国内首台套全自动12英寸单晶硅定向仪研发成功

2019年7月5日，丹东新东方晶体仪器有限公司研制开发的国内首台套设备——XDF-7DZ全自动多功能单晶硅晶棒定向仪通过新产品鉴定。此次鉴定会由辽宁省工业和信息化厅委托丹东市工业和信息化局组织召开，鉴定委员会由北京中材人工晶体研究院有限公司黄存新教授级高工、辽宁省计量科学研究院刘剑教授级高工、北京天科合达半导体股份有限公司赵科新研究员等七位专家组成。专家一致认为该产品填补国内空白，主要技术指标达到国际先进水平。

XDF-7DZ全自动多功能单晶硅晶棒定向仪采用X射线与三维立体成型软件相结合的方法，搭建了多自由度滑台，实现12 inch大尺寸晶棒的一次性定向、粘结及复检功能。系统通过角度之间的关系建立三维空间解析方程，选取最优值晶棒的旋转角和摆动角，提高了半导体级单晶硅晶棒的定向精度，可实现调距精度±0.01 mm、粘结精度≤0.05°、定向精度≤25″，单晶硅晶棒粘结成品率达到98%以上。该产品的研发成功适应芯片产业高速发展的市场需求，符合国家倡导的节能减排和大力发展高新技术的政策，进一步助力国内半导体事业的蓬勃发展，为我国自主知识产权结构添砖加瓦。