高功率准分子激光沉积类金刚石膜的热稳定性

金　哲　李俊杰　盖同样　林景波　李哲奎　张　寿　彭鸿雁　金曾孙

提要：在不同温度下(200—800℃)将高功率准分子激光溅射方法沉积的类金刚石膜进行退火实验．利用Raman和XPS光谱分析类金刚石膜在退火过程中的化学键合结构变化．结果表明，类金刚石膜是由少量的SP²C键和大量的SP³C键组成的非晶态碳膜．在退火温度小于600℃范围内，类金刚石膜的热稳定性较好；退火温度高于600℃时，类金刚石膜中的SP³C键逐渐向SP²C键转变，当退火温度升到800℃时，类金刚石膜中SP³C键含量由退火前的大约70％下降到40％．可见，高温退火能导致类金刚石膜的石墨化趋势．

关键词：准分子激光沉积；类金刚石膜；热稳定性；退火温度

中图分类号：0484．5

文献标识码：A

文章编号：167l—5489(2003)04—0497—04