综合利用MOCVD设备尾气的装置

2014-03-23 19:11:50
低温与特气 2014年6期
关键词:交换器变压液氨

申请(专利)号:201420277522.1

公开(公告)日:2014-11-26

申请(专利权)人:安徽亚格盛电子新材料有限公司

本实用新型提供一种综合利用MOCVD设备尾气的装置,MOCVD的尾气通过管道进入低压缓冲罐,低压缓冲罐通过压缩机连接于高压缓冲罐,高压缓冲罐管道连接于预冷交换器上,预冷交换器下端管道连接有低温冷凝器,低温冷凝器下方管道连接有气液分离器,气液分离器的下端通过液氨泵与液氨储槽连接、顶端管道连接于分子筛吸附柱上,分子筛吸附柱上端连接在变压吸附柱上,变压吸附柱管道连接于氢气储罐。本实用新型结构简单,能够对MOCVD尾气进行有效分离,液氨和氢气被回收,可直接应用到其他行业,氮气可以直接排放,综合利用率高,且没有安全和环保的问题。

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