一种含氟酸液的工业回收再利用

李鹏俊

(江西沃格光电股份有限公司，江西 新余 338000)

生产步骤：

一、除杂

1.1 在蚀刻减薄后排出的含氟酸液中，预先加入一定量的除杂剂进行除杂反应，除杂剂的加入量(如表一)和除杂剂加入后的反应时间(如表二)对副产物的主含量和水分的影响。

表一 除杂剂的加入量对比

表二 除杂剂加入后的反应时间对比

1.2 结论

综合上述实验可以得出：除杂剂的加入量以及除杂剂加入后的反应时间对副产物的主含量和湿料水分存在一定的影响；通过此实验可以得出除杂剂加入量在2%和反应时间10min为佳。

二、溶硅反应

2.1 除杂反应后，根据化验检测的HF含量加入定量的白炭黑：

Si02·nH20+6HF=H2SiF6+nH20

进行反应，将HF转换成H2SiF6。

三、合成反应

3.1 转换后，根据含氟酸液中的总H2SiF6，利用沉淀处理技术，加入一种饱和碱金属盐溶液：

H2SiF6+2X+=X2SiF6+2H+

在恒定搅拌强度的条件下，反应一定时间，反应后，将酸液用过滤设备进行过滤，滤饼为X2SiF6；实验数据如表三所示。

表三 实验数据

3.2 实验现象

在加完饱和碱金属盐溶液反应30min后，副产物X2SiF6用500目的滤布，在-0.1MPa过滤效果极差；在反应40min和50min后过滤一般；在反应60min、70min、80min后，过滤效果良好。

3.3 结论

通过实验可以看出，生产上定于反应60min，满足工业化生产和副产一级品产品下，副产物主含量和过滤效果良好。

四、烘干

4.1 将滤饼在105℃下烘干，烘干后的副产物进行销售，滤液收集直接销售，基本实现了含氟废水的全回收。

五、结论

工艺路线如图1所示。

图1 工艺路线

通过此方法能够将在TFT玻璃制作过程中产生含氟酸液全回收，并且能够设备简单，容易操作；利用此生产路线不但能够工业生产还能副产一级品的X2SiF6。