韩国半导体设备业发展策略研究

杜渐

(上海图书馆科技情报研究所，上海 200031)

设备业是半导体产业发展的基础和支撑，在半导体产业发达的国家均把设备业作为重要的战略产业积极加以扶持。从20世纪80年代末开始，韩国就一直在努力打造本国的半导体设备产业，借助于政府、大型半导体企业的大力支持，韩国半导体设备逐渐取得质的飞跃。尽管目前韩国国内半导体设备业总体规模还不大，多数设备产品销售还是主要依赖国内市场，但在一些设备领域韩国企业技术水平已经接近国际领先水平，如PSK的光阻去除设备，可以最大产出率达到440片/min，接近Novellus和Mattson设备性能。本文希望通过韩国半导体设备也发展策略，对国内的设备产业发展提供有益借鉴。

1 发挥产业集团的作用，积极推动半导体生产企业设备采购本地化

韩国是2010年全球半导体设备的第四大市场，其设备市场规模约占全球半导体设备市场的17%。2011年，韩国最大两家集成电路制造企业三星电子和海力士的设备投资预算分别为96亿美元、30亿美元，排在全球第一和第四位。韩国的半导体设备与制造企业之间有着很深的渊源，有相当数量的设备企业早年是从韩国国内半导体企业或其企业集团中分离出来的（如：韩国领先的OLED设备企业SFA是由三星宇航工业旗下的自动化部门分拆出的），并且双方在技术研发等方面有着长期、密切的联系。近年来，三星电子、海力士为了降低设备、零部件及材料等的对外依存度，获得稳定的后备供应来源（Second Source），均在强化设备采购本地化战略，通过股权投资、合作开发或产品采购等多种方式支持、培育国内设备企业发展。例如：2011年三星电子投资了韩国CVD、ALD设备生产企业Wonik IPS相当于公司9.4%股份的可转化公司债券；三星电子、海力士与国内设备企业均存在长期合作的关系，有共同实施的合作开发项目，并且按照三星电子、海力士的采购政策，韩国本土设备生产厂商只要取得验证报告，即可获得量产订单。

2 积极参与国际研发合作

韩国半导体产业是以“技术引进”为起点逐渐发展起来的，历来重视参与国际研发合作。2007年，韩国与美国达成了一项半导体合作研发的协议，合作协议涵盖半导体设计、制程、设备材料等三个领域，其中半导体设计的美方合作伙伴为加州大学伯克利分校，制程的合作伙伴为斯坦福大学，设备材料的合作伙伴为德克萨斯州大学达拉斯分校，项目将分两阶段进行，第一阶段（2007-2008年）双方在硅谷及得克萨斯建立研发基地，第二阶段（2009-2011年）双方探索建立战略性合作伙伴关系。同时，韩国政府将为合作提供相应的匹配资金，并协调国际、国内的相关研发活动。此外，近两年得益于技术上的进步，国际半导体设备研发合作、标准制定组织也开始吸收韩国的设备企业参与，如：Eugene Tech作为设备供应商被吸收进SEMATECH的“internation Sematech Manufacturing Initiative”（ISMI）450mm 生产线设备研发、标准制定项目。

2011年，韩美自由贸易协议被美国参众两院批准通过，正式生效。由于美、韩两国在半导体领域的技术存在一定互补性，美国半导体基础技术领先，韩国则擅长应用相关技术的开发，未来两者的合作将进一步增强。见图1。

图1 美国、韩国合作研发的半导体技术

3 政府规划支持半导体设备业发展

韩国知识经济部2009年底，宣布联合三星电子、海力士等两家半导体企业注资584亿韩元（5050万美元），发展本土半导体设备产业，重点推进低温化学气相沉积（LPCVD）、蚀刻设备、铜制程化学机械研磨设备（Cu CMP）、关键点测量设备（CD-SEM）、离子掺杂设备等7个商业化项目，争取2013年形成2500亿韩元的销售收入。见表1。

表1 韩国知识经济部宣布支持三星电子和Hynix核心半导体设备的开发