高能激光薄膜损伤检测及其制备关键技术

为了满足特定的光学性能，光学元件表面均需要涂覆薄膜。随着大功率、高能量激光系统的发展，传统光学薄膜的抗激光能力受到了挑战：一是薄膜在强激光作用下是否损伤的评判以及抗损伤能力的测试问题，二是高损伤阈值薄膜的制备问题，目前国内尚没有有效的检测手段和测试设备。

西安工业大学研究了激光薄膜损伤阈值的测试标准及规范，发展和丰富了散射法、等离子体闪光法等常规的薄膜损伤判别方法，发明了声学法、等离子体光谱峰值位方法、图像法等判别薄膜损伤新方法，消除了误判现象，实现了对一种薄膜用多种方法进行互检的组合判别。研制出国内第一台商品化的智能型激光损伤阈值测试仪，实现了各种探测器的科学分布，系统结构优化；解决了激光薄膜制造的瓶颈问题。 将正交实验和场强设计的数学方法引入到薄膜的制备过程中，准确确定了影响薄膜激光损伤的工艺因素和水平。该测试仪器经西安同维通讯技术有限责任公司、北方光电科技集团有限公司和西安北方光电科技防务有限公司等多家单位使用，一致认为该仪器“测试方法先进、阈值测试精度高、仪器运行稳定可靠以及重复性好”，已经为企业创造了可观的经济效益。