面向纳米尺度金属互连线的蒙特卡洛模拟方法研究
2022-04-09 03:07:36胡远钊杜刚杨燚赵钰迪赵凯
北京大学学报(自然科学版) 2022年2期
胡远钊 杜刚 杨燚 赵钰迪, 赵凯,,†
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