新一代PTFE滤膜在半导体和LCD/FPD中的应用

在SEMICON JAPAN展会上，戈尔公司引进了高密度聚乙烯系列的新一代聚四氟乙烯（PTFE）滤膜制成的筒状滤芯，用于半导体和LCD/FPD制造所用高纯化学品的生产中。

日前在日本千叶举行的SEMICON Japan 2011展会第2B-201号展位上，W.L.Gore&Associates（戈尔）为高密度聚乙烯滤芯系列引入新一代聚四氟乙烯滤膜，用于生产高纯化学品，供半导体和LCD/FPD生产之用。

新型GORE滤芯采用戈尔公司最新的ePTFE（膨体聚四氟乙烯）滤膜技术，兼具无以伦比的过滤精度和流量性能。所有非聚四氟乙烯部件均使用高密度聚乙烯（HDPE），确保有机物和金属离子析出量极低。HDPE系列筒状滤芯有3种过滤精度：0.1 μm、30 nm 和 20 nm。

新型高密度聚乙烯系列筒状滤芯可直接替代现有滤芯，在过滤精度相同的条件下，与当前采用的最佳过滤技术相比，流量可提高150%～400%。这显著增强的性能，在保持过滤系统流量不变的同时提高了过滤精度。在过滤精度相同的条件下，又可增加产量或减少所需滤芯。这种滤芯特别适用于高周转率的循环过滤系统或者在高通量化学品灌装系统中用作终端滤芯。

戈尔的膨体聚四氟乙烯滤膜已经在全球半导体、电子、超纯水、高纯化学品应用行业的最佳过滤器中应用了数十年。