半导体制造技术与工业发展

王中阳

（辽宁 大连 116000）

半导体制造技术是20世纪中叶诞生的基础性技术，经过近70年的积累，半导体制造技术已经成为决定一个国家工业发展水平、整个社会进步潜力的核心技术。从行业发展的角度看，应该高度重视对半导体制造技术的探究。

1 半导体制造技术对工业发展的意义

半导体制造技术的诞生从科技、材料、结构3个方面，改变了工业生产的模式，同时也深深改变了实际发展和运行的模式。半导体制造技术一经推出，就广泛在工业生产中得到深入应用，全球的经济都因半导体制造技术的渗入而产生重大的变革，整个世界发展的格局得到了有效整合和高度统一。半导体制造技术，在工业上深深改变着生产模式、生产技术，在客观上提供了更为广阔的市场，使工业的生产实现了全球化和效率化，进而提高了整个世界发展的潜力，在半导体制造技术的影响下，世界逐步进入后工业发展时代。相信，半导体制造技术，会在工业生产、制造、加工中，得到更为广泛地运用，工业和世界的发展也将会呈现出崭新的格局。

2 半导体制造技术的发展历程

半导体制造技术起源于1948年萧克立、巴定、布莱坦发明的双极晶体管，这标志着半导体制造技术的开端，也是人类电子时代到来的标志。1961年，贝尔实验室发明了硒晶管和锗晶管，这代表着半导体制造技术进入了成熟阶段。由于晶体管具有可集成的特性，在平面加工工艺应用的基础上，半导体实现了量产化。进入到20世纪70年代，砷化镓作为新一代半导体制造的新材料取代了第一代半导体材料，半导体产品在工业、军事、通信方面，实现了大范围应用。特别是砷化镓在频率、噪音、功率、性能上的优势，使半导体制造的产品得到了广泛地认可。半导体制造技术已经成为工业生产的基础性技术。近20年来，氮化镓为代表的半导体得到了世人的瞩目。氮化镓具有处理效率、光电效能、耐腐蚀、高强度等优良特性，特别在军事、卫星、通信、计算等方面，有着种种的优势。相信，随着半导体制造技术应用的进一步深入，半导体制造技术的优势将得到进一步展现，半导体制造技术对工业生产和社会发展的效能也将会大幅度提升。

3 半导体制造技术的主要环节

主要分3大环节，即：半导体制造前段制程、半导体制造后段制程、半导体制造后段工艺。半导体制造前段制程，主要由晶圆处理、晶圆针测制作、光刻加工、蚀刻几项构成。半导体制造后段制程主要有：半导体封装测试、半导体测试。半导体制造后段工艺包括：晶片切除、粘晶、焊线、封胶。

4 半导体制造技术的发展方向

半导体产品应用于工业领域，是半导体制造技术的根本方向，同时也是制造技术进入到自动化的根本基础。当前，重点半导体制造企业，将大量的资金投入到半导体制造技术的研发与市场应用这两个方面，希望从新材料、新技术、新结构3个方向去突破，开发出结构更合理、功能更强大的半导体产品。在半导体制造技术中，提高速度、降低能耗、追求集成化成为当前的趋势。目前，塑料半导体管材开发、新型合金材料应用、氧化处理等方式逐步成为半导体制造技术的发展方向，同时也成为半导体制造技术应用工业生产、促进工业进步的重点技术。相信经过一段时间的积累和努力，半导体制造技术可以得到进一步深入发展，后工业时代的生产，在半导体制造技术的支撑下，速度会变得越来越迅速，质量和水平也会越来越高。

5 结语

综上所述，半导体制造技术是一个国家科研、生产能力的集中代表，是未来社会与建设自动化和智能化的基础型技术。应该对半导体制造技术的发展予以高度重视，要立足于半导体制造技术的发展历程，把握当前半导体制造技术的核心和关键，在重点技术环节取得关键性突破，这样，才能将半导体制造技术更好地推向新的水平，进而适应科学、制造、生产的趋势需要。

［1］ 王遵彤，乔非，吴启迪.半导体硅片加工过程复合控制策略研究及仿真［J］.系统仿真学报，2005，（08）：96.

［2］ 聂斌，齐二石.面向半导体制造业的统计过程分析与控制［J］.工业工程，2004，（06）：67.

［3］ 卫军胡，管晓宏，孙国基，等.半导体制造系统优化调度模型的分解和简化方法［J］.西安交通大学学报，2000，（08）：78.

［4］ 张惠泉，赵建忠，严晓浪.我国半导体产业现状及对新一轮发展的思考［J］.中国集成电路，2005，（05）：72.

［5］ 倪兆明.2004年全球半导体制造和设备市场回顾和展望［J］.电子工业专用设备，2005，（03）：38.