一种可拉伸半导体电阻式柔性气体传感器及其制备方法

申请号: 201710007556.7

【公开号】 CN106814110A

【公开日】 2017.06.09

【分类号】 G01N27/12

【申请日】 2017.01.05

【申请人】 华中科技大学

【发明人】 刘欢;臧剑锋;宋志龙;黄钊

【摘 要】 本发明公开了一种具有微褶皱薄膜结构的可拉伸半导体电阻式柔性气体传感器及其制备方法。采用具有可拉伸特性的绝缘衬底 聚丙烯酸酯双面泡绵胶带(VeryHighBond，VHB)，将其单向预拉伸一定的程度固定在刚性基底上；并在预拉伸状态的VHB衬底上进行图案化的石墨烯电极和胶体量子点薄膜的制备，继而缓慢回缩VHB衬底后，完成传感器制备。制备的气体传感器具有微褶皱薄膜结构的气敏层和图案化的石墨烯电极，传感器具有可拉伸的柔性特征，制作温度和工作温度可低至室温，室温下可检测气体浓度的瞬间或微量变化，响应恢复速度快且灵敏度高，同时该气体传感器具有一定的抗环境湿度干扰特性，具有更好的长期稳定性。