本期文章点评

■石岩-微半球谐振陀螺技术研究进展

针对微半球谐振陀螺谐振结构加工成形的难题，国内外发展出各向同性刻蚀与沉积、玻璃热膨胀加工和高温喷灯吹制三种较为成熟的加工工艺。本文分析了三种工艺技术的特点，并对其未来发展趋势进行了阐述，对微半球谐振陀螺技术研究者有很高的参考价值。

■苏中-金属壳谐振子研究进展

金属壳谐振陀螺具有结构简单、功耗低、抗冲击性强、量程大等优点，可广泛应用于中低精度角速度测量领域。作者从金属壳谐振子结构设计、理论建模、信号处理、耦合抑制等方面进行了讨论，针对性给出了微小型薄壳金属谐振子构型、谐振特性、耦合抑制的发展建议，可为微小型金属薄壳谐振陀螺研制者提供有益参考。

■席翔-圆柱壳体振动陀螺技术现状与发展趋势

本文作者介绍了圆柱壳体振动陀螺研究现状，并详细介绍了材料特性、加工变形、精密机械平衡、测控技术等对圆柱壳体振动陀螺性能的影响，并对其未来发展趋势进行了讨论。具有一定的参考价值。

■于家福-MEMS偏航角速度传感器在旋转导弹稳定回路中的应用

文中提出了一种新的MEMS偏航角速度传感器技术方案，实现了对常规液浮陀螺或无驱动陀螺的替代，解决了偏航角速度传感器正交耦合、力学环境适应性、波形畸变等问题，实现了旋转导弹偏航角速度信号的精确测量，具有较强的工程价值。

■谷留涛-微半球陀螺测控电路国内外现状与关键技术

为了弥补制造缺陷以及适应环境变化，微半球陀螺测控电路需要完成正交补偿、模态匹配和温度补偿等工作。本文作者从Sigma-Delta电路、模态匹配、正交补偿、温度补偿等角度进行了详细讨论，对微半球陀螺电路设计有一定的技术参考价值。

■于翔宇-全角模式半球谐振陀螺振型控制与角度检测

本文对全角模式半球谐振陀螺进行了研究，介绍了全角模式半球谐振陀螺控制和信号处理方法与全角模式的实现。通过数字仿真与实物实验结果可知，本文所介绍的全角模式半球谐振陀螺系统能够实现不依赖积分运算的角度检测功能，且动态范围有了一定的提高，为全角模式半球谐振陀螺提供一种控制和信号处理方法，适合于工程实际应用。

■黎超-用于定位导航授时微终端的SoC系统设计

定位导航授时微终端（MPNTT）对处理器提出了高处理能力要求的同时，也要求其集成化、高精度、可扩展。本文介绍了一种用于定位导航授时微终端的SoC系统设计，芯片单片实现ARM与FPGA的功能，为定位导航授时微终端系统微型化，进一步降低功耗与集成面积，提供了有效解决途径。

■冯文帅-基于波长控制的光纤陀螺标度因数温度性能提高方法

光纤陀螺的标度因数温度性能与其光路、光源的多个参数相关，本文作者提出一种采用铂电阻和桥路的简便补偿办法，实现了对全温标度因数误差的有效补偿。经试验，全温标度因数误差改善了近一个数量级，对于中低精度光学陀螺的批产具有重要的工程价值。

■庄须叶-微型化半球陀螺制备工艺发展现状及趋势分析

半球陀螺的微型化是微机电陀螺领域的研究热点，作者对半球陀螺的微型化历程进行了综述介绍，着重对微型化半球陀螺谐振器的结构形态、工艺制备方法和材料选择进了对比和分析，并对各微型化途径的特点进行了讨论和展望，具有较强的参考价值。

■苏兆喜-基于玻璃-硅复合基板的微系统圆片级三维封装

系统级的三维封装已经成为电子产品高度集成化、微型化、多功能化形势下的必然趋势。本文作者针对性提出基于玻璃回流方案实现惯性器件的三维封装，并制作了埋入式惯性器件电极以及三维圆片级封装原型，实验结果表明具有气密性，并适合光电混合封装，是一种容易实现并且有应用前景的微系统三维封装方法。

■徐志强-石英半球谐振子精密加工技术探讨

石英半球谐振子作为半球谐振陀螺的核心零件，壁薄、形状复杂、加工精度高、制造难度大，是制约半球谐振陀螺研制的关键之一。本文分析了半球谐振陀螺的结构类型和特点，分析了石英半球谐振子粗磨成型、精密磨削、研磨抛光、化学腐蚀、质量调平、表面镀膜等加工方法及研究进展，并提出了今后研究方向。

■马志奎-石英半球谐振子精密成型技术

石英半球谐振子的制造属于硬脆薄壁球壳状异形三维结构微应力精密超精密制造，难度较大。本文以范成球面弹性展成为基础，以均衡磨削原则、磨头最大包络原则和三阶段37道工序的精细优化工艺流程，较好地解决了高精度微应力硬脆石英振子异形薄壁件的成型问题，具有重要的工程参考价值。

■刘宁-极端瞬态力作用下金属壳谐振陀螺结构强度分析

金属壳谐振陀螺极端瞬态力作用下的结构强度分析是研究其抗过载能力的关键，本文作者利用有限元仿真方法，研究了极端瞬态力作用下金属壳谐振陀螺的应力分布，给出了金属壳谐振陀螺抗过载能力与结构参数之间的关系，有助于实现金属壳谐振陀螺抗过载结构设计。

■庄须叶-硅半球深腔结构无损检测技术

半球深腔的加工质量是决定硅基MEMS半球陀螺精度的关键因素之一，但却没有对半球深腔形貌特征进行测量的有效办法。本文作者提出一种将硅半球形深腔的结构尺寸和表面形貌转移到PDMS半球模型上的无损检测手段，实现了测量不准确度优于5‰，具有重要的工程参考价值。

■艾力·库尔班-GPS/BDS组合定位精度分析

本文从卫星可见性、精度因子、定位精度和均方根误差等方面对GPS、BDS及两者组合定位系统的定位性能、精度进行了详细比较。测试结果表明采用GPS/BDS组合定位较单一GPS和BDS系统定位方法能有效提高定位精度，对开展GNSS高精度导航定位研究具有参考价值。

■路小燕-改进的Sage-Husa自适应滤波算法在MEMS航姿参考系统中的应用

针对经典Kalman滤波和扩展Kalman滤波融合算法存在的计算量大、精度低、实时性差的缺点，文章引入了改进的Sage-Husa自适应扩展Kalman滤波算法，对滤波器发散进行有效的抑制、减少了算法计算量。实验结果证明了该算法的可靠性、精确性以及自适应能力。