一种高效氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法
2017-03-10 18:19:22
无机盐工业 2017年7期
一种高效氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法
本发明公开了一种高效氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法，包括如下步骤：1）清洗玻璃基片，后用高压N2吹干；2）采用直流耦合射频磁控溅射的方法沉积氮掺杂二氧化钛薄膜，即射频电源与匹配器相连接后与直流电源一起连接至滤波器，滤波器直接连接阴极，射频电源和直流电源一起供电给阴极。本发明采用直流耦合射频磁控溅射的方法沉积氮掺杂二氧化钛薄膜，从而得到沉积速率快、膜层质量高的薄膜。本发明工艺简单，条件易控，制备周期短，易于规模放大。制备的氮掺杂二氧化钛薄膜结晶度高，与基底结合牢固，稳定性好，可重复使用。
CN，106637117A
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