ASML扫描机与NIKON步进机的匹配技术

程建瑞，吴成功

(上海微高精密机械工程有限公司，上海201203)

为了合理利用资产资源，充分发挥光刻机的极限分辨率和产能，对现有的PAS扫描机与NSR步进机进行混合匹配生产，分别从混合匹配生产的可行性、匹配步骤、匹配精度控制、匹配校准问题进行分析研究，最终实现生产要求的分辨率和匹配套刻精度。所选用匹配机型分别为PAS5500/700（以下简称 A机）和 NSR2205i12（以下简称N机）投影光刻机。其技术指标见表1。

匹配加工所选用材料：

因为OA = OB = 1,所以△OAB为等腰三角形.取AB中点M,连结OM,则OM为∠AOB的平分线,因此OM是镜面的垂线.又OI是水平面的垂线,所以,OI与OM所成的角∠IOM即为镜面与水平面所成的角.取BH中点N,连结MN,可知∠OMN = ∠IOM.

(1)晶圆片（Wafer）：4英寸砷化镓、硅、碳化硅晶圆材质。

对于更好的实施朋辈导师制度来说，对导师的激励机制尤为重要。可以通过选择合适的场合颁发导师聘用证书以增强其荣誉感;择机向朋辈导师所在班级老师、辅导员和同学群体中公布导师聘用信息;定期举办朋辈导师工作论坛进行经验交流;利用自媒体、传统媒体等渠道适度宣传朋辈导师的业绩和形象，以及适时评估和奖励导师的工作表现等，为顺利开展激励机制起到辅助作用。［4］

图1 PAS5500/700投影扫描光刻机与NSR2205i12D投影光刻机

表1 匹配光刻机技术指标

1 匹配基本步骤设计

匹配掩模版结构示意图见图2、图3。

图2 A机掩模版结构示意图

匹配晶圆对准标记见图4、图5、图6。

根据不同的业务场景，建议将重大事件保障、远程控制优先、本地控制优先定义为三种不同的业务配置。对于重大事件保障类，由于时延要求低，需要使用上行保活的方式工作，如电气参数上报（心跳）周期可调节到90秒；对于远程控制优先类，电气参数上报（心跳）周期可调节为30分钟；对于本地控制优先类，电气参数上报（心跳）周期可调节为1小时一次。

LSA（Laser Step Alignment）对准标记，三线标记宽度400 μm，要占据上层和本层图形空白位置。

水墨动画出现是我国动画界对世界动画史的贡献。中国虽然不是动画大国，也不像日本那样是动漫大国，但是在动画传播到中国之后，中华民族的艺术传统也同样会给这种艺术添加丰富的内容，凸显中国传统文化对这一世界性的艺术形态的影响。尽管水墨动画在发展过程中遭遇到很多困难，但是它带有独特文化传统艺术形式所具有的顽强的生命力，曾经的辉煌就证明这一结论是正确的，只有民族的，才是世界的。水墨动画凭借着悠久的传统水墨发展的历史，加之现在发达的科技水平和对外开放的文化环境，必然会有不可估量的发展空间。水墨动画是一种融合了传统文化的年轻的艺术形式，正是因为它的年轻，才彰显出巨大的生命力。

图3 N机掩模版结构示意图

图4 A机对准标记

图5 N机LSA对准标记

FIA（Field Image Alignment）对准标记，可以对准位于划线槽的传递标记。FIA对准标记，宽度小于80 μm，可以放置在划线槽中，或上层及本层图形空白位置。

对准标记的对应关系见图7、图8、图9。

匹配策略：

峤字挺生僻，苏楠第一次见到。要不是对方自己念出来，苏楠还不知道该怎么发这个音。李峤汝也是郑州的，教育报编辑。这报纸苏楠见过，老公是大学老师，有时候带回来的书啊烟啊就用这报纸裹着。苏楠从桌上取出自己的名片，做了交换。

N机每层曝光前对准A机或自己制作的上一层传递标记（layer to layer alignment）。

A机分辨率较高，用于加工关键层；N机分辨率较低，用于加工非关键层。

该地初次栽培香菇，已获明显的经济效益，但万家店村、王院村与纳黑村仍均存在一定的管理不善问题。三地均存在后熟期长的现象。纳黑村因劳动力缺乏出现了脱袋不及时，大量袋内憋菇造成总产量、品质降低，这是不完全了解品种特性，未合理安排菌棒接种，转色时间造成。

图6 N机FIA对准标记

图7 匹配套刻的对准曝光示意图

图8 图形曝光原理图

图9 曝光视场匹配关系：

产品最大曝光视场受参与匹配光刻机的最小视场限制，可以有两种匹配模式：

（1）同心视场匹配：扫描机视场利用损失40%，但匹配规划简单，镜头引起的各种误差较小，匹配精度较高；

（2）不同心视场匹配：扫描机视场利用率可大于70%，允许一个扫描视场做两次步进曝光，但是导致场间套刻误差问题，规划复杂，吸引力不大。

匹配对准标记布局见图10、图11。

图10 N机标记在一个视场内位置（理论上可以任意放置）

2 匹配参数调整

匹配参数控制原