2014年中国大陆13种主要半导体设备进口43.66亿美元

2015-07-18 11:44
电子工业专用设备 2015年2期
关键词:研磨机半导体器件光刻机

·行业快讯·

2014年中国大陆13种主要半导体设备进口43.66亿美元

2014年1~12月中国大陆13种主要半导体设备进口14647台、43.66亿美元。

制造半导体器件或集成电路的化学气相沉积装置、等离子体干法刻蚀机和分步重复光刻机等三种设备共进口1 578台、25.35亿美元,位居进口额的前三位。其中:制造半导体器件或集成电路的化学气相沉积装置进口10.11亿美元,占进口总额的23.2%,位居首位;等离子体干法刻蚀机进口8.45亿美元,占进口总额的19.4%;分步重复光刻机进口6.79亿美元,占进口总额的15.5%。

制造硅单晶和硅片设备中的硅单晶炉、切割机和研磨机等三种设备,2014年共进口1871台、3.43亿美元。其中,切割设备进口1 298台、2.3亿美元,硅单晶炉进口239台、6 303万美元,研磨机进口334台、4 943万美元。

后封装设备中的引线键合机和塑封压机二种设备共进口8 828台、5.56亿美元。其中引线键合机进口8 463台、4.71亿美元。

2014年中国大陆主要半导体设备进口额/亿美元

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