北方华创争上游

方祎　李雅洁

10月，北京一家半导体设备公司，将迎来自己的21岁生日。这家名为北方华创的公司，目前市值1500亿元，是半导体产业上游的巨头。

半导体设备，是整个行业的关键环节，具有高壁垒、长积累、跨学科的特点。短期砸钱造不出奇迹。

早在国内产业发展初期，北京华创就开始布局半导体设备，经过20余年的积累，打响名号。

积累深厚

北方华创由两家半导体设备公司重组而来。

一家是老牌设备企业北方微电子，成立于2001年10月，主要生产刻蚀、沉积设备。另一家为七星电子，研发生产清洗机、氧化炉、原子层沉积设备（ALD）等半导体设备，制造经验丰富。

2016年，七星电子与北方微电子重组，一年后，新公司更名为“北方华创”。

团队领头人实力强大。董事长赵晋荣，毕业于西安电子科技大学，高级工程师，历任七星电子总经理、北方微電子总裁、国家“100纳米高密度等离子刻蚀机”项目总设计师。

这家公司的发展，离不开芯片大基金的支持。

2014年，国家集成电路产业投资基金成立，一期募资1387亿元，二期2041亿元。

2016年，大基金一期斥资6亿元，参与北方华创的定增。3年后，大基金一期再度投资9.2亿元。2021年，大基金二期投资15亿元，认购493.42万股。

值得一提的是，大基金曾在2020年，减持北方华创990万股。目前大基金为北方华创第三大股东，合计持有8.4%的公司股份。

半导体下游公司中，长江存储正在进行新一轮扩产，合肥长鑫也在加速采购国产设备。比如长江存储于2021年启动二期项目，预计产能将达到10万片/月，对设备需求量大。

赶上风口，该公司业绩大增。

国际半导体产业协会（SEMI）最新报告显示，2021年全球半导体制造设备销售额增至1026亿美元，创历史新高，年增44%，中国为全球最大的半导体设备市场。

2022年上半年，北方华创营收54.44亿元，同比增长50.87%;净利润7.55亿元，同比增长143.16%。

值得注意的是，北方华创的半导体设备，部分重要零部件依赖国外厂商，主要来自美国、日本和欧洲。一旦贸易争端加剧，存在零部件断供风险。

贝恩公司在《半导体行业白皮书》中表示，面对复杂的国际局势，半导体设备公司一是可以借助本土优势，及时响应下游客户需求，锻造与国际厂商差异化的服务能力;二是要关注潜在的收购机会，垂直整合强化现有业务，或通过横向收购，补足短板，扩大版图。

技术攻关

半导体装备主要用于制造晶圆，包括扩散、光刻、沉积、离子注入、刻蚀、抛光等步骤。

北方华创深耕行业20余年，已覆盖除光刻外的全部工艺，尤其擅长沉积、刻蚀。

沉积，是指让金属、氧化物、氮化物等不同物质附着于衬底材料表面。根据工作原理差异，可分为物理气相沉积（PVD）设备、化学气相沉积（CVD）设备等。

刻蚀，是指将晶圆表面刻蚀形成3D图形，分为湿蚀刻与干蚀刻。清洗工艺主要用于去除芯片制造中上一道工序所遗留的各类污染物。

北方华创自主研发的金属硬掩膜PVD系统，已实现我国高端集成电路PVD设备“零的突破”。

等离子干法刻蚀技术，稳定性强，北方华创将其应用于薄膜微细加工，推出8英寸、12英寸的刻蚀机，可应用于90-40纳米、40-28纳米等不同制程的集成电路。

2018年，其全资子公司北方华创微电子以1500万美元的价格，收购美国清洗设备公司 Akrion，增加半导体清洗设备产品线。

在清洗工艺上，北方华创采用湿法腐蚀技术，研发出多种类型的槽式清洗设备与单片清洗设备。晶圆加工第一道工艺所需的氧化/扩散炉、退火炉，同样被纳入北方华创的产线。

截至2021年底，北方华创已累计申请专利5900余件，累计获得授权专利3300余件。

北方华创的沉积与刻蚀设备，拿到长江存储、华虹集团的订单。

长江证券研报显示，北方华创的热处理设备，在长江存储的中标率高达56.74%，截至今年5月，公司刻蚀设备累计出货超2000台。

为了提高技术水平，扩展产品线，公司研发投入加大。财报显示，2021年，北方华创的研发投入达28.92亿元，同比增长79.85%;研发人员增长至2044人。

这家经验老道的企业，重金投入研发，激发创新，有望抹平差距，走出去和半导体设备巨头竞争。