大面积碘化汞多晶薄膜的气相沉积生长和成像探测器

西安工业大学通过近10年的技术探索和积累，已经掌握了成熟的原料提纯工艺。通过稳定的精细提纯技术，可获得纯度约5N的多晶HgI2粉体；通过在小面积(1 cm2)ITO玻璃上的沉积，生长了厚度100～1 000 μm、电阻率1 010～1 011 Ω·cm的薄膜，获得了成熟可靠的薄膜沉积工艺。通过自行设计和精密加工的大面积沉积设备，采用优化工艺，严格控制薄膜沉积温度变化范围(0.5 ℃～1 ℃)，成功的生长了36 cm2的大面积碘化汞多晶薄膜。在北京某公司制备的成像探测器性能测试中，采用80 keV的射线(工作电流4 mA)，曝光时间5 ms，成功的获得了不锈钢螺母的成像照片，达到了安检和医学成像的基本要求；经过进一步工艺优化和调整，大面积(170 cm2)多晶薄膜的的沉积技术已经趋于完善，样品成功率大于97%，将应用于医学成像检测。