BESTITY推出LED基片平整度翘曲度检测分选机

上海卓晶半导体科技有限有限公司（Shang-Hai Bestity Semiconductor Technology Co.,Ltd以下简称BESTITY）位于张江高科技园区，是一家自主研发生产高精度高品质半导体制造、LED制造设备的高科技企业，公司已经申请多项专利。目标是为客户提供性价比更好的设备。

BESTITY公司拥有一批在半导体设备制造行业有多年经验的员工，在自动控制、软件控制及机械设计方面拥有雄厚科研实力，并能根据客户的需求进行非标设备的设计和制造能力。公司首个自主研发产品——LED基片平整度翘曲度检测分选机各项技术指标达到国际先进水平，填补国内空白。本产品是对衬底片逐片检测分选的高精度、高效率设备，是为提高最终产品良率、降低成本而开发的新概念的产品。可以帮助PSS生产厂提高良率20%以上，对于衬底制造的厂家，本产品亦可帮其高效筛选出合格片里面的高规格片子(一般为10%)。见图1。

关键技术：

图1 整机图

1）使用激光位移传感器检测技术，通过无接触检测技术，能有效减少对基片的污染，损伤。

2）通过上下位机设计，能够有效提高生产效率。上位机主要进行数据处理，下位机主要进行运动控制和IO处理。

3）采用多片盒结构，根据检测结果定义不同片盒来放置检测后的基片，方便客户进行删选或下道工序。

4）自主研发基于PC的多线程上位机软件，可以实时显示当前检测结果并能以3D图显示结果。出现异常情况时，可自动及时提醒操作员。

5）通过严谨的机械设计和计算机仿真技术保证系统刚性、稳定性和可靠性。

产品性能优势：

1）新概念：a、集检测与分选于一体是本产品一大创新，填补国内空白，与国外设备（仅有检测没有分选功能）也有很大不同；b、结合光刻工艺的要求，更加贴近实际生产。

2）高效率：该设备能够实现（4英寸）100片/h的检测效率，相对国外同类设备效率是60片/h（不含分选功能），客户的投资回报率更高。

3）方案合理：有效地将光刻机中的技术创造性地借鉴过来，精度高，可靠性好。

4）高精度：厂家对衬底片的检测精度要求是um级，我们检测精度为0.1um，和国外厂家基本一致。

5）检测方式：扫描检测更加精细化，符合光刻工艺的要求。

6）兼容性好：可测试2～4英寸的衬底片，稍作扩充能达到对6英寸衬底片的测试。可以配置成3、4、5、6多个片盒装载系统的结构。

7）准确率高：通过逐片检测解决了抽检造成的随机性误差，扫描检测提高了LTV的准确性。

8）功能齐全：除平整度的检测分选外，本产品还可用于翘曲度的检测等沉底检测的常规功能。