被动调Q锁模运转Tm∶LuScO3陶瓷激光器特性

张明霞， 袁 振， 杜晓娟， 王 翀， 王文婷， 薛婧雯， 令维军， 董 忠

(天水师范学院 激光技术研究所, 甘肃 天水 741000)

1 引 言

全固态激光器以其体积小、效率高、性能稳定等特点历来是激光技术研究的热点方向之一。在固体激光技术及其相关领域的发展中，增益介质的开发是研究的基础和先导，决定着能否产生高性能的激光振荡。近年来，随着制备工艺的进步，激光陶瓷是继单晶、玻璃之后又一值得瞩目的激光增益介质，由于兼具了晶体和玻璃材料的优点，使得激光陶瓷为固体激光器的发展提供了一个多样性的选择。Ikesue在NaturePhotonics上发表了关于陶瓷激光器的综述性文章，总结了陶瓷激光器的发展现状和未来趋势，同时预言陶瓷将成为未来固体激光器发展的新范式[1]。对应人眼安全区域和大气窗口的2 μm波段激光，在大气传输[2]、激光雷达[3]、激光医疗[4]等领域有着重要的应用潜力，所以2 μm波段的陶瓷固体激光器必将受到人们更大的关注。

目前，2 μm波段全固态激光器中最普遍的激光增益介质为单晶，该介质的激光器适用于各种连续和脉冲激光器件。人们已在许多类基质中成功实现了激光被动锁模运转，钨酸盐基质如KLuW[5-6]、NaYW[7]和KYW[8-9]，氧化物基质如Lu2O3[10-12]、Sc2O3[13]，石榴石基质如YAG[14-15]、YAP[16]、CaYAlO4[17]、CaGdAlO4[18]、LuAG[19]，氟化物基质如GdLiF4[20]、LiLuF4[21]。玻璃也是一种重要的激光介质，玻璃基质如CLNGG[22]、Glass[23]，其制作工艺简单，可以实现大尺寸及稀土元素高浓度掺杂，热致双折射效应低；但是，玻璃的缺点主要是热导率和硬度不够高、荧光线宽较宽及激光振荡阈值较高。激光陶瓷具有与激光晶体大致类似的光谱和激光特性，同时具有可以获得大尺寸、高质量的潜在优势。除此之外，由于陶瓷的特殊晶界结构，又使得激光陶瓷具有与激光晶体不同的性能。激光透明陶瓷制备周期短，生产成本低，能够大规模生产，可掺杂浓度高，其热导率介于晶体和玻璃之间，优于玻璃，劣于晶体。

在各种材料中，石榴石型的晶体和稀土倍半氧化物是制备激光透明陶瓷的主要选择，目前2 μm波段的关于激光透明陶瓷材料的报道非常少，研究最广泛并且最具有代表性的激光陶瓷材料就是YAG和Lu2O3。石榴石型的YAG陶瓷分为Tm∶YAG和Tm,Ho∶YAG，其中在Tm∶YAG陶瓷全固态激光器中，得到了输出7.3 W、中心波长2 015 nm的连续光运转[24]。利用SESAM、石墨烯分别得到最短3 ps[25]和2.8 ps[26]的锁模脉冲输出，对应中心波长分别为2 012 nm和2 016 nm。在Tm,Ho∶YAG陶瓷全固态激光器中，得到输出1.2 W、中心波长2 090 nm和2 096 nm的双波长连续光运转[27]。利用稀土倍半氧化物Tm∶Lu2O3陶瓷作为激光增益介质，得到输出34 W、中心波长2 068 nm的连续光运转[28]，利用SESAM获得最短180 fs[29]的锁模脉冲输出，对应中心波长为2 076 nm。近期，Xu等首次成功制备了Tm∶LuScO3混合三氧化物陶瓷，并利用直腔成功实现连续和调Q激光输出，对应的中心波长分别为1 980 nm和1 976 nm，并详细描述了该陶瓷的特性[30]。该工作丰富了激光透明陶瓷材料在2 μm波段的种类，并且在掺Tm3+或Tm3+、Ho3+共掺陶瓷全固态激光器中其中心波长首次小于2 μm，恰好位于水分子强吸收带1 800～2 000 nm区域，因而必将会有更大的应用潜力，引起了研究人员的关注。

利用自行搭建的可调谐掺钛蓝宝石固体激光器作为掺Tm3+或Tm3+、Ho3+共掺激光增益介质的抽运源，其光束质量好，波长从740～844 nm可调，基本包涵掺Tm3+或Tm3+、Ho3+激光增益介质的其中一个或几个吸收峰，从而利用一台泵浦源即可方便地研究不同掺Tm3+或Tm3+、Ho3+共掺的激光增益介质。利用该泵浦源，我们对Tm∶LuScO3陶瓷超快输出特性进行了系统研究，在X型折叠腔中成功实现了Tm∶LuScO3陶瓷最高输出功率257 mW、斜效率14.06%的连续光输出，中心波长为1 992 nm，并利用低损耗的商业化SESAM，成功实现稳定的调Q锁模运转。在Xu等工作的基础上，我们进一步研究了该Tm∶LuScO3陶瓷的吸收特性，提出后期优化该激光陶瓷的方案，实现了更低阈值、更高斜效率的连续光运转，同时实验上探究了利用不同SESAM获得的调Q锁模运转特性，对今后该晶体的改进、实现连续锁模运转及应用提供了更加细致的参考和指导。

2 实验装置

Tm∶LuScO3陶瓷激光器连续和调Q锁模运转实验装置如图1所示，泵浦源是我们自行设计搭建的可调谐掺钛蓝宝石激光器，通过双折射滤光片M7可将泵浦光中心波长从740 nm逐步调到844 nm，从而找出Tm∶LuScO3陶瓷在该范围的最高吸收波长。图2为2 W泵浦光功率下Tm∶LuScO3陶瓷吸收功率随泵浦光中心波长的变化曲线，得出晶体在中心波长795.7 nm处吸收功率最高。故本实验选用中心波长795.7 nm、光谱宽度0.6 nm、最高功率3.5 W的泵浦光作为Tm∶LuScO3陶瓷的抽运源。

图1 Tm∶LuScO3陶瓷连续和调Q锁模激光实验装置

Tm∶LuScO3陶瓷谐振腔采用典型的X型五镜折叠腔，聚焦透镜L2焦距为120 mm，折叠镜M11、M12和M14凹面曲率半径均为100 mm，对770～1 050 nm波段激光透过率>95%，对1 800～2 075 nm波段激光反射率>99.9%。M15为对1 800～2 075 nm波长激光的反射率>99.9%的高反平面镜，输出耦合镜M13有0.9%、1.5%、3%和5%四种透过率。

图2 Tm∶LuScO3陶瓷对泵浦光不同波长的吸收功率图

Tm∶LuScO3陶瓷采用布氏角切割，两端面均被抛光，晶体尺寸为3 mm×3 mm×5 mm，Tm3+的掺杂浓度为2%。由于Tm∶LuScO3陶瓷存在量子缺陷引起的较低热导率，通过水冷可以有效地解决该增益介质的热效应。将Tm∶LuScO3陶瓷用铟箔包裹，夹在紫铜加工的冷却块内，用13 ℃的恒温循环水进行冷却。为了保证低温下晶体表面不会出现冷凝水珠，我们将实验室湿度保持在30%左右。由于该波段更接近于水分子强吸收波段，所以水蒸气会对锁模产生较大的影响，从而加大了锁模的难度，降低湿度更有益于实现该陶瓷的锁模运转。

启动锁模所用的可饱和吸收体为德国BATOP公司商业生产的反射式和透射式可饱和吸收体，分别用数字①、②和③表示，详细参数见表1。利用激光传输ABCD矩阵模拟振荡光斑，可以计算出晶体中最小光腰半径为33 μm，可饱和吸收体位置处光腰半径约为80 μm。

表1 可饱和吸收体详细参数

3 连续光实验分析

Tm∶LuScO3陶瓷在795.7 nm抽运源处激光不同运转模式下，对应的晶体吸收效率曲线如图3(a)所示，当激光处于非运转状态时，激光晶体的吸收效率为59.66%，相对于Xu课题组的790 nm抽运源52%的吸收效率，增加了约7%，说明中心波长795.7 nm相对于790 nm更适合作为Tm∶LuScO3陶瓷的抽运源。当激光处于连续和调Q锁模运转状态时，晶体的吸收效率进一步提高到63.17%，详细数据见表2。导致吸收效率提高的原因是激光运转消耗Tm∶LuScO3陶瓷内部的上能级离子数，使得晶体的吸收效率上升了3.51%。连续和调Q锁模运转或是选用不同的输出耦合镜基本不影响激光晶体的吸收效率。

图3 (a)激光不同运转状态下的晶体吸收效率;(b)CW和QML输出功率随吸收泵浦功率的变化关系。

图3(b)为激光在连续光运转下分别选用透过率为0.9%、1.5%、3%和5%的输出镜的输出功率随各自运转状态下的晶体吸收泵浦功率变化关系，选用透过率为3%的输出镜时输出最高功率257 mW的连续光，出光阈值功率为474 mW，斜效率为14.06%。选用透过率为1.5%和0.9%输出镜时，最高输出功率分别为137 mW和105 mW，出光阈值功率分别为436 mW和430 mW，斜效率分别为7.7%和6.02%。选用透过率为5%输出镜时，最高输出功率为159 mW，斜效率分别为9.14%，详细参数见表2。

比较我们报道过的Tm,Ho∶LLF[31]晶体，在输出镜透过率为1.5%的同样腔型下，该晶体在非激光运转下对泵浦光的吸收效率为35.85%，激光运转下的吸收效率约为77%，获得最高985 mW的连续输出功率，出光阈值143 mW，斜效率为39.8%，远远大于Tm∶LuScO3陶瓷在相同泵浦光功率下的输出功率，且出光阈值更低。

我们分析高功率低阈值的激光输出主要归功于Tm,Ho∶LLF晶体的高发射截面、高掺杂浓度和合理的晶体长度等因素，下一步我们将采用高掺杂和不同的晶体长度Tm∶LuScO3陶瓷进一步实验，以期得到更好的输出指标。

4 调Q锁模实验分析

如图1的激光实验装置，我们试验了不同的反射式和透射式可饱和吸收体，最终在3种可饱和吸收体中成功实现稳定的调Q锁模运转，3种SESAM详细参数见表1。连续光运转下，通过计算得出透过率为0.9%、1.5%、3%和5%输出镜对应的最高腔内功率分别为11.67，9.13，8.57，3.18 W。选用透过率为0.9%、1.5%和3%输出镜进行锁模实验。

图4(a)、(b)、(c)分别为①、②和③号可饱和吸收体分别在0.9%、1.5%和3%输出镜下的输出功率随晶体的吸收功率变化曲线，图中QML节点之前激光基本处于杂乱的调Q锁模状态，节点之后处于稳定有序的调Q锁模状态。利用公式：

(1)

其中，Φ为可饱和吸收体上的能流通量，P为QML节点处的腔内功率，F为锁模脉冲的重复频率，R为可饱和吸收体处的光腰半径，可估算出启动调Q锁模所需的能流通量，即QML节点处的能流通量。实验中①、②、③号可饱和吸收体在QML节点处的腔内功率约为5，3.8，4 W，锁模重复频率为121.9 MHz，可饱和吸收体处的光腰半径约为80 μm。计算出①、②、③号可饱和吸收体在QML节点的能流通量分别为204，155，163 μJ/cm2。①号可饱和吸收体在3%输出镜下获得最高10.04%的斜效率，最高功率167 mW的调Q锁模激光运转。稳定锁模的阈值功率均不相同，且0.9%输出镜下更易实现调Q锁模运转，原因是0.9%的输出镜下腔内的功率密度最高。更加详细参数见表2。

图4(d)为连续和调Q锁模运转下通过光谱分析仪(AvaSpec-NIR256-2.5TEC)测量获得的光谱，连续光的中心波长为1 993 nm，光谱的半高宽为5 nm。①号可饱和吸收体调Q锁模脉冲的中心波长为1 987 nm，光谱的半高宽为12 nm，相对于连续光光谱，光谱漂移6 nm；②号可饱和吸收体调Q锁模脉冲的中心波长为1 993 nm，光谱的半高宽为10 nm；③号可饱和吸收体调Q锁模脉冲的中心波长为1 987 nm，光谱的半高宽为10 nm，相对于连续光光谱，光谱漂移6 nm。可以看出，调Q锁模运转使得激光光谱被展宽，①号和③号可饱和吸收体光谱中心波长相对于连续光有6 nm的波长漂移。

图4 (a)～(c)①、②和③号SESAM调Q锁模输出功率随泵浦吸收功率的变化关系；(d)连续运转输出光谱和①、②和③号SESAM锁模光谱。

图5 扫描时间为100 μs和10 ns的①、②、③号可饱和吸收体锁模脉冲序列。

表2为激光在不同运转状态下相关的具体参数，No laser为激光非运转状态，CW为连续运转激光状态，①、②、③表示激光在通过①、②、③号可饱和吸收体输出的调Q锁模运转状态。对比表中数据可以看出，无激光输出时激光晶体吸收效率最低，运转状态下激光输出效率基本相同，连续光运转下选用透过率为3%的输出镜获得最高的斜效率和输出功率。调Q锁模运转下①号可饱和吸收体更适合作为Tm∶LuScO3陶瓷的锁模原件，原因是①号可饱和吸收体具有最宽的平滑光谱，且具有最小的锁模启动饱和能流通量，因此更易于启动锁模获得高功率运转。通过快速光电二极管(ET-5000)连接500 MHz的数字示波器(RIGOL，DS4054)来进行连续锁模脉冲序列的探测。图5为3种SESAM在扫描时间为100 μs/div和10 ns所获得的调包络和锁模脉冲序列，锁模脉冲的重复频率均为121.9 MHz。测得①号可饱和吸收体的最窄锁模脉冲上升沿为1 ns，对应的调Q包络脉冲宽度为50 μs，重复频率为45.45 KHz；②号可饱和吸收体的最窄锁模脉冲上升沿为1.9 ns，对应的调Q包络脉冲宽度为100 μs，重复频率为125 KHz；③号可饱和吸收体的最窄锁模脉冲上升沿为2.8 ns，对应的调Q包络脉冲宽度为150 μs，重复频率为83.3 kHz。通过锁模重复频率理论公式：

f=C/2L，

(2)

其中C为光速，L为振荡腔的长度，可以得出在误差允许范围内，实验中所用的腔长1.22 m满足该公式。

在实验中，脉冲宽度的测量采用商业自相关仪(APE,pulse check 50)来完成，该自相关仪能测量的最大脉冲宽度为12 ps，但由于实际的脉冲宽度大于其最大脉冲宽度12 ps，且脉冲包含调Q成分，所以无法用自相关仪测量锁模脉冲宽度。利用公式：

(3)

其中tm为被测锁模脉冲上升沿时间，tr为实际锁模脉冲上升沿时间，tp为光电探测器上升沿时间，t0为示波器上升沿时间，可估算锁模脉冲的宽度[32]。实验中①、②、③号可饱和吸收体被测锁模脉冲上升沿时间约1，1.36，2.76 ns，光电探测器上升沿时间为35 ps，利用公式：

t0×WB=0.35～0.4，

(4)

其中WB为示波器带宽，实验中示波器的带宽为500 MHz，可估算实验中t0在700～800 ps之间，因此可计算①、②、③号SESAM实际锁模脉冲上升沿时间分别为599～713，1 099～1 165，2 641～2 670 ps之间，由于脉冲宽度约等于上升沿时间的1.25倍，故①、②、③号可饱和吸收体实际锁模脉冲宽度在749～891，1 374～1 456，3 301～3 338 ps之间。通过提高泵浦功率，有望实现连续锁模脉冲。

5 结 论

本文选用固态反应烧结方法制作的Tm∶LuScO3混合三氧化物陶瓷，首先利用可调谐的掺钛蓝宝石激光器作为泵浦源，测得Tm∶LuScO3陶瓷740～844 nm范围内的最大吸收中心波长为795.7 nm。接着搭建典型的X型谐振腔，分别通过0.9%、1.5%、3%和5%的输出镜实现了连续光运转，中心波长为1 993 nm，在3%输出镜下，获得最高输出功率为257 mW，斜效率为14.06%。利用透过率为0.9%、1.5%、3%的输出镜，结合三种不同的可饱和吸收体分别成功实现了稳定的调Q锁模运转，获得最窄锁模脉冲宽度在749～891 ps之间，重复频率121.9 MHz，对应的调Q包络脉冲宽度为50 μs，重复频率45.45 kHz，中心波长为1 987 nm，对应最大单脉冲能量为1.37 nJ。

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