传感器与微系统
研究与探讨
- 石墨烯/Fe3O4/壳聚糖修饰电极对镉离子的检测研究*
- 小幅值气动摩擦力测量与干扰补偿研究*
- 抑制交叉轴干扰的纳米光栅加速度计*
- 纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法*
- 跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究*
- 基于细芯光纤与双球结构的温度湿度传感器*
- 基于纺织品的柔性NH3气体传感器研究
- 3D电极的介电泳力与惯性力的粒子连续分选仿真*
- 天线波瓣宽度对巷道中电磁波传播特性的影响*
- 基于AlN的压电MEMS超声换能器阵列*
- D-S证据下的高铁信号系统异构数据融合*
- MEMS器件用Cavity-SOI制备中的晶圆键合工艺研究
- 基于虚拟阻抗和模糊PID的微电网下垂控制策略*
- SOI压力芯片敏感电阻条刻蚀研究