一种陶瓷电容式压力传感器压力检测系统及其测试方法

申请号: 202110147503.1

【公开号】CN112857627A

【公开日】2021.05.28

【分类号】G01L1/14; G01L9/12

【申请日】2021.02.03

【申请人】江苏大学

【发明人】刘桂武;陆浩杰;邵海成;乔冠军;王立朋;张相召

【摘 要】本发明公开了一种陶瓷电容式压力传感器压力检测系统及其测试方法。检测系统包括高压气泵、可调压容舱、膜片夹具及后端电路检测系统。该系统的可调压容舱设有一组进气通道、4组测试通道及气压显示端口，进气通道与测试通道均设有阀门装置；膜片夹具设有放置陶瓷膜片及调理电路板的凹腔，凹腔内设置O形密封圈，密封夹具一端设置带导线通孔的尼龙封盖，另一端设有螺纹连接头；后端电路检测系统包括信号采集装置及软件控制窗口。本发明具有快速封装、操作简便、多线程测量、可横向比对标定的优点，可用于电容式压力传感器的快速封装及测试。