太和气体(荆州)有限公司电子级氯化氢项目正式投产

2014-03-23 19:11
低温与特气 2014年6期
关键词:太和高纯氯化氢

太和气体(荆州)有限公司(以下简称“公司”)投资建设的高纯电子级氯化氢项目于2014年9月正式投产,产品纯度最高可达到99.999%,设计产能800 t/a,为国内最大的电子级氯化氢制造商。

电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀,清除钠离子。另外高纯氯化氢也用于金属表面化学处理,激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理。随着半导体市场需求的增加,氯化氢作为重要气体材料,其用量也将逐年增长。

电子级氯化氢的生产绝大多数采用尾气回收精馏的方式,由于尾气中有部分未知杂质无法通过精馏纯化的方式去除,产品质量存在一定的隐患。为了提高电子级氯化氢的质量稳定性,公司吸收国内外的先进技术经验,采用高纯氯和高纯氢合成反应生产氯化氢气体,最大限度地避免了未知杂质对产品纯度的影响。同时,公司依托Linggas的研发团队对生产工艺流程进行改良创新,实现质量稳定、安全可靠的规模化生产。

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