中微MOCVD设备获众多客户认可，全面进入主流LED大生产线

中微MOCVD设备获众多客户认可，全面进入主流LED大生产线

中微半导体设备（上海）有限公司（以下简称“中微”）自主研发制造的MOCVD设备Prismo D-Blue®，是在国内几十家设备公司和研究所为开发MOCVD设备所做的多年努力中，唯一一个成功进入多个生产线，实现大规模量产，能和国际一流设备正面竞争的设备。

在政府和产业界多年的努力推动下，我国已成为国际LED产业发展最快，规模最大的地区。但在过去几年，受一些地方政府过度的补贴政策影响，许多LED生产企业大量购置进口的MOCVD设备，加之LED产业自身的大幅波动，导致行业陷入LED产能过剩、MOCVD设备供过于求的困境。中微的MOCVD设备Prismo D-Blue®自2013年正式发布以来，突破重重障碍和困难，经过两年多的不懈努力，中微的MOCVD设备在多个国内先进的LED生产线上表现出了优异的性能，稳定的器件良率和较高的生产效率，证明能连续加工120 到150批次，已达到足以媲美国际市场上同类产品的世界先进水平，在一些设计上和部分指标上甚至优于国际同类产品。中微的MOCVD设备得到了国内外众多LED领先厂商的广泛认可，目前已经全面进入主流LED大生产线，开启了MOCVD国产化大门。

MOCVD的国产化和国产MOCVD被LED生产企业广泛采用，是我国成为第三代半导体器件产业强国的必由之路，中微始终将MOCVD国产化视为己任。中微MOCVD设备从无到有的突破，且一举达到国际前沿技术水平，充分证明了我国的设备制造企业完全有能力完成MOCVD国产化战略中自己应当承担的那部分任务。

截至2016年6月底，中微已运出15台Prismo D-Blue？MOCVD反应腔，进入多家主要的LED或功率器件生产企业，其中的绝大多数已经通过验证测试并进入大生产线及确认销售，并已高质量地加工了40多万片外延片。中微在第一代MOCVD研制和产业化经验的基础上，为顺应市场新的需求而开发的第二代MOCVD设备（大托盘）也已取得初步成果，首台已在7月付运客户。中微强劲的发展势头进一步巩固并加强了中微作为国内MOCVD设备生产商的领先地位，同时也体现了Prismo D-Blue®较强的国际竞争力。

在创新性保护方面，中微MOCVD设备Prismo D-Blue®目前已申请了200多项专利，其中国外专利占比一半以上，对中微多个独特的创新和设计形成了有效的知识产权保护。此外，它还遵循了半导体制造规则并完全符合SEMI标准。