卢俊男：匠心专注二十年，成为半导体芯片蚀刻领域佼佼者

史向前

他拥有在台湾顶级芯片制造企业、台湾第一家可以量产12英寸晶圆存储器制造商茂德科技工作及担任主管的丰富经验；同时拥有在中国内地规模最大、技术最先进的集成电路芯片制造企业——中芯国际工作的独特经历。20余年来，他始终坚守在半导体芯片蚀刻技术领域的第一线，跟全球半导体芯片蚀刻领域同行和上下游供应商、客户勠力同心，一起推动行业前沿产品的研发和量产制造，形成了前瞻性、国际化的视野，有许多对集成电路领域尤其是半导体芯片蚀刻方面持续创新的理念以及独特的专业洞察。他，就是中芯国际集成电路制造（北京）有限公司工程部资深经理卢俊男。

结缘蚀刻技术，匠心积淀

1994年，18岁的卢俊男进入台湾中兴大学攻读物理专业本科。1998年本科毕业后，由于兴趣使然，他进入台湾交通大学攻读电子研究专业，之后便与集成电路结下了不解之缘。2000年毕业的时候，台湾地区仅有少数研究团队在此领域展开研究工作。带着对知识的渴望和对世界一流半导体芯片设计、研发技术的向往，2000年研究生毕业后卢俊男进入茂德科技工作。

当时，茂德科技股份有限公司已经是全球知名的动态随机存取记忆体设计、研发、制造及行销公司，在台湾地区属于行业头部企业，其拥有的先进设备、工艺和设计方法，无一不对卢俊男产生巨大的震撼与吸引，因此他不得不抓紧一切时间努力学习并研究相关知识。很快，卢俊男作为核心研发人员参与了茂德科技关于旋涂材料层平坦技术及光阻层制造技术、沟槽蚀刻方法等多项蚀刻专业技术的研发，由于其研究成果所具有的高端创新性和无可比拟的实用价值，卢俊男先后获得了两项发明专利，并得到美国版权局的认可；这些研究成果极大地促进了茂德科技半导体芯片蚀刻技术的发展。

2008年对于卢俊男来说是颇具重要意义的一年，在茂德科技工作8年之后，32岁的卢俊男带着一身的技术和对行业的思考，满载着成果进入内陆工作。先后在重庆渝德科技有限公司和中航（重庆）微电子有限公司担任部门经理。面对全新的工作环境和研究条件，卢俊男心无旁骛，将自己的全部热情和精力投入到工作和科研中。很快他的专业技能得到了业内同行的认可，身边的同事评价他“工作勤奋认真，严于律己，善于奉献”，并且展现出了“非常扎实的基础理论、宽广的专业知识和严谨的工作作风”，获得了公司上下的一致认可与褒奖。

初心不變，方能行远

时间总是会善待勤奋且聪明的人。卢俊男的一言一行无不流露着对行业满腔热忱与勇于突破的雄心。很快，他在大陆半导体蚀刻技术领域取得的成绩越来越显赫，受到了中芯国际集成电路制造有限公司的关注。2014年中芯国际向他伸出了橄榄枝。中芯国际是世界领先的集成电路芯片代工企业之一，也是中国内地规模最大、技术最先进的集成电路芯片制造企业，能够进入中芯国际并担任北京B1蚀刻工程部资深经理，本身就证明卢俊男的专业技能已经居于全球顶级水平。在中芯国际，卢俊男参与了中芯国际0.18微米到28纳米等多项重大技术制程工艺的研发设计和量产制造，为中芯国际的发展做出了许多突出贡献。

在半导体芯片蚀刻技术方面，卢俊男毫无疑问是行业佼佼者。鉴于他深厚的行业背景和超强的个人能力，受邀参加2018年度世界集成电路大会，为行业发展建言献策。

坚持初心，方能行远。卢俊男的确用行动推动着自己所热爱的行业的发展，用卢俊男自己的话说：“我会一直坚守在芯片蚀刻技术的第一线，力求做出更多的贡献。只要能发挥我自己的长处，找准自己的目标，做好自己专业的工作就心满意足了。”卢俊男深情地说。

不难看出，卢俊男的确是一个对半导体芯片蚀刻技术心存赤子之心的人。小小的芯片上承载着他此生最大的热忱。如今刚过不惑之年的卢俊男，正处于职业生涯黄金时期，相信未来在集成电路领域一定会创造更多属于他的精彩。