专利名称:一种Ti－Mo－N 多元硬质薄膜
2014-01-30 19:55:22
中国钼业 2014年3期
专利申请号:CN201110307386.7
公开号:CN102409290A
申请日:2011.10.11
公开日:2012.04.11
申请人:宁波市瑞通新材料科技有限公司
一种用于切削工具表面的具有高性能Ti－Mo－N 多元硬质薄膜，其是采用磁控溅射的方法在切削工具表面制备Ti－Mo－N 三元硬质薄膜，主要通过优化多元薄膜的制备工艺参数，从而获得一种具有高性能Ti－Mo－N 三元薄膜的切削工具，与Ti－N 二元薄膜相比，成膜后切削工具试样外观表面平整光滑，致密性好，经测试，薄膜表面的元素的原子百分含量为30.5Ti－28.3Mo－41.2N，薄膜表面的硬度为29 GPa，800 ℃条件下的氧化增重仅为Ti－N 薄膜的一半。
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