中国首台高端光刻机赴法国参展记

1978 年夏天，举世瞩目的法国工业展览会在巴黎隆重举行。国务院决定让清华大学徐端颐团队自主研发的第一台光刻机参加展出。然而，作为中国首台高端光刻机的研发者，徐端颐和同事们并没有亲自护送这台光刻机远赴法国。这也导致中国光刻机在参展期间差点遭受不应有的质疑……

研发制造 一切都从零开始

1970年的一天深夜，北京突然来了一个紧急电话，命令徐端颐立即返回北京，有重要任务。回到北京后，徐端颐才知道，原来是要他负责研制国家半导体工业和国防工业急需的关键设备——自动光刻机。于是，来自贵州的青年助教徐端颐临危受命，承担了重任。

清华大学为徐端颐配备了实力很强的研制队伍。研制队伍成员涵盖全校5个系，人数多达数百人，是一次大规模的集团作战。

因为光刻机的制造技术太复杂，难度太高，国际“巴黎统筹委员会”（巴统）早就将其列为尖端技术产品，对华实行封锁禁运。此时的中国与外界隔绝，难以获得外国相关资料。徐端颐率领其团队研制光刻机，全部图纸都是由自己设计，全部零部件都是在自己的车间里加工制造，一切都是从零开始。在极其困难的条件下，经过一年多的艰苦努力，徐端颐团队终于研制出中国的第一台高端光刻机，各项技术指标均达到了国际一流水平。

1978年3月，全国科学大会在北京召开。徐端颐在1971年主持研究完成的中国首台高端自动光刻机，荣获全国科学大会奖。

一波三折

中国代表团进退维谷

1978年中國的第一台高端光刻机在法国巴黎国际工业展览会上闪亮登场，引起了国际科学界的高度关注和极大兴趣。这是因为，高端光刻机的研发、制造难度实在太大，拥有这种技术和能力的国家寥寥无几。中国在几乎与世隔绝的环境中居然独立自主地研发出世界一流的光刻机，令人难以置信。

这个神秘的东方大国，一定有许多独到的、值得学习的东西。于是，渴望学习的各国科学家慕名而来，虚心地向中国科学家请教。然而，面对各国科学家的提问，负责解说的几位中国科学家支支吾吾，答非所问，令人大失所望！

当时代表中国前往巴黎，并在展览会上担任中国光刻机解说的这几位干部和工程师，在各自领域中都是佼佼者。但是，他们对光刻机并不熟悉。面对各国科学家专业性极强的各种提问，负责解说的这几位中国干部及专家难以回答，未免左支右绌，场面尴尬。

经过几番礼貌的不同层次的提问以后，目光犀利的世界一流的科学家们很快得出了结论：这几位中国人对光刻机一窍不通。一群不懂光刻机的人怎么能造出世界顶级的高端光刻机？这就不能不让人怀疑这台中国光刻机的真实效能了！

如果这台中国光刻机涉嫌造假，被媒体曝光，那将会成为本届国际工业展览会的最大丑闻。展览会的主办者找到中国代表团负责人，善意地提出：请中国代表团自己悄悄把光刻机从展台上撤下来，装箱运走，卷铺盖走人算了……这是委婉地向中国代表团下达了逐客令！

中国代表团感到事态严重，只能火速将这一意外情况报告国内高层领导，请求指示，领导高层迅速采取了应对措施。

笑傲群雄 代表团载誉归来

当天夜里，徐端颐只身一人，登上了从北京飞往巴黎的飞机。徐端颐到达巴黎后，立即投入工作，在国际工业展览会现场里，担任中国自动光刻机的讲解员。徐端颐是中国清华大学首台光刻机研发团队的领军人物和设计者，对这台光刻机的设计、制造中的每一个环节和每一个部件都了然于胸。他的英语特别好，根本不用翻译人员，便直接在展览会现场与观众进行交流，回答了观众提出的各种问题。

人们这时才知道，中国的这台光刻机里，有很多独到的新发明、新技术，拥有完全的知识产权，足以笑傲群雄。人们也才真切地认识到，中国科学家睿智勤奋，待人真诚，是值得信任、深交的朋友。

巴黎国际工业展览会落下帷幕后，中国代表团载誉归来，皆大欢喜……

（摘自《文史天地》 章正远/文）