纳米晶ＬａＦｅＯ３薄膜的制备与不同气氛处理后的光电子能谱

索　辉　赵　毅　胡广达　阮圣平　吴志发　徐宝琨

摘要：利用sol-gel工艺，在硅衬底上制备了纳米晶LaFeO₃薄膜．测试了在乙醇蒸气和NO₂气氛下处理后的光电子能谱(XPS)，结果表明，纳米晶LaFeO₃薄膜吸附乙醇后，表面吸附氧含量明显降低，铁含量略有下降；吸附氧化性气体NO₃后，表面吸附氧和铁含量明显增高，且存在三价铁离子向四价铁离子转化的趋势．通过测试和分析表明，LaFeO₃的敏感机理不仅与表面吸附氧相关，还与表面三价铁离子的变价有关．

关键词：薄膜；纳米晶材料；光电子能谱

中图分类号：O484．5

文献标识码：A

文章编号：1671-5489(2006)03-0465-04