溅射于NiMnCo上的TiO2薄膜的结构与相变
2005-04-29 00:44:03顾广瑞李哲奎林景波李全军郑伟涛赵永年金曾孙
吉林大学学报(理学版) 2005年4期
顾广瑞 李哲奎 林景波 李全军 郑伟涛 赵永年 金曾孙
摘要：利用射频磁控溅射方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气体中制备了TiO2薄膜。X射线衍射结果表明，在NiMnCo合金基底上成功地沉积了具有金红石、金红石／锐钛矿和锐钛矿结构的TiO2薄膜，工作气压从0．2Pa变化到2h，TiO2薄膜的结构由金红石相变到锐钛矿相。低于600nm时，厚度对TiO2薄膜结构没有明早影响。
关键词：TiO2薄膜；XRD光谱；金红石；锐钛矿
中图分类号：O647．2
文献标识码：A
文章编号：1671-5489(2005)04—0517—04
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