高剑森,毛仕春
(宿迁学院,江苏 宿迁 223800)
GaAs作为继单晶硅后应广泛应用的第二代新型化合物半导体材料,属在III~V族化合物半导体,闪锌矿型晶格结构,其晶格常数为5.65×10-10m,熔点为1238℃,禁带宽度为在爱1.42V,与Ge、Si等元素半导体相比,GaAs具有禁带宽度大、介电常数小、电子有效质量小、特殊能带结构等特点。根据在GaAs咋材料特性,可分为导电性材料和半绝缘性材料,导电型GaAs材料主要用于LED生产领域;半绝缘GaAs材料主要应用于微电子和光电子领域。在微电子领域可作为射频(RF)功率器件、微波大功率器件、低噪声器件、微波毫米波单片集成电路和超高速数字集成电路等,主要应用领域为移动通信、光纤通信、卫星通信、雷达、超高速计算机等领域;在光电子领域,借助GaAs材料的跃迁能带结构的高电光转换效率特性,可用于生产激光器、二极管、光探测器等各类光电器件[1]。
GaAs光电导开关(PCSS’s)是基于GaAs材料与高速脉冲激光器结合的具有ps甚至fs量级响应速度的新型超高速光电导开关器件,其结构由开关芯片材料、开关电极和传输线构成,开关芯片影响光电导开关性能的关键部件,其光电特性受多方面因素影响。本文以半绝缘GaAs材料制作GaAs光电导开关,以此研究在GaAs材料光电特性[2]。
GaAs材料受激子效应和电荷畴效作用影响显著,研究其作用机理有利于深入研究GaAs材料光电特性。
使用激光触发GaAs光电导开关芯片材料时,光电导材料瞬间形成的载流子密度可达到1020cm-3,在该过程中,光电导开关芯片内存在多种激子效应,包括电子—激子、激子—激子、杂质—激子等各类散射和辐射的复合效应,在各类复合效应下,激光触发光电导材料产生辐射复合发光。在激光触发过程中,激子为中性电子,激子效应不能形成电流,但激子作为能量载体,可在迁移过程中传递能量,激子复合时释放能量。激光激发光电导开关芯片材料所需的光能为:
式中,Eg为GaAs禁带宽度,En为激子能级,me为电子质量,mp为空穴质量,h为普朗克常数,K为激子波矢。
激子能级可表示为:
式中,μ为电子与空穴折合质量,q为电子电量,n为能级数。
由式2可知,在激子存在若干能级,且能级几乎是连续的,当能级数为无限大时,激子能级为0,表示导带处于低能级,电子与空穴完全脱离,此时,电子进入导带内,空穴则处于价带。通过分析激子效应分析,可计算激子离解光电导芯片材料电子和空穴束缚的最低能量要求为1.425eV,激光长波限869.8。
当激子密度达到最低要求后,由于激子间距与激子直径接近,激子束缚作用减弱,自由激子数量增加,激子在自由移动中携带能量,并与电子空穴复合发光,束缚激子在复合发光过程中因声子参与而产生能量损失,即使在杂质含量很低的情况下,声子对辐射复合作用的影响仍较为显著,且束缚激子较自由激子有更强的光发射[3]。
当自由激子浓度增加至一定程度时,电子与空穴库仑作用受载流子屏蔽作用影响,导致激子离化能,离子更易离解,激子效应消失。受该作用影响,激光触发光电导材料时,由于畴体内激子效应受到抑制,激子效应只发生在畴体附近。根据该原理,激子的激发与电荷转移在GaAs光电导过程发挥着重要作用。
在GaAs光电导开关中,由于GaAs材料直接带隙复合形成的光子波长为875±10mm,电子空穴复合几率增大,并在复合时向周围发射光子,当复合发射的光子强度达到一定的强度时,单个入射光子即能够激发多倍电子与空穴参与导电,激子吸收光激发后,经电子空穴复合后离解,从而完成激子能量吸收、释放的过程。在该过程中,激子克服了电子空穴的库伦束缚力,电子实现了由空穴到导带的跃迁,激子离解形成的电子自畴体周围进入畴体内,提高了畴体内电子载流子密度。
当光电导芯片材料温度变化时,载流子复合系数相应变化,开关温度与载流子复合系数呈现负相关关系,并受多种因素影响,主要包括芯片材料温度、电流、载流子浓度等,当芯片材料温度达到临界温度时,即使受到激光触发,但激子效应猝灭,无法产生光电作用。在高载流子浓度、高电场的复合作用下,激光触发芯片材料时,将出现激子饱和吸收效应。因此,当激光激发芯片材料时,且与载流子数量、激子寿命均达到饱和状态时,光电导芯片开关材料激子效应进入稳定状态。
基于激子效应原理,载流子数量变化是光电导现象产生的主要原因[4]。在光电导过程中,随载流子迁移而产生光电导效应,其光学性质取决于电子—空穴,激子和激子—空穴的相互作用。由于激子是相互束缚的电子—空穴对,可在体内运动,对光电导电导率无显著影响,但可通过在热激发、激子与激子非弹性碰撞和电场分离等方式,使激子离解,形成自由电子和空穴,为在激子激发光电导提供必要条件。同时,由于GaAs导带部分能量极大值处于最小值的斜上方,且电子在两个位置时有效质量存在差异,电子可通过与声子的相互作用跃迁达到上能谷,但该位置不稳定,可在声子的相互作用下转移至下能谷,并使电流增加。在光电导过程中,电子与声子的相互作用弛豫时间为10-12~10-14,热载流子驰豫最低带边缘时,其能量小于(为光声子频率),此时,热载流子已不能与光学声子交换能量。在特定情况下,当热平衡能级与热激发能级咋载流子数比例,与复合时间与弛豫时间比例相同。
当复合时间显著大于驰豫时间时,可忽略热电子效应,即过剩载流子处于能带边附近的冷激发状态,过剩载流子浓度与在热平衡能级上的载流子相等,该过程为激子辐射复合过程,能够为激子激发光电导提供必要条件。由于光电导芯片材料内部存在电子、激子和杂质的辐射复合作用,且受到畴体抑制作用的影响,与畴体外自由载流子复合几率相比,畴体外激子复合几率较高,且受电子、激子、杂质的电离作用影响,导致咋畴体内激子离解加速,形成对光电导的贡献。
在室温条件下,光电导芯片材料受到激发后,激子受施加的强偏置作用影响,激子受热转换为自由电子,其光电导特性与自由电子呈强正相关关系。在弱激光激发作用下,光电导芯片材料与施加的偏置电压呈正相关关系,如偏置电压较高,则激子数量增加较多。施加外电场的情况下,光电导材料内自由电子做定向运动,并与激子复合产生散射效应,携带的电荷沿光电导材料晶格逐级跳跃,最终离解为自由载流子。GaAs开关芯片体内束缚激子离解后产生电子与空穴,并在离解过程中释放光子和声子,光子各向发射。由于空间电荷导致电场畸变,新产生的光电子不在原畴体路径上,可能受畴中部空穴在的吸引,自畴中部注入,部分光电子向阳极漂移,畴头部载流子能带增加(如图1所示)。电子注入畴时,畴内电荷密度不断变化,进而引起电流变化,从而使GaAs光电导呈现出一定的振荡特性。此外,激子辐射复合与驰豫是相互竞争、交互的过程。受两种作用交互影响,GaAs光电导振荡受激子、驰豫影响显著,当激子复合作用增强时,GaAs光电导驰豫时间缩短。
图1 光激发与电荷畴相互作用示意图
GaAs材料在具体应用中,由于其光电转换效率高,禁带宽度较Si宽,具有良好的光谱响应特性,在光电子、微电子、通信和太阳能电池等方面应用广泛。
图2 光子、声子对激子能带的影响示意图
在光电子方面,可以GaAs材料制作小型化的激光器、小型雷达,符合战地条件应用需求。在微电子方面,可作为光电子器件使用,如可见光激光器、近红外激光器、发光二极管等,以半绝缘GaAs材料为基材,可直接离子注入GaAs高速数字电路、微波单片电路和光电集成电路等,由于GaAs材料特殊的光电导特性,以GaAs材料制作的微电子产品具有频率高、速度快、功耗低等特点,在国防和民用领域应用广泛。
在通信领域,GaAs材料由于具有良好的光谱响应特性、饱和电子速率和电子迁移率,可在250GHz场景下工作,且具有噪声少、击穿电压特性,适宜在移动电话、卫星通信、微波点对点连接等方面发挥特出作用。
根据本研究,GaAs材料作为Ⅲ-Ⅴ族半导体材料,受激子效应的影响,在光激发电荷畴作用下,激子形成、传输与离解形成自由电子和空穴,当光激发电荷畴生存条件受到破坏时,激子效应消失。在该过程中,GaAs材料光电导呈现出一定的振荡特性,该特性在光电子、微电子和通信等领域具有广泛的应用前景。