一种微波固体传感器及其检测方法

【申请日】2023.03.23

【公开号】CN116068280A

【公开日】2023.05.05

【分类号】G01R27/26

【申请人】北京环境特性研究所

【发明人】张幸运; 白杨; 任群亭; 刘顺; 吕鸣

【摘 要】本发明公开了一种微波固体传感器及其检测方法，该微波固体传感器包括：沿厚度方向依次设置的金属层、柔性基板层和微带线层；所述柔性基板层用于支撑所述金属层和所述微带线层；所述金属层上设置有互补螺旋形谐振环电磁结构，所述互补螺旋形谐振环电磁结构用于放置待测介质材料并形成强电场，所述互补螺旋形谐振环电磁结构由曲线形凹槽结构组成；所述微带线层用于连接矢量网络分析仪，并获取待测介质材料的谐振频率。将待测介质材料放置于微波固体传感器之上时，互补螺旋谐振环结构的谐振频率发生剧烈变化，因此，使本发明中的微波固体传感器具有较高的灵敏度特性和较高的测量精度。