中宁硅业:创新破垄断 培育新动能

2022-09-05 09:06袁晓玲
今日科技 2022年8期
关键词:高纯氟化硅烷

■ 记者 袁晓玲

中宁硅业DCS(计算机控制系统)中控室

“今年1至6月份销售收入已达1.87亿元,利润水平也远好于去年。”浙江中宁硅业有限公司副总经理郑安雄介绍道,开年以来,受疫情影响,中宁硅业面临只有10%的员工留守一线、原料和产品都无法正常运输的困境,企业生产按下了暂停键,“面对特殊情况,我们迅速调整政策,加快替代国外进口产品的步伐,高精尖端新产品的研发帮助企业在复工复产后快速从疫情的影响中恢复过来,也更加坚定了企业走技术型高端化路线的决心。”

瞄准“卡脖子”技术 以创新辟蓝海

2022年6月,中宁硅业完成了集成电路-高纯四氟化硅气体研发并全面投产,将实现年产能300吨高纯四氟化硅气体,成为国内第一家且是唯一一家能够大批次生产集成电路-高纯四氟化硅气体的企业。

目前,国内高纯四氟化硅气体100%依赖进口,严重影响了我国半导体产业的健康有序发展。为加快关键核心技术攻关,打破国外技术封锁,实现国产化替代,省科技厅将“集成电路-高纯四氟化硅气体研发与产业化研究”列入2021年度重点研发的进口替代应急攻关项目,中宁硅业为项目承担单位。

为充分发挥自身在原材料成本和人才团队等方面的优势,中宁硅业加快了关键技术瓶颈攻关和高精尖新产品的研发进程,通过一系列技改创新、工艺创新,稳步提升产品品质,迅速打通了高纯四氟化硅气体的技术路线。

“目前,中宁硅业已经与中芯国际、京东方、台积电等泛集成电路行业领军企业建立了合作关系,生产的高纯四氟化硅在中芯国际、台积电,以及韩国、日本市场上推广应用,打开了利润长期增长新空间,为企业健康稳定发展打下了坚实的基础。”郑安雄说。

加大研发投入 以创新蓄潜能

自2007年成立以来,中宁硅业凭借自身拥有的先进工艺,主打产品硅烷和多晶硅在2011年就已做到了电子级,产品质量达到国外同等水平。2018年重整后,主打产品市场由99.99%纯度的光伏级领域,拓展到99.9999%纯度的液晶显示屏和半导体领域;主打产品由单一的硅烷,扩展到高纯硅烷、高纯四氟化硅、高纯乙硅烷以及氟氮混合气等多元化电子特气产品。

“公司保持每年8%以上的研发经费投入,建设有省级重点企业研究院,拥有研发人员71名。”郑安雄介绍,在企业研发过程中,得到了省市科技部门在政策、资金等方面的大力支持,2019年至2021年,享受企业研发费用加计扣除金额2319万元,通过申报省市科技计划项目,获得经费补助350万元,“真金白银的支持激励我们不断加大研发投入,增强企业竞争力。”

目前,中宁硅业正以电子特气为发展中心,以纳米级硅材料为发力点,加快发展硅碳新材料,延伸到新能源、新材料等高端产业领域。“未来我们将对标国内外先进同行,以替代进口为优先目标,做半导体级电子化学品集成供应商,成为中国电子化学品‘南基地’。”中宁硅业总经理栗广奉信心满满。

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