于发电效率高，功率大，三菱M701F4燃机在我国的投产项目不断增加，但是关于M701F4的运行经验还比较有限。本文就三菱M701F4燃机在某次冷态启动过程中出现的透平#2轮盘腔室温度高事件的经过、原因及处理进行了总结，希望

科学与财富 2017年27期2017-10-17

小型柴油机消声器设计仿真分析

公式可设计，第一腔室进口管插入长度为20 mm，出口管入15 mm，第二腔插入管在二腔室的长度为42.5 mm，在第三腔室长度为15 mm，第三腔室的插入管在三腔室插入42.5 mm，出口管插入深度为15 mm，第四腔室进口管插入的长度为42.5 mm，出口管插入的长度为15 mm.2 消声器模型的建立四腔阻性消声器工作原理：简单来说就是内燃机排出的废气通过与发动机连接的法兰管进入进气口管，第一步先达到第一腔室，再经过两跟短插入管进入第二腔室，到达第二腔室

装备制造技术 2017年7期2017-09-23

300mm硅片高精度真空传输系统设计*

求。其中硅片传输腔室采用真空设计，并优化了真空腔室的结构以适应300mm硅片传输，真空度可达2×10-7Torr。真空机械手采用对称连杆直驱机械手，大气机械手采用R-θ型机械手，其重复精度均为±0.1mm。设计了AWC纠偏检测系统，利用光电对射传感器，实现对硅片的实时检测及位置纠正。通过验证性试验数据分析，得到整个系统的整体精度、洁净度、真空度和真空变化值满足工作要求，验证了设计的合理性。硅片传输；真空腔室；机械手；纠偏检测系统0 引言硅片传输是硅片制造的

组合机床与自动化加工技术 2017年8期2017-09-08

冷却孔布置对透平转静腔室性能影响的数值研究

孔布置对透平转静腔室性能影响的数值研究张峰,王新军,李军(西安交通大学能源与动力工程学院,710049,西安)采用SST湍流模型数值研究了透平第二级转、静腔室的流动与封严特性,分析了冷却孔布置对腔室内的流动、冷却效率以及主流燃气入侵特性的影响。研究表明:冷却孔的位置对上游腔室内的流动影响较大,对下游腔室基本无影响;冷却孔距离上游越近,上游腔室的旋流比越大,级间密封进口的旋流比越小,密封进、出口压比越小,相应的流过级间密封的质量流量越小,上游轮缘密封的燃气入

西安交通大学学报 2016年3期2016-12-23

一种可灵活配置的机械手晶圆定心装置

半导体行业中，各腔室之间或工位之间通常使用机械手来完成晶圆的传送。在晶圆传输系统中，为避免取片时偏位或晶圆破损等客观因素的发生，提高晶圆取放的准确度，需要设计并使用AWC（Active Wafer Centering）晶圆自动定心功能来进行检测与校正。本文总结了半导体厂商对AWC功能的不同需求，设计了一种通过上位机软件灵活配置AWC功能的机械手晶圆定心装置，可有效解决AWC硬件资源的浪费及更改互联电缆所造成的人力物力上的浪费问题。【关键词】AWC功能腔室

电子技术与软件工程 2016年8期2016-07-10

用于控制气体供应的方法和控制器

种用于控制对工艺腔室（301）的气体供应的方法（200）。此方法（200）包括以下步骤：由在工艺腔室（301）中提供的两个或更多个传感器（35、36、313、314）中的每一个测量（210）气体参数；从所测量的气体参数确定（220）组合的气体参数；以及基于所确定的组合的气体参数来控制（230）对工艺腔室（301）的气体供应。

科技创新导报 2016年3期2016-05-30

IC装备真空腔室的气密性检测试验及分析

牛﻿IC装备真空腔室的气密性检测试验及分析周玉林，杨铁牛（五邑大学 机电工程学院，广东 江门 529020）腔室气密性是影响集成电路（IC）装备真空腔室内流场均匀性的重要因素，腔室漏率数量级不高于、极限真空度数量级不高于，才能满足IC工艺的漏率要求. 本文用氦质谱检漏仪检测真空腔室泄漏情况，并将泄漏处逐一进行堵漏处理，使腔室气密性能达到IC装备的工艺要求. 用静态升压法计算得出腔室漏率为，极限真空度为，考虑用于实际生产的工艺腔室体积小，而本实验腔室体积较大

五邑大学学报（自然科学版） 2015年1期2015-10-22

多腔室穿孔管消声器声学特性分析

266108)多腔室穿孔管消声器声学特性分析郑 晗1)周其斗1)毛艳蕾2)(海军工程大学舰船工程系1)武汉 430033) (91206部队2)青岛 266108)采用一维解析法和三维有限元法分别预测了穿孔管消声器的声学性能，并与实验值对比，结果表明，三维有限元法能在全频段很好地预报消声器的传递损失.采用有限元法研究了多腔室穿孔管消声器的腔室顺序、腔室数目、腔室划分和腔室间距等因素对其声学性能的影响，结果表明：多腔室穿孔管消声器的传递损失值是组成它的多个单

武汉理工大学学报（交通科学与工程版） 2015年4期2015-04-20

定子橡胶泊松比对螺杆泵举升性能影响研究*

中，采油螺杆泵各腔室之间的泄漏和密封始终保持一个动态的平衡。开始工作时，油液从吸入端进入，充满螺杆泵各腔室并进入油管，随着油管内油液高度的不断增加，螺杆泵排出端腔室内压力随之升高，与其相邻腔室之间的压差不断增大。当相邻腔室之间的压差增大到大于密封带上的接触压力时将发生泄漏，油液从高压腔室窜流到低压腔室，造成低压腔室内压力升高，相邻腔室之间的压差将会减小，直至重新建立密封。以此类推，采油螺杆泵各腔室间则建立起一个相对稳定的压力场，压力场的分布规律如下[2]：

化工机械 2015年5期2015-01-13

两个腔室谐振箱在汽车进气系统降噪中的应用①

声器.图1 单个腔室赫姆霍兹消声器2 两个腔室赫姆霍兹消声器结构及特点赫姆霍兹消声器只能消除一个频率及其附近频带的噪声.除了传统单个腔室结构外，也有两个腔室的赫姆霍兹消声器，图2(a)和(b)分别表示外部串联和内部串联的腔室结构.两个腔室的赫姆霍兹消声器可以消除两个频率的噪声，如果两个腔室的容积与一个腔室消声器容积一样的话，那么两个腔室消声器传递损失对应的峰值要低些.图3表示一个腔室和两个腔室赫姆霍兹消声器传递损失对比.图2 两个腔室赫姆霍兹消声器[1]图

佳木斯大学学报（自然科学版） 2014年2期2014-06-14

DN300钠阀冷冻密封腔室的分析与设计

00钠阀冷冻密封腔室的分析与设计胡丽娜，齐 敏，唐 龙（中国原子能科学研究院 快堆研究设计所，北京 102413）钠阀的冷冻密封腔室是一个重要的部件，直接关系到钠阀是否会发生泄漏。本文以大口径钠阀的国产化项目为依托，对冷冻密封腔室进行分析与设计。冷冻密封腔室是一个狭小的空间，内部有氩气、液态钠、凝固钠。本文利用FLUENT的冷凝模型结合氩气的基本气体方程，计算冷冻密封腔室内部钠的冷凝情况，确定凝固钠的位置；在此基础上，利用FLUENT计算得到的温度和文献中

原子能科学技术 2014年2期2014-05-25

低压轴封进、回汽系统故障对凝汽器真空度的影响

于大气压。供至X腔室的汽封蒸汽在一侧通过汽封漏入汽轮机，在另一侧漏入Y腔室，由装在轴封加热器上的电动风机使Y腔室压力稍低于大气压，保证空气通过外汽封从大气漏入Y腔室。汽气混合物通过一个与轴封加热器相连的接口从Y腔室被抽出，当排汽压力超过X腔室压力时，通过内汽封圈发生反向流动，流量随着排汽压力的升高而增加。因此，高压缸的各汽封约在10%负荷时变成自密封，中压缸的各汽封约在25%负荷时变成自密封，此时，蒸汽从X腔室排到汽封系统的联箱，再从联箱流向低压汽封，大约

综合智慧能源 2012年3期2012-10-19

G LB120-27型螺杆泵三维模型举升压力分析

液的举升传递与各腔室之间油液的泄漏窜流是同时存在的,并且泄漏与定、转子间的密封状况有关。工作时随着油管内油液的增多,腔室的压力也逐渐增加,相邻腔室之间的压差也随之加大。当相邻腔室之间逐渐增大的压差大于密封带接触压力时,便发生油液的泄漏,此时密封带上的接触压力即为密封与泄漏的临界接触压力。半导程采油螺杆泵三维有限元模型密封带如图1。对低压腔室施加0 MPa压力,高压腔室分别施加0、0.60、0.67、0.68 MPa压力,应用有限元分析软件ANSYS11.0

石油矿场机械 2011年7期2011-12-11