非球面面形检测系统
2022-11-23 00:29肖晨
西安工业大学学报 2022年2期
由西安工业大学自行设计、研制的非球面面形检测系统是在横向剪切干涉的技术基础上，用压电陶瓷引入相移，通过采集卡和CCD获取系列剪切干涉条纹图像。经过计算机对系列扫描条纹图像的数学处理，实现了对光学非球面的快速、抗干扰、高精度测量。涵盖光学/光电研究院所、光学/光电子元器件生产企业等应用领域。开发具有独立知识产权的非球面面形检测系统，不仅可以解决光学领域的非球面测量难题，而且能够节约大量的外汇资源。目前样机已经开发，作为精密光学测量系统，生产规模不大，但对社会的贡献明显。
(肖晨)
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