一种电子混合气在线称量配气系统

申请(专利)号：CN202022212451.5

公开(公告)日：2021-09-24

申请(专权)人：中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司

摘要:本实用新型涉及一种电子混合气在线称量配气系统，属于电子混合气技术领域。包括组分气体供气单元、稀释气体供气单元、电子混合气充装气瓶、分析单元、杂质气体收集气瓶、真空泵组和称量天平；电子混合气充装气瓶分别与组分气体供气单元和稀释气体供气单元通过充装管路连接；杂质气体收集气瓶分别与组分气体供气单元和稀释气体供气单元通过收集管路连接；充装管路与收集管路之间连接有真空泵组；充装管路和收集管路上分别设有球阀；所述系统能够在最大程度上节省组分气体和稀释气体的损耗量，并且还能够提升输气管道的真空度，减少检测时间，从而降低电子混合气的生产周期。