模块化组合式气体纯化器和氩气纯化系统

2015-03-25 19:05
低温与特气 2015年4期
关键词:进气管高纯氩气

申请(专利)号:201520005021.2

公开(公告)日:2015-07-01

申请(专利权)人:南京特种气体厂有限公司

本实用新型公开了一种模块化组合式气体纯化器,包括密封罐体、进气管和出气管,进气管由密封罐体顶部通入密封罐体底部,出气管设于密封罐体顶部;密封罐体内部装有若干个吸气剂模块,每个吸气剂模块包括一容器和充装在所述容器中的吸气剂。本实用新型公开还公开了一种包括上述纯化器的氩气纯化系统,高纯原料氩气源经过第一开关阀连接至纯化器的进气管,配器瓶经过第二开关阀连接至纯化器的出气管,气相色谱仪经过第三开关阀连接至纯化器的出气管。本实用新型设计合理,使用方便,提高了纯化器整体效率,减少再生及更换次数,降低了纯化成本,能够实现高纯氩气的纯化,纯化产品质量稳定。

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