中国电科实现国产离子注入机28 纳米工艺全覆盖

2023 年，中国电科实现国产离子注入机28 纳米工艺制程全覆盖， 有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是執行这一掺杂工艺的芯片制造设备。