用于控制气体供应的方法和控制器

申请公布号：CN105580103A

申请号：2013800797510

申请人：应用材料公司

地址：美国加利福尼亚州

发明人：F·施纳朋伯格；A·赫尔米希；T·科奇；T·德皮施

Int. Cl.：H01J37/32（2006.01）I；C23C16/455（2006.01）I

PCT进入国家阶段日：2016.03.23

PCT申请数据：PCT/EP2013/069857 2013.09.24

PCT公布數据：WO2015/043622 EN 2015.04.02

摘 要：提供一种用于控制对工艺腔室（301）的气体供应的方法（200）。此方法（200）包括以下步骤：由在工艺腔室（301）中提供的两个或更多个传感器（35、36、313、314）中的每一个测量（210）气体参数；从所测量的气体参数确定（220）组合的气体参数；以及基于所确定的组合的气体参数来控制（230）对工艺腔室（301）的气体供应。