ELID超精密镜面磨削设备

在线电解砂轮修整(Electrolytic In-process Dressing,ELID)磨削技术是适应现代化高技术发展需要而发展起来的一种机械加工新工艺，其集成了现代机械、液压、光学、电子、计算机、计量及材料等先进技术成就，被国际上公认为是最有前途的超精密镜面磨削方法。

西安工业大学在对氧化膜产生机理和电解参数对氧化膜生成影响规律的研究积累基础上，提出利用现代测试和计算机控制技术，对磨削过程中的氧化膜厚度进行在线测量，并通过计算机比较分析后对电解参数进行在线控制，使得氧化膜在磨削过程中保持恒定，研制出了ELID超精密镜面磨削设备，该设备成功实现了镜面磨削，提高了磨削过程的稳定性，具有磨削效率高、工艺过程简单等优点，从而大大缩短达到纳米表面的加工时间，提高了纳米表面生成效率，突破了该项技术在生产实践中的效率瓶颈，填补了国内空白，对提高我国的超精密加工技术起到重要的作用。

该设备具有良好的性价比，可广泛应用于光学玻璃、工程陶瓷、半导体材料、单晶材料及硬质合金等先进材料的精密与超精密加工，促进这些材料在高技术领域的应用，其在工程实际中的应用极大地改善了相关产品性能与可靠性。由西安工业大学开发的ELID超精密镜面磨削设备，形成批量生产后预计售价为40万元人民币左右，而在实现同等功能的情况下，国外公司的产品价格却非常昂贵，基本售价在9～18万美元之间。如日本THE NEXSYS CORPORATION生产的UVG-380超精密磨削设备售价为18万美元。该型设备的研制成功必将促进我国军工行业加工技术水平的进步，对提高我国高技术产品的制造能力，降低制造成本，提高产品在国际市场的竞争力都具有极其重要的意义。

(张立新)