中科院苏州纳米所广东（佛山）研究院：坚持科技创新与产业服务并重 助力破解产业升级缺芯难题

文/胡磊

[导语]

作为一家集创新研发、公共服务和孵化育成为一体的新型研发机构，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东（佛山）研究院（以下简称“中科院苏州纳米所广东（佛山）研究院”或“研究院”）立足佛山，面向广东、辐射粤港澳大湾区，以促进区域创新发展为目标、以专业特色学科为依托、以研发具有重要应用前景的产业技术为核心，通过“纳米加工平台+研究中心+育成中心”的运营模式，大力开展产业技术领域关键核心技术攻关、共性技术研发、技术系统集成、工程化示范应用和产业化，助力构建粤港澳大湾区纳米技术和半导体产业发展生态圈。

中科院苏州纳米所广东（佛山）研究院外景

院地合力 打造辐射粤港澳大湾区的一流应用技术创新创业平台

为积极响应习近平总书记在党的十九大报告中关于粤港澳大湾区建设的战略部署，贯彻习近平总书记在广东考察时“要有志气和骨气，加快增强自主创新能力和实力，努力实现关键核心技术自主可控”的重要指示，深入落实《广东省人民政府 中国科学院“十三五”全面战略合作协议》，发挥中国科学院在国家创新驱动发展战略中的支撑和引领作用，培育创新动能，推进粤港澳大湾区建设，2018年11月18日，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（以下简称“中科院苏州纳米所”）与佛山市人民政府、佛山市南海区人民政府签署框架协议，共建中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东（佛山）研究院。根据协议，研究院将以提升粤港澳大湾区纳米技术、半导体等领域的自主创新能力为目标，致力于产业技术领域核心关键技术突破、共性技术研发、技术系统集成、工程化示范应用和产业化，力争建设成为纳米技术、半导体等领域产业源头技术与系统集成的重要基地、产业公共技术支撑与服务的重要平台以及产业高端人才培养与集聚的高地。

中科院苏州纳米所广东（佛山）研究院于2019年7月正式成立，一期拟投入运营资金12亿元，占地100亩，建设35000㎡的科研及办公场地和23000㎡的洁净实验室；二期规划建设120000㎡的专业化半导体产业载体。目前，研究院相关基础建设工作正在有条不紊地展开，相关设备、制度、人员等软硬件搭建也正同步进行。其中，纳米加工公共服务平台面向企业、高校、科研院所，开展半导体外延材料生长、芯片加工、器件测试、器件封装等全流程研发，中试生产及封装测试服务，具备8英寸硅晶圆及8英寸硅基氮化镓（GaN）晶圆加工能力，并兼容2英寸、4英寸、6英寸加工尺寸晶圆。秉着“边建设、边招人、边科研、边转化”的建设思路，研究院在科研创新、平台建设、知识产权、企业服务、项目引进、交流合作等方面都取得了一定的成绩，被认定为广东省高水平创新研究院、广东省新型研发机构和广东省博士工作站等。

研究院规划建设效果图

瞄准产业方向 加强交叉学科和关键核心技术研究

作为中科院苏州纳米所在粤港澳大湾区的“桥头堡”，中科院苏州纳米所广东（佛山）研究院始终围绕实现科技自立自强及满足国家科技创新重大战略需求的定位，瞄准产业方向，充分发挥中科院苏州纳米所学科优势，重点布局化合物半导体关键材料与器件、智能微机电系统（MEMS）传感、柔性印刷电子、射频通信等研究方向，充分发挥研究院纳米加工平台在氮化镓材料外延、宽禁带半导体器件加工、MEMS芯片加工、材料与器件测试表征等方面的支撑作用，开展大尺寸硅基氮化镓关键材料外延关键技术研究，在氮化镓基光电类器件、高电子迁移率晶体管（HEMT）功率器件、射频电子器件、智能MEMS传感器件、高精度柔性印刷电子器件等核心器件研发上取得突破性进展，部分研究成果打破国外技术封锁，实现关键核心技术自主可控。

创新成果转化体制机制 为创新创业保驾护航

中科院苏州纳米所广东（佛山）研究院高度重视科技成果转化工作，积极探索技术转移和成果转化的新机制、新模式，在科研人员离岗创业、科研团队考核评价、知识产权分类服务以及科技成果转化实施与激励等方面加强制度创新，促进 院地合作和科技成果转移转化。

一是健全科研人员离岗创业、兼职创新体系。明确离岗创业期，支持和鼓励科研人员带着科研成果离岗创业；设立薪酬补贴制度，根据考核结果对离岗创业人员提供不同比例的薪酬补贴；推出“分段考核、分类评价”新机制，重点从研究质量、原创价值和市场贡献等方面对人才进行阶段考核和评价。

二是动态调整科研团队考核办法，积极引导科研人员创新创业。积极鼓励科研人员从事创新创业活动，在量化考核方面增加开展横向合作、参加技术对接活动、实现成果转移转化等指标权重，有意识地引导科研人员进行与产业相关的应用研究、产品开发、技术指导。

三是建立健全知识产权分类服务体系。出台研究院《知识产权管理办法》，落实非职务成果报备，规范产学研活动中知识产权归属，对专利申请、放弃、转化实施全过程进行分类分级管理。

四是优化调整科技成果转移转化实施及奖励体系。出台研究院《科技成果转移转化实施及奖励办法》，进一步突破奖励比例上限，并科学设计弹性化奖酬机制，形成“高奖酬，可持续”的良性发展模式。

未来，中科院苏州纳米所广东（佛山）研究院将继续坚持科技创新与产业服务并重，建设创新成果的工程化示范基地，围绕产业链部署创新链，打造区域创新策源地。建设8英寸纳米加工中试平台，着力打造服务于半导体产业的高水平技术公共服务平台，使合作方能以“轻资产、低门槛”的方式专注于自身核心竞争力的构建。同时，引进一批半导体及电子信息类高技术初创企业、有基础的成熟企业落户佛山，充分发挥引领示范作用，助推企业成长，加速产业集聚。