章军云：核心芯片工艺领域的青年先锋

文/小芯

作为工艺研发工程师，中国电子科技集团公司第五十五研究所化合物部技术总监章军云始终以推动核心元器件自主创新为己任，坚守在核心芯片工艺领域一线，主持多项国家重点项目，在第二代半导体砷化镓、第三代半导体氮化镓领域，攻克了多个关键技术，研究开发出多种核心工艺，推动了化合物半导体等核心器件走向工程化应用。

科技创新的道路不是坦荡通途，

那里荆棘遍布，

先行者的脚步总是很寂寞，

还有失败与挫折。

但没有了梦想，

也就迷失了自我，

勇敢的创新者喜欢傲立霜雪，

踏平一路的坎坷，

登顶欣赏山峰的巍峨。

再回首，

没有价值实现的生活叫活着；

有追求、有激情、有梦想、

有意义的活着才叫生活。

攻坚克难

2006年，章军云进入中国电子科技集团公司第五十五所攻读研究生，毕业后留在五十五所工作。

章军云总说自己心不大，只要装着问题就吃不下饭、睡不着觉，一定要想办法解决。在工艺技术进步的道路上，他全身心投入，一旦有了想法，确立了工艺技术试验方案，就一头扎进去，有时为了能尽快得到试验结果，要从白天一直忙到深夜。章军云所在的化合物半导体工艺产线24小时不间断运行，大家每次见到他都不知他上的是白班还是夜班。章军云执着而又充满激情地工作，开拓了一项又一项工艺成果。提起他，大家说得最多的是：“找他别去办公室，去工艺线上，他保准在那里。”

2016年年初，章军云晋升为副主任工艺师，主管产品工程师团队。他刚接手产品工作时，恰逢某大功放芯片遭遇技术问题，无法交付。在巨大的压力面前，章军云首先想到自己是一名共产党员：“我不上，谁上？”他安抚住团队，继而带领大家快速、高效地进行试验，有时一天之内就要进行几组实验芯片的测试分析。章军云敢于担当、勇于试错，在较短的时间里找到了问题所在，攻克了技术瓶颈，保证了产品交付。

研发某多功能芯片时，有一个工艺参数怎么也实现不了，团队成员在章军云的影响下相互鼓励，总结试验结果的同时，不断地去尝试新的想法，最终，通过在试验过程中抓细节、找灵感，获得了理想的结果。章军云说，在新型器件研发过程中遇到困难是常有的事，这时要对自己有信心，对团队有信心，不抱怨、不气馁，用科学的方法去分析，大胆假设，要不断地通过实验来验证哪种工艺条件和参数是最好的。

章军云的爱人在一次参加所里举办的家庭开放日后写道：“他经常为了攻克技术难关加班到深夜，女儿睡着了他才到家，早上女儿醒来，他又上班去了。看着他全身心投入工作的样子，看到他带领团队取得的成绩，我们为他骄傲！”

改革创新

章军云读研时就有各种新奇想法，热衷创新，工作后，在新工艺研发岗位上更是如鱼得水。新工艺的开发是一项创新性的工作，需要不断地摸索。章军云善于在工作中发现问题，在摸索中提出问题，以实干精神研究、解决问题。在0.25um（微米），0.15um工艺平台的研发工作中，他将电子束直写工艺转移到Stepper（步进重复投影曝光）光刻工艺中，单步工艺的工作效率提高了近5倍。他曾在短短的三个月内针对某个参与竞标的产品创新开发了一套新工艺。产品的性能指标远远高出竞争对手，为占领市场抢占了先机，得到电路设计师的一致认可。由章军云主导开发的多款多功能芯片工艺平台填补了该技术领域的空白，实现了从无到有、从有到优的持续性革新与进步。

对标国际一流

永不满足、不断钻研是科研人员必备的品质。在取得多项工艺技术进步后，章军云已不满足于国内领先，而是转而对标国际最先进的研究成果。每次讨论工作时，章军云总告诉团队成员：“这项技术部分参数与国际最新成果还有差距，是我们下一步重点要去攻克的难题。”在他看来，对标国际不是把某一项或者几项达到国际标准，而是全方位达标。在某0.15um新工艺研发中，章军云敢于打破传统的惯性思维，挑战权威定论，攻关实现了高的纵深比细线条刻蚀工艺，对产品的击穿电压等性能指标提升起到了关键作用。在0.15um工艺平台性能优化中，他攻克了一个又一个的技术难关，同时推进十几种芯片工艺的实验验证，实现了某基于0.15um工艺平台多功能芯片的性能全面达到国际同等水平。

十余年间，章军云用一项项荣誉诠释着什么是青春风采，先后荣获所里的“最佳新人”“十佳员工”等称号。2018年，章军云荣获中国电科青年拔尖人才。2019年，他作为骨干成员申报的射频芯片项目荣获国家科技进步一等奖。2021年，章军云被评为江苏省劳动模范。

面对荣誉，章军云一如既往地云淡风轻，在他看来，从事科研工作首先要有一颗坚定的心，科研工作不可能一蹴而就，要经历一次又一次的失败，因此，只有踏踏实实地工作，才能取得成功。