实现双参量同步感知的电涡流传感器检测电路及方法

申请号: 202311333713.5

【申请日】2023.10.16

【公开号】CN117387478A

【公开日】2024.01.12

【分类号】G01B7/02;G01D21/02;G01K7/16;G01B7/06

【申请人】北京理工大学

【发明人】李弘恺;卢杏浩;张彤;李子函

【摘 要】本发明公开了实现双参量同步感知的电涡流传感器检测电路及方法，针对电涡流传感器件，提供信号处理算法及其检测电路，可实现双物理量—微米级位移-温度或者纳米级金属薄膜厚度-温度—的同步快速检测。该检测电路具体为：激励模块为所述信号转换模块和所述特征分量解耦模块提供稳定的正弦激励信号。信号转换模块在所述正弦激励信号的作用下，将电涡流传感器敏感元件的阻抗变化量转换为检测电压信号并输出。特征分量解耦模块将信号转换模块的输出信号进行解耦，并经输出模块放大输出。同时，基于该检测电路还进一步提供了信号处理算法。