AOI测试机常见假点调试及个案分析

王 涛（ 天津普林电路股份有限公司，天津 300250）

AOI测试机常见假点调试及个案分析

王 涛
（ 天津普林电路股份有限公司，天津 300250）

AOI全称为自动光学检查机，AOI是基于光学原理对电路板生产过程中遇到的常见缺陷进行检测的设备。本文以Camtek测试机为例，叙述一些常见的假缺陷（假点）问题，及本人采取的调试措施。

1 遮盖问题

如图1所示，图形中的网格会被当做线细报出缺陷，而且网格上的缺陷也不影响产品，我们将网格遮盖，以便测试。此外字母，数字也会报出很多假点，影响AOI测试，也采取遮盖的办法进行调试。

图1 网格电路图

还有，铜面上较细的连接处，或延伸出来的较细的图形，会以假线细的形式报出缺陷，影响AOI正常扫描，确认其不影响性能且无关网络连接的情况下，将其遮盖后测试。非金属化孔也需要用到遮盖的办法，堵孔后，其周围会报出缺陷，可以将其遮盖，或在堵孔界面选择需要堵的孔延伸其数值来解决此类问题。

遮盖是AOI测试时常用的调试方法，但遮盖前必需经过确认，也不可遮盖范围过大，以免遮到检测区域中的线路图形。

2 孔偏问题

如图2所示，孔偏以MIC算法报出CMTS缺陷，未破环，进一步确认若孔偏在让步范围之内，将孔环参数中的Find All选项改设置为Neck ONLY，只测颈部，解决此类问题。外层AOI测试常会遇到孔偏但未破环的缺陷，首枚测试不建议调试，调试孔偏会影响孔环其他缺陷的侦测，可能引起固定点缺陷。

图2 孔偏

3 拉动灰阶值

灰阶值是AOI测试机中的一个重要参数，初始数据制作对灰阶的调试范围有相应的规定，初始制作不可超出范围，对于不同类型的假点再做相应的调试。如图3所示，扫描后以feature black nick 算法报出基材阴影（此类问题的出现因设备性能而异），这时我们需要上调左峰灰阶，将基材阴影调掉。 此外灰阶也用于调试对应算法报出的缺陷，在此不一一举例。

图3 灰阶值

4 敏感度

经常会遇到铜面或线路上有微小可让步的小缺口（以线宽1/4为标准），是可以忽略的缺陷，此时，我们可以通过调节缺口的敏感度来解决此类问题，反之，微小突铜也可以通过调节此参数解决。

敏感度虽然会过滤掉小缺陷，也有漏测风险，一般情况下不建议调试。

个案分析：

（1）线细接近0.03 mm。测试0.03 mm的线路板，接近设备能力极限，以CMTS DEFECT报出缺陷，且左右灰阶拉开范围越大，报假点越多，调试次工号时，反向拉动灰阶，并关闭MIC算法，只通过feature和DRC算法捕捉缺陷，可以测试。

（2）反铜箔板材。反铜箔的板材正常的参数下无法测试，报出很多假点，对于此类板材，需通过改变光的反射强度来测试，且基于不同设备能不同做不同改变。

5 小结

使用好AOI机需了解设备的能力，并配合参数的调试，保证工艺与生产的配合进行。不得不承认，在不做任何调试，用初始参数做测试，也存在漏测的风险，只是相对概率低，调整参数后，在过滤掉假点的同时也影响到了真正缺陷的侦测能力，在存在多种解决办法和调整方案的时候，应基于选择最低漏测风险，以最佳工艺参数配合生产的高效进行。

[1] CAMTEK AOI系统操作手册, 版本B.

[2] EyeQ系统操作手册,2008.

[3] Dragon Application Training Rule Edit, 2008.

王涛，AOI工序工艺工程师。

AOI testing common false defect method and individual cases analyse

WANG Tao