化工标准化动态

2023-03-19 12:47吴世清
化工生产与技术 2023年2期
关键词:光谱法碳化硅硅片

2022年1月以来实施的含硅系列标准(一)

1)GA/T 1965-2021《法庭科学硅藻rbcL基因特异片段检测毛细管电泳荧光检测法》。规定了法医物证检验水中尸体组织中硅藻的材料准备、操作方法、PCR扩增硅藻叶绿体核酮糖-1,5-二磷酸羧化酶大亚基基因特异片段和实时荧光定量检验结果判定及注意事项。

2)GB/T 12690.7-2021《土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法第7部分:硅量的测定》。规定了稀土氧化物中全硅含量、稀土金属及其氧化物中酸溶硅含量的测定方法。适用于稀土金属及其氧化物中硅量的测定,包含钼蓝分光光度法(方法1)和电感耦合等离子体原子发射光谱法(方法2)。钼蓝分光光度法(方法1)适用于稀土氧化物中全硅含量及稀土金属及其氧化物中酸溶硅含量的测定,测定范围(质量分数):0.001 0%~0.20%;电感耦合等离子体原子发射光谱法(方法2)适用于稀土金属及其氧化物中酸溶硅含量的测定,测定质量分数0.010%~0.20%。当2 个方法的分析范围出现重叠时,宜首选方法1作为仲裁方法。

3)GB/T 18916.60-2021《取水定额 第60 部分:有机硅》。规定了有机硅取水定额的计算方法、取水定额以及定额管理要求。适用于现有、新建和改扩建有机硅(硅氧烷环体)生产企业取水量的管理。

4)GB/T 21944.1-2022《碳化硅特种制品反应烧结碳化硅窑具第1部分:方梁》。规定了反应烧结碳化硅方梁的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和储存。

5)GB/T 21944.2-2022《碳化硅特种制品反应烧结碳化硅窑具第2部分:异形梁》。规定了反应烧结碳化硅异形梁的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和储存。

6)GB/T 21944.3-2022《碳化硅特种制品反应烧结碳化硅窑具第3部分:辊棒》。规定了反应烧结碳化硅辊棒的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。

7)GB/T 21944.4-2022《碳化硅特种制品反应烧结碳化硅窑具第4部分:烧嘴套》。规定了反应烧结碳化硅烧嘴套的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和储存。

8)GB/T 223.90-2021《钢铁及合金硅含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法》。规定了用电感耦合等离子体原子发射光谱法测定硅含量的方法。适用于生铁、铸铁、非合金钢、低合金钢及合金钢中质量分数0.01%~5%的硅的测定。

9)GB/T 24581-2022《硅单晶中III、V 族杂质含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法》。描述了用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中III、V族杂质含量的方法。适用于硅单晶中的III、V族杂质铝(Al)、锑(Sb)、砷(As)、硼(B)、镓(Ga)、铟(In)和磷(P)含量的测定,各元素的测定范围(以原子数计)为1.0×1010~4.1×1014cm-3。

10)GB/T 2480-2022《普通磨料碳化硅》。规定了碳化硅磨料的牌号、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、运输及贮存。适用于制造固结磨具、涂附磨具用途和自由研磨、抛光、切割用途的碳化硅磨料。

11)GB/T 26069-2022《硅单晶退火片》。规定了硅单晶退火片(以下简称退火片)的分类、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存、随行文件及订货单内容。适用于通过退火工艺在硅单晶抛光片表面形成一定宽度洁净区的硅片,产品用于技术代180~22 nm的集成电路。

12)GB/T 32280-2022《硅片翘曲度和弯曲度的测试自动非接触扫描法》。描述了利用2个探头在硅片表面自动非接触扫描测试硅片的翘曲度和弯曲度的方法。适用于直径不小于50 mm、厚度不小于100 μm 的洁净、干燥的硅片,包括切割、研磨、腐蚀、抛光、外延、刻蚀或其他表面状态的硅片,也可用于砷化镓、碳化硅、蓝宝石等其他半导体晶片翘曲度和弯曲度的测试。

13)GB/T 3286.11-2022《石灰石及白云石化学分析方法第11部分:氧化钙、氧化镁、二氧化硅、氧化铝及氧化铁含量的测定波长色散X 射线荧光光谱法(熔铸玻璃片法)》。石灰石及白云石化学分析方法第11 部分:氧化钙、氧化镁、二氧化硅、氧化铝及氧化铁含量的测定波长色散X 射线荧光光谱法(熔铸玻璃片法)。

14)GB/T 34520.8-2021《连续碳化硅纤维测试方法第8部分:氧含量》。规定了采用惰性气体熔融-红外吸收法测定连续碳化硅纤维中氧含量的试样制备、试样测试、测试结果计算等内容。适用于采用惰性气体熔融-红外吸收法测定连续碳化硅纤维的总氧含量。非连续碳化硅纤维及基体的氧含量测试参照本文件。其他陶瓷纤维的氧含量测试参考本文件。

15)GB/T 35596-2022《硼硅酸盐玻璃吹制耐热器具》。规定了硼硅酸盐玻璃吹制耐热器具的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。适用于机器或人工吹制的硼硅酸盐玻璃吹制耐热器具。

16)GB/T 35598-2022《硼硅酸盐玻璃压制耐热器具》。规定了硼硅酸盐玻璃压制耐热器具的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。适用于机器或人工压制的硼硅酸盐玻璃耐热器具。

17)GB/T 40312-2021《磷铁磷、硅、锰和钛含量的测定波长色散X射线荧光光谱法(熔铸玻璃片法)》。描述了用波长色散X 射线荧光光谱法测定磷铁中磷、硅、锰和钛的含量的方法。适用于磷铁中磷、硅、锰和钛含量的测定。

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