林德启用全新制氮机，为积塔半导体供气
2020-02-20 03:37:21Grace
上海化工 2020年3期
林德集团最近宣布，其为积塔半导体建造的一台制氮机在上海开机成功，林德与积塔半导体签订了一份为期20年的超高纯工业用气供应合约，目前开机运行的为计划建造的两台高纯制氮机中的第一台，第二台预计将于2022年上线启用。
该台制氮机位于上海临港产业区，将为积塔半导体造价高达51亿美元的晶圆制造厂供应各种超高纯度气体（如氮气、氧气、氩气、二氧化碳）以及压缩干空气（CDA）。
（Grace）
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