《电子工业专用设备》第41卷（2012）目次总汇编

垂直集成——延长摩尔定律的有效途径.....................................................................................童志义，赵 璋1-1

物联网技术应用前景分析.............................................................................................解自国，颜礼松，严仕新1-8

化学机械抛光设备关键技术研究...............................................................................高文泉，丁彭刚，徐存良1-12

着力推进集成电路封测产业链的创新能力.............................................................................................于燮康3-1

全球半导体代工业群雄争霸 中国何去何从...........................................................................................何新宇3-6

2011年中国集成电路产业回顾与2012年发展展望................................................................................李 珂3-8

韩国半导体设备业发展策略研究.............................................................................................................杜 渐3-10

先进封装关键工艺设备面临的机遇和挑战...................................................................王志越，易 辉，高尚通4-1

晶圆划切工艺与优化.....................................................................................................................张 伟，贾月明4-7

太阳能电池印刷线关键技术及发展趋势...................................................................................张世强，邴守东6-1

适应光伏电池生产的数字化车间智能制造系统.......................................................................刘仁杰，周大良7-1

塑封材料研究进展.......................................................................................................................................武 祥9-1

晶片干燥技术综述.........................................................................................................................张伟才，宋 晶9-8

2012年上半年中国集成电路产业市场逆势增长....................................................................................刘 臻10-1

超声技术在半导体行业中应用探讨......................................................................宋伟峰，成 龙，刘永进，等10-4

系统级封装（SiP）技术研究现状与发展趋势............................................................胡 杨，蔡 坚，曹立强，等11-1

健壮设计在专用设备研发中的应用.........................................................................................杨树文，佀海燕11-7

楔焊中使用球焊劈刀的可行性分析.....................................................................夏志伟，刘严庆，纪 伟，等11-12

我国IGBT的产业现状和发展..................................................................................................................武 祥12-1

环氧塑封料现状及发展趋势...................................................................................................................韩江龙12-6

LED蓝宝石图形化衬底的研究进展及发展趋势...............................................张钦亮，金志杰，雍春娥，等12-10

清洗技术与设备

在线等离子清洗设备控制系统设计................................................................................杨 静，苗 岱，刘 畅1-16

等离子清洗在LED封装工艺中的应用..................................................................马 斌，程丕俊，师筱娜，等1-23

相移掩模清洗结晶控制...........................................................................................张海平，尤 春，周家万，等5-41

有机清洗槽共振与噪声控制方法研究.........................................................................万 弋，张继静，刘鸿儒5-43

掩模清洗机加热系统控制及故障排除.......................................................................................陈 卓，严剑荫6-39

125mm低阻硅抛光片清洗技术研究.........................................................................................耿 莉，杨洪星6-46

相移掩模保护膜残留胶清洗方式研究...........................................................................尤 春，严剑荫，陈 卓7-26

射频等离子清洗系统设计.....................................................................................柳国光，苗俊芳，胡文平，等7-29

先进封装技术与设备

塑封IC失效分析及对策.............................................................................................................王立国，邵 刚1-27

划片机工作台仿真分析.............................................................................................................................张 菊1-33

双面电镀在先进封装中应用的可行性研究............................................................................Richard Hollman3-17

ADT7100划片机的使用和维护....................................................................................刁振国，殷履文，臧成东5-7

划片机空气静压电主轴径向轴承的设计.................................................................................李战伟，刘婷婷5-10

飞针测试工艺研究及Z轴结构设计..............................................................................吕磊，谭立杰，赵立华5-14

全自动晶圆划片机软件系统的设计与实现...........................................................刘婷婷，赵志伟，李战伟，等6-4

键合机热台温度研究.....................................................................................................................柴 亮，孙永超6-7

划片机空气静压电主轴材料选用及加工工艺研究...................................................................贾月明，张 伟6-11

ESEC 2008HS装片机Manua Downset的改造设计..................................................................杜椿楣，顾 健6-15

MEMS器件封装技术.......................................................................................................................袁永举王静7-6

激光加工中自动旋转校位切割的研究...................................................................张文斌，孟宪俊，孟凡辉，等7-9

LED探针台CCD采集数据处理算法的研究.........................................................................................刘国敬7-13

装片机漏晶检测器的改造--reflection反射功能....................................................................................杜椿楣7-15

多关节机械手在晶圆减薄机中的应用...................................................................衣忠波，石 伟，王仲康，等7-19

从IC封装产品可靠性谈封装冲切模具优化设计........................................................蔺兴江，代 赋，何文海7-22

硅通孔电镀铜填充工艺优化研究...........................................................................李轶楠，蔡 坚，王德君，等10-6

片式多层陶瓷电容器全自动薄膜丝印机的研制...............................................陈裕锦，梁昇平，陆永鑫，等10-11

太阳能晶硅电池片印刷工艺及工艺物化初步研究.............................................赵立华，易 辉，费玖海，等10-15

一种丝网印刷间距调整系统的设计.......................................................................邓 斌，万喜新，郭 立，等10-21

LTCC层压工艺及设备................................................................................................李晓燕，冯 哲，张建宏10-24

测试测量技术与设备

自动排片机视觉系统的应用研究.............................................................................高 岳，孙广翔，杨 超，等1-37

AOI设备在PCB和SMT主要生产环节中的应用................................................................................孙明睿1-42

晶片定位原理与算法...............................................................................................吕 菲，耿博耘，李春龙，等1-47

应用MATLAB研究机器视觉系统的光源特性.........................................................................靳卫国，周 莉2-40

用万能工具显微镜测量的原则及原理分析...............................................................................李 雪，宋秀敏2-48

基于Profibus实现netLINK网关与PLC的通讯....................................................................宋婉贞，田洪涛2-50

AVR单片机实现以太网通信的研究..........................................................................于海波，付江波，李金涛2-54

应用系统级ATE测试增进IC设计验证效率..........................................................................宋文晶，陈宰曼3-20

美国M icroE圆光栅在数控转台和DDR电机领域的应用及特点.........................................付耀斌，李书恒3-24

300mm立式炉恒温区测量系统的设计与实现...........................................................................王 艾，徐 冬3-27

应对3DIC测试挑战的ATE解决方案Advantest V93000准备就绪....................ScottChesnut，Bob Sm ith10-34

基于QT的视频目标检测方法..................................................................................................蔡广伟，兰 华11-59

电子专用设备研制

片式多层陶瓷电容器生产用薄膜流延设备的研究与开发.......................................陈裕锦，汤立云，梁昇平1-50

薄膜电容自动喷金机的研制...................................................................................................................钱立文2-19

电容分选机调速系统设计...............................................................................................黄 永朱江涛张素枝2-24

基于音圈电机伺服控制的应用研究...........................................................................................石艺楠，郝 靖2-27

FOG邦定生产线中脉冲本压机的研制............................................................................郭 丽,田 辉，李 想2-33

直线电机在芯片分选机中的应用...............................................................................................郝 靖，石艺楠2-37

超高压汞灯功率控制研究.........................................................................................................刘卫平，葛劢冲4-40

故障树分析法在PTC水压层压机故障诊断中的应用..........................................................................张文朋4-43

大尺寸玻璃刻蚀设备控制系统设计...............................................................................苗 岱，杜虎明，张 峰4-46

平衡悬架上反作用杆夹角设计初探...........................................................................................刘 辉，杜婷婷4-51

中小尺寸ACF邦定机的技术分析.........................................................................................................王志诚6-49

玻璃结构电容式触摸屏邦定工艺及设备...............................................................................................马增刚6-52

真空预处理设备的研制...........................................................................................................................刘军涛7-44

OA安全机制在企业信息安全中的应用................................................................................................唐维燕7-49

高速自动电镀线的电气设计.....................................................................................时 璇，胡子卿，孟 超，等8-44

薄膜电容器充放电试验仪的研制...........................................................................................................钱立文8-49

真空气淬炉安全性设计与分析.................................................................................................靳丽岩，王成君8-53

基于TMS320F2812数据采集系统的设计...................................................................................刘 娜，王 丰8-58

CPU水冷系统散热实验研究......................................................................................吕玉坤，刘海峰，徐国涛8-62

HT250灰口铸铁在电子工业专用设备中的应用....................................................杨树文，秦江，胡章坤，等9-45

液压挖掘机的节能控制方法...................................................................................................................田文胜9-51

邦定机中伺服控制系统的抗干扰问题.................................................................................................菅卫娟10-56

直线导轨安装底座几种尺寸标注方法的比较与分析............................................................郎 平，周启舟10-59

超高压汞灯电源高压大电流触发干扰分析与抑制措施研究...............................................刘卫平，刘金荣11-32

双喷枪薄膜电容自动喷金机的研制.......................................................................................钱立文，张世松11-36

RTX在实时控制系统中的应用..............................................................................王 丰，刘 娜，肖雅静，等11-40

基于Spirit解析器框架的DXF文件解析技术..........................................................孟凡辉，王宏智，吴 旭11-44

真空热处理炉在汽车尾气净化器制造方面的关键性应用.......................................陈执铭，刘锋敏，张 宁12-50

材料制造设备与工艺

LTCC专用烧结炉的应用及发展趋势.....................................................................颜秀文，张建国，邓 斌，等2-1

硅芯炉速度控制系统设计方案探讨.............................................................................................吴 斌，畅行利2-5

ZRL-005型真空熔炼炉系统设计................................................................................................张闻华，靳丽岩2-9

多线切割中温度对悬浮液的影响...........................................................................................................栾国旗2-15

多线切割机电气控制设计.....................................................................................丁彭刚，王双全，庄文波，等3-31

应用于硅片传输系统的机械手设计.............................................................................吕 磊，胡晓霞，王洪宇3-36

变速切割速度曲线对硅片翘曲度的影响...............................................................................................马玉通3-41

CMP系统真空供给系统设计....................................................................................李 伟，高文泉，柳 滨，等3-45

基于Solidworks的FOG邦定机模块化设计研究.................................................................................马增刚3-50

浅谈高频干扰对硅芯炉的影响及防护措施...................................................................吴 斌，姚 婕，雷小博4-13

基于Modbus协议的立式炉电力监测系统..................................................................................王 艾，徐 冬4-16

高阻晶体硅电池扩散炉温度控制的研究...............................................................毛朝斌，陈特超，李 克，等4-20

直拉式单晶炉整体结构静力分析...............................................................................杨 润，彭 曦，胡 超，等4-24

蓝宝石抛光去除率试验的正交设计方法.....................................................................孙振杰，费玖海，刘 涛4-29

P/P+外延片制备过程中应力变化的研究...............................................................................................索开南4-33

片盒清洗技术研究...................................................................................................................................寇雅娟4-37

辐射探测器用高纯锗单晶技术研究.............................................................................刘 锋，耿博耘，韩焕鹏5-27

消除区熔硅单晶生长中“硅刺”的研究..................................................................................................刘 燕5-32

ZnO薄膜晶体管真空退火设备的研究...................................................................靳丽岩，王宏杰，张 浩，等5-35

多晶硅片少子寿命的影响因素研究与分析.............................................................................于丽君，段晋胜6-26

PVT法掺钒SiC单晶生长电阻率变化规律研究.......................................................洪 颖，冯 玢，王 磊，等6-31

新型砷化镓多晶高压合成炉设计与制造...............................................................................................刘立起6-35

扩散炉反应管压力自平衡系统的设计.....................................................................李 克，郭 立，毛朝斌，等7-32

悬浮区熔法生长锗单晶.................................................................................................闫 萍，庞炳远，索开南7-36

DRF-J45型镓单晶炉的开发与设计........................................................................袁长路，李伯军，李 杰，等7-40

激光加工中切割PZT陶瓷的时序设计..............................................................张文斌，靳卫国，连军莉，等11-17

在光阻材料中过滤器吸附机制的作用.....................................................................................Tetsu Kohyama11-22

一种大型网带式玻璃退火炉传送系统设计...........................................................邓 斌，佘鹏程，郭 立，等11-28

先进光刻技术与设备

200mm×200mm OLED步进投影曝光机................................................................................周 畅，李喜峰3-12

投影光刻中非对称型相位光栅对准信号及对准误差计算模型...........................................................戈亚萍5-14

孤立接触孔掩模显影工艺优化...............................................................................张海平，尤 春，周家万，等5-24

一种小型重力补偿器的研究...................................................................................齐芊枫，方 洁，吴立伟，等6-20

接触接近式曝光机曝光方式浅析及实例.......................................................................李 霖，周庆奎，宫 晨6-24

论超高压汞灯特性和控制方式...............................................................................................................刘卫平8-35

ZEMAX软件在曝光光源设计中的应用蒲继祖....................................................................................蒲继祖8-40

一种新型的底部对准光学系统设计.......................................................................................刘金荣，刘卫平12-17

微小孔近场衍射光强的空间分布及仿真...............................................................................贾亚飞，蒲继祖12-21

掩模传输交换版机械手的设计分析.....................................................................................................马喜宝12-26

光伏制造工艺与设备

晶体硅太阳能电池生产线外围设施建设经验漫谈.................................................陈特超，谢建国，李 克，等5-1

基于小型太阳能供电系统的研究与开发.................................................................李可为，张祥军，罗 乐，等5-4

新型晶硅电池快速烧结炉的研制.............................................................................邓 斌，郭 立，万喜新，等8-19

基于嵌入式控制器的自动控制系统设计.....................................................................................高 超，单 伟8-23

单相交流调压电路触发角与负载的关系.................................................................................张红勇，周永清8-31

高产能晶体硅太阳能电池制绒设备及工艺研究...................................................毛朝斌，李 克，李健志，等9-11

CAN总线在太阳能电池测试分选机中的应用....................................................张迎春，朱林涛，马鹏飞，等9-14

硅片在丝印线上的传输与搬运方法...............................................................................郑海红，辛 伟，荆 萌9-18

一种用于电子装备的硅片传输机械手.......................................................................................张世强，杨 志9-21

多线切割机导轮系统设计.......................................................................................................................徐旭光9-24

基于ANSYS的炉膛热工分析..................................................................................................................许 堃9-27

新技术应用

JR286SS薄膜电容卷绕机的设计...................................................................................栗宇春，仉振，李晓光5-48

基于日志挖掘的打印管理系统的分析与设计.......................................................................................唐维燕5-53

CMP技术与设备

CMP设备中抛光垫修整机构的研究........................................................................高文泉，李 伟，徐存良，等8-1

300mm硅片精密化学机械抛光机几何参数优化...............................................党宇星，徐继平，刘 斌，等10-27

封装材料与设备

影响区熔硅单晶电阻率均匀性的主要因素...............................................................................................刘 洪8-4

单晶炉密闭式热场改造研究.......................................................................................................谢俊启，韩焕鹏8-7

键合焊接检测系统的研究与优化.............................................................................................................顾 健8-11

全自动划片机物料传输系统浅析.............................................................................常 亮，岳 芸，易 辉，等12-30

金丝球焊制作焊接凸点的工艺参数分析.................................................................田知玲，夏志伟，闫启亮12-33

芯片识别定位系统中LED光源的应用研究.............................................................李 恺，王小捷，韩微微12-40

IC制造与设备

预浓缩气相色谱质谱在半导体洁净室VOC管控中的应用........................................刘彦云，黄其煜,李 明9-31

DBC气氛网带炉的设计与应用..............................................................................................................高立影9-35

薄膜电容器含浸固化联动线的研制...........................................................................................辛 伟，郑海红9-41

半导体材料及设备

区熔单晶生长过程中高频线圈形变的原因分析及理论计算...............................................................刘 洪10-40

新型多线切割机张力控制系统研究.........................................................................姜家宏，陈学森，丁鹏刚10-43

基于电子凸轮技术的金刚石单线切割机排线设计...............................................................蒋云龙，江国中10-47

一种新型全自动激光划切机...............................................................................赵志伟，刘婷婷，刘红英，等10-52

市场透视

制造业突破库存管理瓶颈的方法及实证研究.....................................................董 鹏，郭丽美，尤华胜，等11-50