航天火工分离用石墨烯二硫化钼多层耐磨涂层及制备方法

专利申请号: CN201810996787

公开号: CN109136924A

申请日:2018.08.29公开日:2019.01.04

申请人: 首都航天机械有限公司; 上海交通大学

本发明涉及一种航天火工分离用石墨烯二硫化钼多层耐磨涂层及其制备方法，该涂层包括基底上的多层交替涂层，多层交替涂层由若干个涂层单元组成，每个涂层单元由一层二硫化钼和一层石墨烯交替沉积而成，其中每个涂层单元内二硫化钼层的厚度为0.65～100 nm，石墨烯层的厚度为0.34～20 nm，涂层总厚度为10～2 000 nm。涂层制备过程包括：基底的预处理；多层涂层的沉积；涂层的后处理。其中沉积涂层单元时进行金属、非金属掺杂，或在沉积每两个涂层单元之间引入稀有气体进行刻蚀。与现有技术相比，本发明涂层结合两种材料的摩擦磨损性能，通过沉积工艺调整增加涂层的致密性，制备出具有优异耐磨性能的多层交替涂层，可作为航天火工分离装置的固体润滑涂层。