专利名称:一种钼镍铜多元合金溅射靶材及其制备方法

专利申请号:CN201911037789.7

公开号:CN110670032A

申请日:2019.10.29

公开日:2020.01.10

申请人:金堆城钼业股份有限公司

本发明公开了钼镍铜多元合金溅射靶材及其制备方法，由以下质量组分组成：Ni 5%～45%，Cu 1%～10%，余量为Mo，以上组分的质量分数之和为100%；通过混料—冷等静压—热等静压—去除包套—一火多道次热轧—退火—机加工等，得到钼镍铜多元合金靶材。本发明制备方法通过混匀钼镍铜粉体，避免单纯钼合金熔点较高而无法采用常规雾化法的局面；通过设置烧结工艺参数，解决了多元合金中3种金属粉末熔点相差较大不易烧结的问题；通过溅射靶材金属化，解决了电沉积法进行陶瓷金属化所产生的精密性及安全性差的问题；制备的钼镍铜多元合金溅射靶材，气密性好、耐湿耐潮、高密度、高纯度，提高陶瓷-金属封接材料的使用寿命。