往镀液中添加补充液补充硼酸,该补充液用纯水溶解硼酸。硼酸在室温下纯水中的溶解度与在操作温度下镀液中的溶解度相差不大。补充液可用来补充全部或部分蒸发的水分。镀液中硼酸的补充可使用自动化装置实现。
提供了一种能提高镀层深镀能力的铜-锌合金镀液和电镀方法。同时提供了一种添加剂,该添加剂至少含有下列化合物中的一种:(1)R2—O—(R1—O)n—R2,R1代表较低碳原子的烯烃基功能团,R2代表H或烷烃基功能团,其平均相对分子质量为103~105;(2)Na—SO3—(CH2)3—S—S(CH2)3—SO3—Na。这些添加剂可单独使用,也可联合使用。
基体加工方法包括:(1)在铜接线上化学镀Co-W-B形成 W薄膜;(2)在副产物沉积在化学镀Co-W-B薄膜上之前,使用清洗液清洗基体或薄膜。