集成电路行业环境影响评价管理及对策建议

乔 皎 贾 宁 杨 恺 杜蕴慧 雷 蕾 夏邦寿

(1.生态环境部环境工程评估中心，北京 100012；2.中国航空规划设计研究总院有限公司，北京 100120；3.福建省金皇环保科技有限公司，福建 福州 350001；4.信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司，四川 成都 610021)

随着经济的发展以及集成电路行业相关政策的促进，我国集成电路行业销售额持续稳步增长，成为了关系我国经济和社会发展的基础性和先导性产业之一[1]。集成电路芯片制造是集成电路行业产业链中的主要产污环节，其生产工艺步骤多达一二百步，而且精度要求高，工艺复杂，使用多种有毒有害的化学品，包括硫酸、氢氟酸、盐酸、硝酸、磷酸等各类酸，氨水[2]、氢氧化钾等各类碱，丙酮、异丙醇、醋酸丁酯、N-甲基四氢吡咯酮(NMP)等各类有机化学品，等等。使用的大多有毒有害化学品只是作为原辅材料，极少进入最终产品，因此绝大部分就变成了污染物排放。

在国家“放管服”改革的大背景下，集成电路行业建设项目环境影响评价(以下简称环评)已简化为仅需编制环评报告表，且下放到了省级及以下地方生态环境部门审批，因此基层生态环境部门尤其是作为最低一级生态环境部门的县级生态环境部门，承担起了前所未有的审批压力[3]，在执行行政审批时对政策文件的理解和技术规范的把握存在很多困惑。

本研究聚焦我国集成电路行业环评管理现状，在收集的2016—2018年全国200多个集成电路行业建设项目环评文件中筛选出了69个具有代表性的文件，在地方各级生态环境部门官方网站收集了一些地方分级审批、规划环评、标准规范等相关政策文件。目前，我国集成电路芯片制造以6英寸及以上的大尺寸芯片为主[4]，本研究筛选的69个具有代表性的文件覆盖了我国6英寸及以上大尺寸集成电路芯片制造企业的80%。地方各级生态环境部门官方网站收集的相关政策文件基本反映了目前国内地方各级生态环境部门对集成电路行业建设项目环评的管理水平。通过对上述资料的分析，针对目前在分类管理和分级审批、与规划环评衔接、建设项目重大变动、执行标准规范适用性等方面存在的问题，提出了对策建议，为解决基层生态环境管理部门环评审批遇到的问题和困惑、进一步加强环评“放管服”事项、优化调整环评管理制度等提供参考依据。

1 集成电路行业环评管理现状及存在的问题

1.1 建设项目环评分类管理混乱与分级审批不均

自2008年以来，生态环境部(包括原环境保护部)发布过4版《建设项目环境影响评价分类管理名录》(以下简称《名录》)，其中集成电路建设项目的环评文件的分类类别在每一版中都会调整。2008年版《名录》规定含前工序的集成电路建设项目需要编制的是环评报告书；2015年版《名录》规定集成电路建设项目都只需编制环评报告表；2017年版《名录》又要求含前工序的集成电路建设项目编制环评报告书；2018年版《名录》重新恢复了都只需编制环评报告表。但通过收集到的69个具有代表性的文件统计分析发现，由于前工序产废量大，且生产工艺可能涉及电镀，上海、北京、四川等地在《名录》不要求编制环评报告书的时候仍要求含前工序的集成电路建设项目环评报告表增加大气、水、环境风险等专题评价，内容的复杂程度已类似于环评报告书，甚至有少部分地区仍然要求涉及电镀的项目编制环评报告书。尽管含前工序的集成电路建设项目污染物排放强度远高于只有封装测试工序的集成电路建设项目，然而从69个具有代表性的文件数据统计发现，含前工序的集成电路建设项目只有32个，这是因为现行的《名录》不对集成电路建设项目是否含有前工序进行有差别的分类管理。

国家级、省级和市级生态环境部门均制定了建设项目环评文件分级审批相关政策文件，规定了各自的审批权限。通过对收集到的31个省级生态环境部门的分级审批相关政策文件进行统计发现，目前全国29个省份的集成电路建设项目的审批权限主要集中在市级或县级，仅北京、四川主要集中在省级。考虑到目前我国集成电路行业主要分布在长三角地区、中西部地区、京津环渤海地区、珠三角地区及福厦泉地区，因此特别对这些地区涉及的22个省份的63个省级和市级生态环境部门的分级审批文件进行统计分析，发现集成电路建设项目审批权限主要在县级的有54个。可见，县级生态环境部门承担起了大部分集成电路建设项目环评审批职责。

1.2 已开展规划环评的集成电路建设项目环评可简化内容不明确

2015年，原环境保护部《关于加强规划环境影响评价与建设项目环境影响评价联动工作的意见》(环发〔2015〕178号)中明确：“对符合规划环评结论及审查意见要求的建设项目，其环评文件应按照规划环评的意见进行简化”；2016年，原环境保护部《关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知》(环环评〔2016〕150号)中明确：“规划环评要作为规划所包含项目环评的重要依据，对于不符合规划环评结论及审查意见的项目环评，依法不予审批。规划所包含项目的环评内容，应当根据规划环评结论和审查意见予以简化。”

根据收集到的全国各省份发布的建设项目环评与规划环评相关政策文件，对项目环评提出明确简化要求的只有河南、上海、江苏、浙江等8个省份，其中又只有河南对具体简化内容提出了明确要求，其他省份只是提出了降低环评报告等级、共享现状环境数据和区域污染源调查数据等笼统的简化要求。

集成电路建设项目多数集中在工业园区内，而入园项目的环评报告在编制过程中都会参照规划环评及其审查意见，但由于大多数地区没有出台具体的可简化内容，加上规划环评本身的结论及审查意见也不给出具有可操作性的入园建设项目环评简化意见[5]，集成电路建设项目环评单位出于各方面考虑往往不会真正进行简化，造成与园区的规划环评重复工作。

1.3 集成电路行业缺乏建设项目重大变动的界定标准

《环境影响评价法》(2018修正版)第24条规定：“建设项目的环境影响评价文件经批准后，建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺，或者防治污染、防治生态破坏的措施发生重大变动的，建设单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。”

集成电路行业有以下两个方面的主要特征：(1)产品更新换代快、研发周期短，按照行业内的摩尔定律[6]，芯片上所集成的电路和微处理器等性能，每隔一段不长的时间就能翻一番，且很大一部分企业为代生产工厂，一段时间后，往往由于市场需求、客户委托内容的变化，会对某些工艺、设备做出局部调整，虽然生产的都是同一类产品，但产品的序列、层次可能已发生变化；(2)企业之间知识产权的主导权斗争激烈[7]，所获取的创新成果大多会及时登记为专利、商标等进行知识产权保护，而且企业出于商业机密的考虑，产品工艺、工序通常不会全部提供给环评单位，容易造成项目实际的污染物排放与环评报告不一致。

从集成电路行业的上述特征可以看出，集成电路建设项目从可研、初步设计到施工图设计，再到具体施工阶段，由于其市场定位、研发技术及产品规模等内容都有可能发生变化，导致集成电路建设项目经常出现实际生产的原辅材料使用量、设备等都较环评报告发生较大变化，但由于缺乏对其重大变动的界定标准，导致不少企业不开展变更环评，使得环评制度的有效执行大打折扣。

1.4 集成电路行业现行污染物排放标准已显过时

目前，集成电路行业的污染物排放标准主要执行《污水综合排放标准》(GB 8978—1996)、《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T 31962—2015)、《大气污染物综合排放标准》(GB 16297—1996)和《电镀污染物排放标准》(GB 21900—2008)等。有少部分省份如上海、北京等出台了相关的地方标准，如上海的《半导体行业污染物排放标准》(DB31/ 374—2006)、北京的《电子工业大气污染物排放标准》(DB11/ 1631—2019)。国家层面的行业标准是《电子工业水污染物排放标准》(GB 39731—2020)。

由于集成电路行业排放主要执行的标准制定时间较早，且是综合性标准，与行业的污染防治针对性不是很强。而且，集成电路行业的原材料构成、生产工艺和产品结构等都比较复杂，很多污染物都具有明显的行业特征，其废水中的总氮、氟化物指标，废气中的砷化氢、磷化氢等指标，在GB 8978—1996和GB 16297—1996中均没有相应的限制，对于部分有限制的指标其标准也偏于宽松。因此，集成电路行业使用现行的污染物排放标准不利于行业的环境管理。

2 集成电路行业环评管理的对策建议

2.1 细化集成电路建设项目环评的分类管理

建议对《名录》进一步进行修订完善，并且固定下来，细化集成电路建设项目的分类管理类别，按照工序、工艺等，建议单纯测试的集成电路制造项目只需进行登记备案，一般的集成电路制造项目需编制环评报告表，对于含前工序的集成电路建设项目在环评报告表中可以根据需要增加大气、水、环境风险等专题评价。

2.2 加强规划环评与建设项目的环评联动

建议明确入园区集成电路建设项目环评的具体简化内容：在工业园区规划环评中已开展深入论证且有明确结论的内容，例如产业政策、环境准入、市政基础条件、园区废水处理系统环境可行性等，集成电路建设项目的环评可以直接引用规划环评及审查意见中的结论或简化。

2.3 明确界定集成电路行业建设项目重大变动标准

建议发布集成电路行业建设项目重大变动判定的指导性文件或标准，明确需要报送变更环评报告的条件，可从主要生产装置类型、主要原辅材料类型、主要燃料类型以及生产工艺和技术等调整变化入手，定量规定由此导致的新增污染物量和生产能力变化，对于不属于重大变动的情况，在竣工验收时必须要求达到环评的要求。

2.4 严格行业污染物排放标准

目前，国家层面的行业标准GB 39731—2020已经发布，但只是针对水污染物。建议集成电路建设项目集中分布的地区出台更多更详细的地方行业标准，有针对性强化对该行业的环境管理。

3 结 语

集成电路行业是国家战略性新兴产业，是国民经济和社会信息化的重要基础。近年来，在国家一系列政策措施的扶持下，经过各方面共同努力，我国集成电路行业获得了较快发展。集成电路制造企业大都为具有较强实力的大型企业，总体来说环境管理比较规范，污染防治措施也能基本落实到位，若能进一步完善其环评管理，则能更好地为地方生态环境部门管理人员环评审批服务，促进集成电路行业更好地向绿色、节能的方向发展。