罗明浩:技以载道十余载克难攻坚鉴匠心

2022-08-27 05:37余工责任编辑毛思洁
宁波通讯 2022年12期
关键词:靶材设备

文/余工 责任编辑/毛思洁

他是“设备医生”,能诊治各种设备的“疑难杂症”;他是技改大师,帮企业自主设计、安装靶材生产线关键设备,打破国外设备技术垄断;他是很多人的师傅,手把手教技术,培养年轻人。他就是2022年度全国五一劳动奖章获得者、宁波江丰电子材料股份有限公司(以下简称“江丰电子”)的首席技师罗明浩。他从事半导体材料设备及工艺研究近20年,怀着技能报国的梦想奋力前行,展现了新时代产业工人的卓越风采。

攻坚克难填补国内空白

2005年,在余姚电器机械修理领域已小有名气的罗明浩加入创立不久的江丰电子,被邀请参与设计中国第一条超大规模集成电路用靶材生产线,主导生产线大型关键设备的设计、安装和调试。

“当时我们国内所使用的超高纯金属材料及溅射靶材全部依赖进口,市场完全被日本和美国的跨国公司垄断。”罗明浩说,“我觉得肩上担子沉甸甸的,但我就不信外国人能造出来的东西,我们中国人不行!”

凭着这股拼劲,罗明浩带领团队成员全身心投入到生产线的建设中。短短几个月里,他的足迹遍布全国各地。设计生产线,需要用什么材料?为什么要用这样的材料?怎么用最好?……他一步一步摸索着前行,一个一个地解决出现的问题。

就这样,凭借专业积累,罗明浩结合半导体靶材设备实际需要,设计改造了大批国产设备,为中国第一代半导体用高纯铝靶、钛靶、铜靶、钽靶、钼靶、LCD靶等的制造作出了重要贡献。

产线设备问题解决了,新的问题接踵而来。江丰电子成立初期,由于国外技术垄断,原材料都是进口,成本较高,如何将铸造自主化,成了罗明浩心中最记挂的事。“其实早在成立之初,公司就有了原材料自主化的打算。但由于受到场地和技术的限制,这一计划迟迟未能实现。”罗明浩说。2011年,江丰电子的2号厂房建成,公司在一楼单独开辟了一间精炼铸造室。有了场地,罗明浩全身心地投入到设备的研制中。

“当时,这一领域国内还没有人涉足,没有前人经验可供参考,一切得靠自己动脑筋。”罗明浩说,“我们也只能从零开始一点点学习、摸索。”经过无数个通宵达旦的努力,罗明浩和同事们逐一解决了炉体高真空和铝液的除气、炉体的液压控制、浇道的保温控制、铸造水温控制、铸造速度控制等一系列问题。

(左图)罗明浩获得2022年度全国五一劳动奖章。

2015年,国内第一个高纯铝精炼铸造系统实现了运转,打破了国外企业对该项技术的垄断,首次实现该产品的国产化,填补了国内在这一领域的空白。

如今,江丰电子进入国际主流半导体制造企业之列,销售网络覆盖欧洲、北美及亚洲各地,其生产的超高纯金属靶材凭借卓越性能赢得了国际主流半导体市场客户的认可。

精益求精肩负重担不停歇

2013年,江丰电子从欧洲进口了行业内尖端的大型分析仪器——VG9000辉光放电质谱仪。这台设备可以检测出溅射靶材里所含的十亿分之一的杂质,以及杂质中各类金属的精确含量,对纯度的测定可精确到99.9999%。“芯片中密布着上万米金属导线,这些导线比头发丝的千分之一还细,而纯度就是金属最核心的要素。普通金属一般能达到99.8%的纯度,但制作芯片的金属纯度则要求达到99.9999%。这也是公司进口这台分析仪器的原因。”罗明浩介绍道。

没想到设备初到中国就水土不服,使用中出现故障,迟迟不能正常检测。由于设备精密程度高,设计复杂,维修难度较高,当时只有极个别的外籍专家掌握这项维修技术,聘请他们过来维修花费高、周期长,于是这个重担又落在了罗明浩头上。

罗明浩在检测室里安了家,天天对着这台机器冥思苦想,一点一点地改造调试。经过近半年的研究与摸索,他终于修好了设备,并且让这台高精尖仪器完全适应国内现场要求,江丰电子自此掌握了自主维修技术。

除了解决设备难题,罗明浩也为实验室的建立出谋划策。在他的协助下,分析检测中心成功落成,为江丰电子成为一流的超高纯金属材料及溅射靶材生产基地打下扎实的基础。

在公司不断发展中,罗明浩先后参与多项高技术产业化项目,积极推进项目立项、设备研发等,为项目的顺利开展贡献自己的力量。

发光发热实现价值最大化

2014年,余姚市工会惠企技师服务队成立后,罗明浩和团队成员积极参加工会组织的各项惠企活动,帮助企业解决技术难题。

(右图)罗明浩(左)给年轻员工进行技术指导。

去年,受台风“烟花”影响,余姚市三七市镇、河姆渡镇多家中小微企业的设备出现故障。“当时我们整个车间的数控机床都泡在水里,罗师傅带着人来了几次,帮我们一起抢修,还把一些大功率的电动机拿回去修,真是帮了我们大忙。”鑫光轴承厂厂长戚忠平说。

做好突击性技术帮扶的同时,罗明浩和团队成员还努力将技术帮扶做到长效化、常态化。“公司一台设备的电路气路、液压系统技术要求比较高,遇到一些大问题厂里的技术员解决不了,只有罗工团队的技术员有这个能力。每次我们有需求,他们都是有求必应。”宁波绿菱新材料科技有限公司负责人潘善勤说。

2016年,罗明浩创立浙江省、宁波市两级技能大师工作室及劳模创新工作室。除了攻关公司技术难题,罗明浩还带领工作室成员承担了改造各种检测设备的任务,尤其在节能降耗及材料晶粒控制方面,他们自主设计制造的均温炉在性能上超过了国内各类恒温炉,每年可为江丰电子节约电费108万元。而在公司海外工厂及国内分厂的建设中,也是罗明浩带着工作室成员承担了各类设备设施的设计安装等工作,及时解决实际生产中遇到的问题,为企业创造了巨大的经济效益。目前,工作室已累计申请专利114项。

“我们需要更多技术工人!”罗明浩常说要多把目光放在年轻人身上,多给年轻人机会。他通过一对一辅导、师徒传帮带活动为公司培养了多名技师、高级技师及工程师。2018年,罗明浩被宁波市人力资源和社会保障局特聘为职业技能鉴定专家,为宁波市的高技能人才选拔贡献力量。

“关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的。”这句话始终铭记在罗明浩的心中。技术工人队伍是支撑中国制造、中国创造的重要力量,“我将继续努力,贡献更多力量。”他说。■

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